全球領(lǐng)先的半導體制造晶圓處理,、清洗和表面處理設(shè)備供應商FSI國際有限公司（納斯達克：FSII），日前宣布收到來自重要半導體制造商的后續(xù)訂單,，購買其新推出的ORION 單晶圓清洗技術(shù)平臺,。該項后續(xù)訂單將為2008年12月23日發(fā)布的訂單的機臺提供擴充的晶圓清洗量能和性能,。這一追加定購乃緣于已安裝的ORION機臺杰出表現(xiàn)所帶來的鼓舞。ORION系統(tǒng)將被應用于后段(BEOL)銅/低K導線制作,。?

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“這項訂單對我們尤其重要,，因為它證明了FSI的ORION技術(shù)在制造中的應用?！?SPAN lang=EN-US>FSI總裁兼首席執(zhí)行官Don Mitchell說道,。“對于我們所推出的用于BEOL 32nm工藝的單晶圓新技術(shù),，該客戶已經(jīng)初步進行評估,。他們在 ORION系統(tǒng)性能充分的杰出表現(xiàn)激勵下，決定擴大應用至當前大量生產(chǎn)線上,。該項訂單使我們更加相信,，即使在當前行業(yè)不景氣的情況下，我們的客戶依舊樂于為新技術(shù)投資,，因為這些技術(shù)提供了優(yōu)越的性能和顯著的經(jīng)濟效益,。”?

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ORION系統(tǒng)特有的閉室設(shè)計,，同時解決了前段(FEOL)和后段（BEOL）先進制造工藝中關(guān)鍵步驟上的清洗問題,。關(guān)于FSI ORION系統(tǒng)的更多信息，請登陸FSI網(wǎng)站鏈接：http://www.fsi-intl.com/index.php/index.php/applications-and-products/orion-single-wafer-cleaning-cluster.?

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關(guān)于FSI：?

FSI國際有限公司是一家為微電子制造提供表面處理設(shè)備技術(shù)及支持服務(wù)的全球性的供應商,。通過使用公司產(chǎn)品組合中的多晶圓批量和單晶圓的浸泡式,、旋轉(zhuǎn)噴霧式、汽相和超凝態(tài)過冷動力學等一整套清洗技術(shù)產(chǎn)品,，客戶能夠?qū)崿F(xiàn)他們的工藝性能,、靈活性和生產(chǎn)能力目標,。公司推出的支持服務(wù)項目包括了產(chǎn)品及工藝的提升,，從而延長已安裝的FSI設(shè)備的使用壽命，使世界范圍內(nèi)的客戶的資本投資獲得更高的回報,。?

FSI國際有限公司全球網(wǎng)站：http://www.fsi-intl.com.?