0 引言

薄膜厚度是薄膜性能參數(shù)的重要指標(biāo)，如何準(zhǔn)確,、快速,、方便地測量膜厚在實驗中具有十分重要的意義。邁克爾遜干涉儀測量激光波長是大學(xué)物理實驗中重要的一部分,，實驗時實驗者手動調(diào)節(jié)微調(diào)手輪,，人眼觀察干涉條紋，帶來很多人為誤差,，影響測量結(jié)果,。為了保護(hù)實驗者視力，提高測量精度,，擴(kuò)大測量范圍,，同時促進(jìn)光學(xué)教學(xué)實驗儀器的發(fā)展，在研究單片機(jī)的基礎(chǔ)上,，對邁克爾遜干涉儀進(jìn)行了探索和改造,。

改造后的邁克爾遜干涉儀在不改變物理學(xué)基本原理的基礎(chǔ)上，增加了電子技術(shù)中的大量元素,，使物理學(xué)和電子技術(shù)很好地結(jié)合起來,，實現(xiàn)了對激光波長和薄膜厚度的自動測量。測量簡便,、精確度高,，有一定的實用性。

1 系統(tǒng)工作原理

基于單片機(jī)改造的邁克爾干涉儀進(jìn)行微小長度的自動測量,，測量對象為激光波長和薄膜厚度,，系統(tǒng)工作原理如圖1所示,。

1.1 激光波長測量

使用He-Ne激光作光源，利用光的分振幅干涉法,。用步進(jìn)電機(jī)帶動微調(diào)手輪轉(zhuǎn)動代替手動調(diào)節(jié),，電機(jī)旋轉(zhuǎn)角度對應(yīng)光程差為2△d；光屏上得到的“吞”,、“吐”條紋,，通過光電轉(zhuǎn)換電路轉(zhuǎn)換為脈沖信號，輸入到單片機(jī)進(jìn)行計數(shù)(條紋數(shù)N),，代替了人眼觀察條紋計數(shù),；測量步驟、結(jié)果(波長λ=2△d/N)及相對誤差通過液晶屏顯示,，從而實現(xiàn)波長自動測量,。

1.2 薄膜厚度測量

使用白光作光源，利用等厚干涉法,。光路原理圖如圖2所示,，當(dāng)白光光程差為零時發(fā)生干涉現(xiàn)象，將光屏上的彩色條紋通過光電轉(zhuǎn)換電路轉(zhuǎn)換為脈沖信號,，同時記錄M1的初位置d1,；放入薄膜后，光程差增大,，彩色條紋消失,；電機(jī)帶動M1移動到彩紋再現(xiàn)，記錄M1的末位置d2,。用阿貝折射儀測出薄膜折射率n,，輸入到單片機(jī)，根據(jù)公式進(jìn)行處理,，即可得到薄膜厚度,。

2 系統(tǒng)結(jié)構(gòu)及硬件電路設(shè)計

系統(tǒng)結(jié)構(gòu)主要是在原有物理光學(xué)儀器——邁克爾干涉儀的基礎(chǔ)上增加了電子技術(shù)的設(shè)計模塊，如圖3所示,。模塊包括：單片機(jī)系統(tǒng),、鍵盤控制單元、電機(jī)驅(qū)動電路,、光電轉(zhuǎn)換電路和液晶顯示單元,。

2.1 光電轉(zhuǎn)換電路設(shè)計

光電轉(zhuǎn)換電路由兩部分組成，如圖4所示,，氦氖激光干涉條紋檢測和白光干涉彩紋檢測,，它的作用是把變化的光信號轉(zhuǎn)換為可供單片機(jī)識別的脈沖信號。

2.1.1 激光干涉條紋檢測

該部分由兩個光敏二極管,，偏置電阻R1,，R2，分壓電阻R3,，R4和一個運(yùn)算放大器A1組成,。當(dāng)微調(diào)旋鈕轉(zhuǎn)動時，光屏上會出現(xiàn)圓環(huán)型“吞”,、“吐”條紋,，一個光敏二極管對準(zhǔn)圓環(huán)條紋正中心，另一個用于檢測背景光,，這樣設(shè)計可以大大減小外界光強(qiáng)的影響,，在一般光強(qiáng)下均可測量。光敏二極管對變化的光信號敏感,，加上偏置電阻R1和R2后會輸出合適的電信號,。分壓電阻R3，R4給運(yùn)算放大器的反向輸入端提供合適的門限電壓,，電信號從同向輸入端輸入,，當(dāng)高于反向輸入端的門限電壓Um1時，輸出電壓翻轉(zhuǎn)到電源電壓的正極(+5V),，當(dāng)輸入電壓低于反向端的門限電壓Um1時,，輸出電壓翻轉(zhuǎn)到電源電壓的地(0V)。由此,，“吞”,、“吐”條紋轉(zhuǎn)換為了脈沖信號。

2.1.2 白光干涉彩紋檢測

該部分由光敏二極管1,，偏置電阻R1,，放大器A2和門限比較器A3組成。它的原理與激光類似,，當(dāng)彩紋出現(xiàn)時,，光強(qiáng)度變化會使光敏二極管1產(chǎn)生微弱的電信號，此信號經(jīng)過放大器A2被放大(放大器的放大倍數(shù)由電阻R6和R7決定),，再經(jīng)過門限比較器A3(門限比較器的門限值由電阻R8和R9確定),，最后轉(zhuǎn)變?yōu)榱嗣}沖信號。

2.2 步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動電路設(shè)計

步進(jìn)電機(jī)是一種將電脈沖轉(zhuǎn)化為角位移的開環(huán)控制元件,，它的轉(zhuǎn)速,、停止的位置只取決于脈沖信號的頻率。采用步進(jìn)電機(jī)帶動邁克爾干涉儀的微調(diào)旋鈕轉(zhuǎn)動,，避免了很多人為因素對測量的干擾,。本作品選用28BYJ-48型步進(jìn)電機(jī)，它的步進(jìn)值小,，提高了測量的精確度,。

步進(jìn)電機(jī)一經(jīng)選定,，其性能取決于電機(jī)的驅(qū)動電壓。步進(jìn)電機(jī)轉(zhuǎn)速越高,，力矩越大則要求電機(jī)的電流越大,，驅(qū)動電源的電壓越高。單片機(jī)I/O口流出的電流太小不能驅(qū)動電機(jī)轉(zhuǎn)動,，需要外接驅(qū)動芯片增大電流,。選用高壓大電流達(dá)林頓晶體管陣列ULN2003驅(qū)動28BYJ-48型步進(jìn)電機(jī)，其工作原理如下：當(dāng)輸入端為高電平時,，ULN2003輸出端為低電平,；當(dāng)輸入端為低電平時，ULN2003輸出端為高電平,。驅(qū)動電路如圖5所示,。

2.3 液晶顯示單元和鍵盤控制單元

鍵盤用作數(shù)據(jù)輸入和測量步驟控制，本設(shè)計使用4×4的矩陣鍵盤,，相對于獨立按鍵,，矩陣鍵盤大大節(jié)省了單片機(jī)的I/O口，擴(kuò)大了按鍵功能,，同時也節(jié)省了硬件資源,。液晶屏作為人機(jī)交互界面，顯示實驗數(shù)據(jù)和測量信息,。

3 軟件設(shè)計

軟件設(shè)計是實現(xiàn)測量的主體,。單片機(jī)的應(yīng)用系統(tǒng)程序設(shè)計，常用的是匯編語言和C語言,。相對于匯編語言,，C語言簡潔，使用方便,、靈活,，可重用性高，可移植性強(qiáng),，所以系統(tǒng)采用C語言編寫程序,，程序流程如圖6所示。

下面對程序的關(guān)鍵部分進(jìn)行說明,。

3.1 光電轉(zhuǎn)換部分的脈沖計數(shù)程序設(shè)計

用單片機(jī)的外部中斷INT0腳檢測光電轉(zhuǎn)換得到的脈沖信號,。當(dāng)有一個脈沖的下降沿到來時，外部中斷服務(wù)程序執(zhí)行一次,。在中斷服務(wù)程序中設(shè)置記錄脈沖個數(shù)的變量mai_chong_ji_shu,。在兩次脈沖間隔超過50ms的情況下，每進(jìn)入中斷服務(wù)程序一次，mai_chong_ji_shu加1,。如果兩次脈沖間隔不超過50ms,，說明出現(xiàn)了毛刺信號，mai_chong_ji_shu不會加1,，這樣設(shè)計可以除去毛刺信號,。

3.2 步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動及自動調(diào)速程序設(shè)計

驅(qū)動步進(jìn)電機(jī)轉(zhuǎn)動的脈沖信號頻率越大，電機(jī)轉(zhuǎn)速越高,，但頻率不能過大也不能過小，否則電機(jī)都不會轉(zhuǎn)動,。通過軟件延時或定時器中斷的方法可以控制電機(jī)的轉(zhuǎn)速,。軟件延時會大量浪費(fèi)CPU資源，所以采用單片機(jī)的定時器0中斷來驅(qū)動28BYJ-48型步進(jìn)電機(jī)轉(zhuǎn)動,，給定時器0賦不同的初值對應(yīng)步進(jìn)電機(jī)不同的轉(zhuǎn)動速度,。若四向八拍運(yùn)行方式A-AB-B-BC-C-CD-D-DA為電機(jī)的正轉(zhuǎn)，則運(yùn)行方式DA-D-CD-C-BC-B-AB-A為電機(jī)反轉(zhuǎn),，每運(yùn)行完一個八拍相當(dāng)于電機(jī)走一步,，設(shè)計變量motor_step專門記錄電機(jī)的步數(shù)，電機(jī)正轉(zhuǎn)變量motor_step加,，電機(jī)反轉(zhuǎn)變量motor_step減,。motor_step值乘以電機(jī)的步長值即得到步進(jìn)電機(jī)帶動邁克爾干涉儀微調(diào)旋鈕轉(zhuǎn)過的長度。

4 實驗結(jié)果與精度分析

4.1 He-Ne激光波長測量

采用波長為632.8nm的He-Ne激光器作為光源,。在一般實驗環(huán)境下,，經(jīng)過大量測試，系統(tǒng)均能準(zhǔn)確,、快速測量出波長長度,，表1是系統(tǒng)一次測量的數(shù)據(jù)。

系統(tǒng)自動測量的最終結(jié)果為多次測量的平均值,，由表1可以看出,，與理論值非常接近，平均誤差為0.06%,，遠(yuǎn)低于手動測量產(chǎn)生的誤差,。

測量誤差主要來源于△d的測量和條紋計數(shù)N。步進(jìn)電機(jī)的步進(jìn)值為19.53nm,，它比微調(diào)旋鈕的最小刻度100nm還要小80.47nm,，提高了對△d測量的準(zhǔn)確度，因此誤差較小,。實驗過程中,，空氣擾動、實驗桌的碰撞、外界振動都會產(chǎn)生毛刺信號影響光敏二極管對干涉條紋的檢測,，產(chǎn)生計數(shù)錯誤,，從而產(chǎn)生測量誤差。對于較小的毛刺信號,，通過編程進(jìn)行處理,，不會對條紋計數(shù)產(chǎn)生大的影響，但對于嚴(yán)重的干擾信號,，系統(tǒng)無法處理,。系統(tǒng)會根據(jù)測量的結(jié)果自動判斷實驗誤差是否在允許范圍內(nèi)，若不在,，將提示重新測量,。

4.2 透明薄膜厚度測量

實驗選用標(biāo)準(zhǔn)厚度為80μm的透明薄膜作為測試品，用阿貝折射儀測出此薄膜的折射率n=1.4294,，在一般實驗環(huán)境下,，對薄膜厚度進(jìn)行了大量的測量，表2所示為測量的一部分?jǐn)?shù)據(jù),，其中d1為未插薄膜前彩色條紋出現(xiàn)時動鏡的位置,，d2為插入薄膜后彩色條紋出現(xiàn)時動鏡的位置。

從表2數(shù)據(jù)可以算出,，測試薄膜厚度的平均值為81.6001μm,，精度較高(測量薄膜厚度精確到了0.1nm級)。測量薄膜厚度的誤差主要來源于兩個方面,，△和n的測量,。雖然步進(jìn)電機(jī)的步進(jìn)值較小，但并不能完全消除對△測量的誤差,，而是將其大大減小了,。薄膜上的灰塵不可避免地影響薄膜的折射率n。實驗過程中,，外界的干擾以及儀器本身因素都會影響測量結(jié)果,。

5 結(jié)語

基于單片機(jī)改造后的邁克爾遜干涉儀可以精確、快速,、自動測量激光波長和薄膜厚度,。采用非接觸法測量薄膜厚度，不會對薄膜造成破壞,，擴(kuò)展了邁克爾遜干涉儀的使用范圍,，提高了實用性。改裝電路元器件價格低廉,，組裝簡單,，對邁克爾遜干涉儀的手動測量與外觀沒有任何影響,，促進(jìn)了光學(xué)教學(xué)實驗儀器的發(fā)展，具有一定的市場前景,。

本研究在湖北師范學(xué)院物理與電子科學(xué)學(xué)院劉興云老師的指導(dǎo)下,，由光學(xué)實驗室與電子電工實驗室提供實驗器材，經(jīng)過小組成員的共同努力完成,。在此特別感謝劉老師的指導(dǎo),，同時對湖北師范學(xué)院物理與電子科學(xué)學(xué)院和提供過幫助的老師與同學(xué)致以深切的謝意與祝福。

作者：彭真真 趙碩浛 劉月林 程匹克 陳程   來源：現(xiàn)代電子技術(shù)