中心議題：
解決方案：
- 采用源-測量單元測量二極管的泄漏電流
- 采用兩臺SMU來測量MOSFET的亞閥區(qū)電流
測試半導(dǎo)體器件和晶圓片（Wafer）常常要涉及到測量小電流,。其中有些測試工作包括各種泄漏電流的測量,。另一些對于晶圓片級半導(dǎo)體的弱電流測量則通常與介電材料（氧化物或化合物）的質(zhì)量有關(guān)。這些弱電流測量工作常常使用靜電計或源-測量單元,。本文將介紹使用源-測量單元測量二極管的泄漏電流以及MOSFET的亞閾區(qū)電流（sub-thresh old current）,。
二極管的泄漏電流
在理想的情況下，二極管的反向電流應(yīng)當(dāng)為零,。然而,，實際上確實存在著反向電流。衡量二極管質(zhì)量的一個方面就是在規(guī)定的反向偏置電壓下的泄漏電流,。
圖1 示出如何使用236型或6430型SMU來測量二極管的泄漏電流,。236型SMU能夠以10fA的分辨率測量電流，并且輸出需要的偏置電壓,。6430型SMU的分辨率為10aA,。源-測量單元還可以測量其它的二極管參數(shù)，包括正向電壓降和擊穿電壓,。
圖1 源-測量單元與二極管的連接
為了避免靜電干擾引起的誤差,，應(yīng)當(dāng)將二極管放在屏蔽的測試夾具（test fixture）內(nèi)。該裝置還能提供對光的遮蔽,。由于二極管的結(jié)對光敏感,，這一點也是很重要的。
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MOSFET的亞閾區(qū)電流
各種MOSFET測試都要求進(jìn)行弱電流的測量,。這些測試包括柵極漏電,、泄漏電流與溫度的關(guān)系、襯底對漏極的漏電和亞閾區(qū)電流等,。
亞閾區(qū)電流測試常常在晶圓片級進(jìn)行,。它是表示器件打開和關(guān)閉的快慢程度的參數(shù)。圖2示出測量亞閾區(qū)電流的典型測試設(shè)置情況,。在此配置中,，4200型半導(dǎo)體特性分析系統(tǒng)配備了2個SMU和前置放大器。使用一個SMU來提供恒定的漏-源電壓(VDS)，并測量產(chǎn)生的漏極電流（IDS）,。另一個SMU用來掃描柵-源電壓（VGS）,。對這個SMU來說，應(yīng)當(dāng)將鉗位電流或測量電流值設(shè)置為固定測量量程上的最高期望的柵極電流,。
圖2 使用二臺SMU來測量亞閥區(qū)電流
圖3是一個增強(qiáng)型MOSFET的IDS對VGS曲線,。該曲線是在4200- SCS型半導(dǎo)體特性測試系統(tǒng)上得到的。
圖3 增強(qiáng)型MOSFET的IDS-VGS曲線