日前，中國—新加坡蘇州工業(yè)園區(qū)舉辦了MEMS傳感器產(chǎn)品交付會,，蘇州納米科技發(fā)展有限公司將6英寸微納機電制造（MEMS）中試線的首個產(chǎn)品正式 交付客戶,。這意味著國內(nèi)首條全開放,、市場化運作的6英寸微納機電制造中試線正式運營，該中試線的投用將為我國中小MEMS企業(yè)的發(fā)展帶來福音,。

    據(jù)了解,，蘇州6英寸微納機電制造中試線，由蘇州納米科技發(fā)展有限公司建設,，超凈場地、廠務配套設施,、研發(fā)實驗室,、公共服務等場地共占地 1.6萬平方米，其中超凈工藝場地占地5200平方米,。該中試線是江蘇省“十二五”重大科技平臺項目,，也得到了工信部“工業(yè)轉(zhuǎn)型升級服務平臺項目”支持。

    6英寸微納機電制造中試線的推動者,、蘇州納米科技發(fā)展有限公司負責人,、蘇州市集成電路行業(yè)協(xié)會秘書長張希軍表示：“我國中小MEMS企業(yè)發(fā) 展面臨很多困難，其中一個關鍵的難題是產(chǎn)品的工程化與中試生產(chǎn),，規(guī)模代工廠門檻較高,，高校院所的實驗室工程化能力較弱或開放度不夠，產(chǎn)品的工程化中試已成 為影響中小MEMS企業(yè)規(guī)?；砷L的瓶頸,。中試線不僅是中小企業(yè)的創(chuàng)新平臺，更彌補了中國MEMS產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新鏈的空白,。”