電子產(chǎn)業(yè)迫切需要新的微機電系統(tǒng)(MEMS)來推動感測器和物聯(lián)網(wǎng)(IoT)的發(fā)展。根據(jù)業(yè)界分析師表示,，如果期望利用物聯(lián)網(wǎng)驅(qū)動下一輪的電子產(chǎn)業(yè)成長,，在很大程度上必須依賴MEMS和感測器技術,，才能使所有的智慧物件與現(xiàn)實世界進行互動。但從實現(xiàn)新的MEMS設計到量產(chǎn),，可能要花很長的時間以及高昂的代價,，才能滿足物聯(lián)網(wǎng)市場的期待——除非電子產(chǎn)業(yè)能夠找到加速MEMS開發(fā)之路。
采用現(xiàn)有MEMS元件的新應用正以12%的年成長率推動MEMS市場進展,。然而，Yole D?veloppement執(zhí)行長兼總裁Jean-Christophe Eloy表示，除非業(yè)界能夠找到如何順利將機械元件轉(zhuǎn)換為矽晶的方法,，否則要加速突破性新產(chǎn)品量產(chǎn)的困難度,，可能減緩未來的MEMS市場成長。
MEMS完全創(chuàng)新產(chǎn)品缺席逾十年
透過在更多應用中更廣泛地采納成熟的MEMS元件,，可望讓這種更小體積,、更高性能且更低成本的漸進式元件創(chuàng)新，持續(xù)刺激感測器及其所實現(xiàn)的系統(tǒng)邁向強勁 成長,。去年在MEMS領域?qū)崿F(xiàn)最快速成長的要算是安華高科技(Avago Technologies)和Qorvo(原Triquint),，這是因為LTE的廣泛普及對于多模手機所用的體聲波(BAW)濾波器帶來了很大的需求。 同樣地,，更多應用對于MEMS麥克風和慣性感測器的強勁需求,，有助于推動更多的感測器供應商進軍2-3億年營收范圍的行列。
“這真的很重要,，因為現(xiàn)在有多家公司都有潛力發(fā)展成為10億美元的公司,，”Eloy指出。
然而,，僅采用現(xiàn)有元件類型的新應用要維持110億美元業(yè)務的兩位數(shù)成長,，在時間上可能無法長久?！疤魬?zhàn)之一在于最近完全創(chuàng)新的產(chǎn)品還是2003年時樓氏 電子(Knowles)開發(fā)的MEMS麥克風,。”Eloy表示,，“從那以后,，都只是在整合度、更好的封裝等方面帶來漸進式創(chuàng)新,。雖然這些也是非常重要的創(chuàng) 新,，但不是突破性的新產(chǎn)品。我們?nèi)栽诘却齅EMS開關,、自動對焦和揚聲器等產(chǎn)品完全過渡到大量生產(chǎn)階段,。”
半導體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)找到可在競爭前的研究領域展開合作的方式了,，而且已經(jīng)有了發(fā)展良好的商用基礎架構來支持持續(xù)的成長,，他表示?！癕EMS產(chǎn)業(yè)需要一些變革發(fā)生,，以便簡化與加速設計過程，并盡快投入量產(chǎn),?！?/p>
根據(jù)Yole的資料顯示,，2014年全球MEMS營收達111億美元。
“隨著到處都需要感測器來實現(xiàn)物聯(lián)網(wǎng),、情境感知,，尤其是對于新型生化與生醫(yī)感測器的新興需求，我認為MEMS產(chǎn)業(yè)的發(fā)展的確才剛剛開始,，”矽谷投資業(yè)者 Band of Angels SIG委員會主席Kurt Petersen表示,。“價格將繼續(xù)下滑,，但目前開發(fā)中的新型感測機制將大幅提高精度,，”對于發(fā)展中的壓電麥克風、超音波手勢辨識以及新的慣性技術帶來巨 大的潛在影響——以更高10倍的精確度大幅改善導航資訊,。
Peterson認為真正有用的穿戴裝置尚未被開發(fā)出來,，但對于其未來的發(fā)展表示樂觀。最有發(fā)展前景的是現(xiàn)正開發(fā)中的新一類生化感測器,，例如新創(chuàng)公司Profusa的可植入式葡萄糖感測器,，外部光學裝置讀取，它利用一種可調(diào)式感測器平臺,，在人體內(nèi)偵測化學藥物,。
除了更好的生化和生醫(yī)感測器以外，能量采集器是另一個機會,?！澳芰坎杉鲗兊萌遮呏匾驗槲锫?lián)網(wǎng)將為其提供一個巨大的市場,，”他說,。
MEMS新平臺推動成長
為了能以市場要求的最快上市時間與低成本，將這些新式的MEMS元件投入量產(chǎn),，推動半導體業(yè)開發(fā)出一些新的方法,。
“過去客戶求助于我們時通常要求采用他們自己的獨特制程，但現(xiàn)在有越來越多的客戶要求我們盡可能使用標準平臺,，只需少量修改即可,，”Teledyne Dalsa公司MEMS代工廠執(zhí)行副總裁兼總經(jīng)理Claude Jean表示?！耙豢町a(chǎn)品采用一種制程的傳統(tǒng)做法還沒有被完全淘汰,，但越來越多的客戶傾向于利用成熟的平臺來開發(fā)產(chǎn)品，”他補充道,。
Dalsa公司正為慣性感測器,、微測輻射熱計、光學MEMS和壓電元件提供更廣泛的不同平臺,，并盡可能地擴展自家的設計和測試支援業(yè)務,。
新平臺技術也來自研發(fā)實驗室,。法國原子能署電子暨資訊技術實驗室(CEA-Leti)的目標在于與代工廠合作，將其壓阻式MEMS平臺投入生產(chǎn)以提供給 更多客戶,。這種技術在移動的物質(zhì)利用>10?m的厚層,，而將<500nm的超薄層用于邊緣的壓阻式元件，然后透過壓縮或拉緊改變電阻來檢測其 運動,。
“這種技術為緊密地整合多個感測器提供了替代性方法，可以協(xié)助像系統(tǒng)或CMOS制造商等缺少自有技術的新公司很快地開發(fā)出產(chǎn)品 來,?！盋EA-Leti北美策略合作夥伴副總裁Hughes Metras并指出，CEA-Leti已經(jīng)與首家取得授權的業(yè)者Tronics迅速地將其六自由度慣性感測器推向市場了,。
如今,，這些基 本技術的成熟還意味著MEMS市場開始從一些基于共同利益的合作中尋找優(yōu)勢，特別是在一些設備要求或測試操作等方面,。目前在測量慣性感測器性能方面還沒有 被廣泛接受的標準,，也沒有像ITRS路線圖那樣為設備制造商定義未來需求的手段，Teledyne Dalsa的Jean指出,。
“目前在MEMS市場所要求的成本和可用的先進CMOS設備之間存在著巨大的差距,。”他認為,，“不過,，相較于為先進CMOS開發(fā)的制程，這還需要更簡單且更低成本的TSV制程等技術支援,?！?/p>
Teledyne Dalsa目前正與Alchimer合作開發(fā)低成本的濕式銅制程后鉆孔(Via-Last) MEMS TSV途徑。Teledyne DALSA的Via-Last技術采用銅鉆孔,，并利用Alchimer的低溫電化學制程,，形成具有5微米直徑x100微米深完美填充的穿孔，并利用銅再分 布層和鎳/金UBM連接到外部,。但該制程目前僅適用200mm晶圓,，因此，“我們需要MEMS制造商和設備與材料供應商之間展開更加密切的合作,，共同開發(fā) 出更低成本的方法來推動創(chuàng)新進展,。”他表示,。