近期,，中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所信息功能材料國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室SOI材料課題組在層數(shù)可控石墨烯薄膜制備方面取得新進(jìn)展,。課題組設(shè)計(jì)了Ni/Cu體系，并利用離子注入技術(shù)引入碳源,，通過精確控制注入碳的劑量，成功實(shí)現(xiàn)了對石墨烯層數(shù)的調(diào)控,。

　　近期,，中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所信息功能材料國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室SOI材料課題組在層數(shù)可控石墨烯薄膜制備方面取得新進(jìn)展。課題組設(shè)計(jì)了Ni/Cu體系,，并利用離子注入技術(shù)引入碳源,，通過精確控制注入碳的劑量，成功實(shí)現(xiàn)了對石墨烯層數(shù)的調(diào)控,。相關(guān)研究成果以Synthesis of Layer-Tunable Graphene：A Combined Kinetic Implantation and Thermal Ejection Approach 為題作為背封面(Back Cover)文章發(fā)表在Advanced FunctionalMaterials 2015年第24期上,。

　　石墨烯以其優(yōu)異的電學(xué)性能、出眾的熱導(dǎo)率以及卓越的力學(xué)性能等被人們普遍認(rèn)為是后硅CMOS時代延續(xù)摩爾定律的最有競爭力的電子材料,，擁有廣闊的應(yīng)用前景,。然而，針對特殊的應(yīng)用需求必須對石墨烯的層數(shù)進(jìn)行精確控制,。上海微系統(tǒng)所SOI材料課題組圍繞石墨烯層數(shù)控制問題,，結(jié)合Ni和Cu在CVD法中制備石 墨烯的特點(diǎn),，利用兩種材料對碳溶解能力的不同，設(shè)計(jì)了Ni/Cu體系(即在25 μm厚的Cu箔上電子束蒸發(fā)一層300 nm的Ni ),，并利用半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中成熟的離子注入技術(shù)將碳離子注入到Ni/Cu體系中的Ni層中,，通過控制注入碳離子的劑量(即4E15 atms/cm2劑量對應(yīng)單層石墨烯，8E15 atoms/cm2劑量對應(yīng)雙層石墨烯),，經(jīng)退火后成功實(shí)現(xiàn)了單,、雙層石墨烯的制備。

　　與傳統(tǒng)的CVD制備石墨烯工藝相比,，離子注入技術(shù)具有低溫?fù)诫s,、精確的能量和劑量控制和高均勻性等優(yōu)點(diǎn)，采用離子注入法制備石墨烯單雙層數(shù)僅受碳注入劑量的影響,，與氣體的體積比,、襯底厚度以及生長溫度無關(guān)。此外,，離子注入技術(shù)與現(xiàn)代半導(dǎo)體技術(shù)相兼容,，有助于實(shí)現(xiàn)石墨烯作為電子材料在半導(dǎo)體器件領(lǐng)域真正的應(yīng)用。

　　該研究得到了國家自然科學(xué)基金委創(chuàng)新研究群體,、優(yōu)秀青年基金,、中國科學(xué)院高遷移率材料創(chuàng)新研究團(tuán)隊(duì)等相關(guān)研究計(jì)劃的支持。