記者從中科院光電技術(shù)研究所獲悉,，該所微電子專(zhuān)用設(shè)備研發(fā)團(tuán)隊(duì)自主研制成功紫外納米壓印光刻機(jī),。

　　據(jù)中科院光電所微電子裝備總體研究室主任胡松介紹，該所自主研發(fā)的新型光刻機(jī),，將納米壓印這一新型高分辨力光刻技術(shù),，與具有低成本、高效率特點(diǎn)的紫外光刻技術(shù)有機(jī)結(jié)合,。

　　記者了解到,，這套設(shè)備采用新型納米對(duì)準(zhǔn)技術(shù)，將原光刻設(shè)備的對(duì)準(zhǔn)精度由亞微米量級(jí)提升至納米量級(jí),。對(duì)準(zhǔn)是光刻設(shè)備三大核心指標(biāo)之一,，是實(shí)現(xiàn)功能化器件加工的關(guān)鍵。該所在國(guó)家自然基金的連續(xù)資助下,，完成基于莫爾條紋的高精度對(duì)準(zhǔn)技術(shù)自主研發(fā),，取得專(zhuān)利２０余項(xiàng)。

　　“該技術(shù)在光刻機(jī)中的成功應(yīng)用突破了現(xiàn)有納米尺度結(jié)構(gòu)加工的瓶頸問(wèn)題,，為高精度納米器件的加工提供了技術(shù)保障,。”胡松說(shuō),。

　　據(jù)悉,，該設(shè)備可廣泛應(yīng)用于微納流控晶片加工、微納光學(xué)元件,、微納光柵,、ＮＭＥＭＳ器件等微納結(jié)構(gòu)器件的制備，具有廣闊的應(yīng)用前景,，目前已完成初試和小批生產(chǎn),，并已在高校與企業(yè)用戶(hù)中推廣。