《電子技術應用》
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MIT用水珠就能撐起未來MEMS的一片天?

2016-12-25
關鍵詞: MEMS 電子

微機電系統(tǒng)(MEMS)是指一系列微型器械,,主要用于制造生產(chǎn)電子芯片及其儀器,。該項技術廣泛運用于當今的大眾電子市場,但是有一個問題,,那就是隨著使用時間的增加,它們的活動部件由于長時摩擦極易磨損。

來自麻省理工學院(MIT)研究人員對此給出了一個新的解決方案,,他們制造的儀器活動部件之間不再直接接觸,這樣便有效地防止了機器磨損與故障,。

這項系統(tǒng)使用了一層液滴來支撐起一個可移動的微型平臺,。這些液滴可以是水,也可以是其他的液體,。通過對液滴的尺寸形態(tài)的控制,,可以精準地控制與調動微平臺的運作。通過電力控制液滴就可以讓該平臺向上,、向下或者傾斜移動,。

這項研究成果的相關論文發(fā)表在《應用物理學快報》(Applied Physics Letters),論文作者包括了MIT研究生丹尼爾·普里斯頓(DanielPreston)與機械工程學副教授艾弗林·王(Evelyn Wang),,以及其他五位成員,。

普里斯頓解釋說這項新的系統(tǒng)可用于儀器制造的不同階段,例如顯微鏡的樣品臺,。顯微鏡的對焦就可以通過調節(jié)液滴的形態(tài)來完成,。

這項系統(tǒng)的運作方法是基于更改液滴與平臺表層的接觸角度。液滴在親水的表面上會變扁,,進而形成一個極小的接觸角,。反過來,如果材料是疏水的,那么液滴便會保持一個較完整的球體形狀,,從而形成一個非常大的接觸角,。而在某些絕緣體材料的表面,可以通過調節(jié)外加電壓的方法來控制液體的“親/疏水性”,,以達到調節(jié)水珠形狀來的目的,。

假如材料面是疏水的,液滴便會拱起,,進而將整個平臺都抬高,。MIT的研究者們用一層薄銅片演示了這種情況?!耙簿褪钦f,,我們只是調整水珠的大小與形態(tài)便可以相應的調節(jié)所需要的平臺角度?!逼绽锼诡D說道,,“現(xiàn)在有很多實驗都需要用到激光,因此我們的微動裝置會給他們帶來很大的幫助,?!?/p>

為了能夠讓液滴保持形態(tài)而不至于直接滑走,研究團隊把可移動微平臺的底面也徹底改造了一番,。盡管接觸面的材料幾乎都是疏水的,,但是因為在其中植入了很多微小的親水性性圓形材料,這么一來,,水珠就可以安全的被“釘”在平臺的表面上了,。

在最初的測試里,垂直方向的精度可以達到10微米,,也就是百萬分之一米,,而最大的操控范圍則可以達到130微米。

普里斯頓介紹說:“MEMS常常因為固體表面間的接觸而磨損,,甚至還有可能卡住,。在這么微小的運作層面上,東西非常容易壞,。雖說我們這項技術并非是什么新鮮事,,但是還沒有用它來移動過一個平臺。我們所做出的真正創(chuàng)新點則是在沒有固體材料的鏈接下,,成功將一個平臺上下移動,,甚至還可以做到改變角度?!?/p>

從原理上來看,,如果用上大型的電極陣列,,除了可以讓平臺的上下移動以外,還能實現(xiàn)一些更為精確的操作,。比如說,,這個陣列可以應用于在“芯片實驗室”(Lab on a chip),將生物樣品從一個測試芯片“搬運”到下一站去,。

普里斯頓還表示,,這項系統(tǒng)能夠很快用于現(xiàn)實中的某些特定應用上。他還補充道:“(到底會有多塊)要取決于人們對此的熱情,,但是我個人看來這項研究的大面積使用是沒有什么問題的,,我想在一年之內應該就可以實現(xiàn)?!?/p>

加州大學的機械航空工程學教授Chang-Jin Kim雖然沒有參與這項研究,,但是他也指出:“在微觀尺度下的操控是相當困難的,因為那些常用的發(fā)動機或者變速裝置是沒有微版本的,,再說了,,就算它們真的有,,那也是相當脆弱而且摩擦力較大的,。所以在這種前提下,利用液滴來充當一個機械元素也是情理之中,。當然,,在這項研究成為實際以前,還有一系列的問題亟需解決,,但不得不說這已經(jīng)是一個相當具有說服力的起點了,。”

印度理工學院的納米科學與工程中心的教授普羅森系特·森(Prosenjit Sen)對此也做出評論:“這個解決方法更簡單了,,因此將其應用于實際操作范疇下可以有效地節(jié)約成本,。此外,液滴來支撐平臺還能起到一定的避震效果,,這在以前的全固態(tài)平臺上時完全不可能的,。”


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