中國北京2016年12月27日訊 –前不久,國務(wù)院印發(fā)的《“十三五”國家科技創(chuàng)新規(guī)劃》中,,明確提出將發(fā)展先進(jìn)功能材料技術(shù),,以及新一代信息技術(shù)作為全國科研隊伍下一階段的工作方向,。事實(shí)上,,隨著科技的進(jìn)步,,材料產(chǎn)業(yè)在工業(yè)發(fā)展中發(fā)揮著越來越重要的作用,,近年來氮化鎵,、砷化鎵,、石墨烯等新型材料在集成電路技術(shù),、新能源等領(lǐng)域帶來革命性的發(fā)展機(jī)會。在此背景下,,泰克科技公司近日在重慶成功舉辦了“新型材料,、器件與半導(dǎo)體集成電路測試測量技術(shù)研討會” ,希望促進(jìn)新材料技術(shù)科研與產(chǎn)業(yè)的對話,,促成材料與器件產(chǎn)業(yè)鏈良性互動發(fā)展,。
產(chǎn)業(yè)鏈合力迎接材料和器件技術(shù)發(fā)展新趨勢
以新材料和器件測試為主題的專家演講分享、會后深度互動為大家提供了卓有成效的交流平臺,。
本次會議正是順應(yīng)新時期的大背景,,成功加強(qiáng)了全國相關(guān)領(lǐng)域產(chǎn)學(xué)研隊伍的交流、提供學(xué)術(shù)界與產(chǎn)業(yè)界相互分享最新研究成果的機(jī)會,,為下一階段工作打下堅實(shí)的基礎(chǔ),。來自北京大學(xué)、復(fù)旦大學(xué),、大連理工大學(xué),、中國科學(xué)院化學(xué)研究所、中科大微納加工中心,、西安電子科技大學(xué),、成都海威華芯科技有限公司等多家知名高校、研究所和企業(yè)專家代表共同出席了會議,。
“新型材料,、器件與半導(dǎo)體集成電路測試測量技術(shù)研討會”特別邀請了來自蘇州大學(xué)納米學(xué)院的揭建勝教授,來自中國科學(xué)院微電子研究所硅器件與集成技術(shù)研究室副研究員曾傳濱,,以及泰克資深專家作為主講嘉賓,,共同分享了先進(jìn)材料研究成果以及運(yùn)用半導(dǎo)體特征分析系統(tǒng)進(jìn)行器件、材料和半導(dǎo)體工藝電學(xué)特性分析中遇到的挑戰(zhàn)和解決思路,。會議的互動交流環(huán)節(jié),,大家對當(dāng)前熱門新材料的發(fā)展?fàn)顩r、技術(shù)挑戰(zhàn)和解決思路,,以及市場反饋等話題展開卓有成效的交流,。
“在泰克科技中國團(tuán)隊與企業(yè)客戶交流中,,深感行業(yè)內(nèi)亟待有合適的新型材料、器件與半導(dǎo)體集成電路在測試測量環(huán)節(jié)的產(chǎn)業(yè)互動平臺,?!碧┛丝萍几叨水a(chǎn)品市場經(jīng)理沈鼐叡說道,“作為擁有非常良好的產(chǎn)學(xué)研核心客戶資源的測試測量解決方案提供商,,我們相信泰克可以扮演這樣的角色,,在2016年初規(guī)劃本次研討會,陸續(xù)收到業(yè)界非常積極的反饋和支持,?!?/p>
“感謝泰克舉辦本次研討會,作為企業(yè)我們希望了解新材料技術(shù),、新器件技術(shù)的發(fā)展趨勢以及技術(shù)解決方案,,更重要的是能借助這樣的平臺與同業(yè)專業(yè)人士深度互動交流,兩天時間大家碰撞出了不少火花,?!?海威華芯科技的參會代表會后指出。一整天的會議課程以及另外一天的學(xué)習(xí),、參觀以及交流活動,,大家收獲滿滿但卻意猶未盡,會后大家一致意見希望這個交流平臺能持續(xù)開展,。沈鼐叡表示泰克科技計劃以后每一年將舉辦一次這樣的產(chǎn)業(yè)鏈產(chǎn)學(xué)研專家,、學(xué)者和工程師交流會,明年會邀請更多重量級專家和企業(yè)代表與會,。
新材料帶來的新器件技術(shù)突破,、機(jī)遇與挑戰(zhàn)
揭建勝教授長期致力于低維半導(dǎo)體納米結(jié)構(gòu)的制備、表征及應(yīng)用研究,,探索納米材料在新一代電子,、光電子、能源等重要領(lǐng)域的應(yīng)用,。會上,,揭建勝教授所發(fā)表的“有機(jī)微納單晶圖案陣列化及高性能光電器件”主題演講。他深度分享了有機(jī)單晶材料在器件制造中的應(yīng)用,,并分享了在實(shí)際應(yīng)用中的挑戰(zhàn)以及其團(tuán)隊在高性能光電器件應(yīng)用中,,基于小分子有機(jī)微/納米晶體(SMOC)技術(shù)的應(yīng)對策略,。
“摩爾定律的驅(qū)動,,集成電路制造技術(shù)不斷巧妙的突破物理極限,HKMG及FinFET等技術(shù)都已經(jīng)成熟地產(chǎn)業(yè)化,,并已帶領(lǐng)行業(yè)來到7nm制程節(jié)點(diǎn),?!?揭建勝在演講中指出,“而有機(jī)材料的探索是一個重要的方向,,我們認(rèn)為SMOC已經(jīng)是高性能光電器件的重要基礎(chǔ)材料,,目前已經(jīng)開發(fā)出來兩種SMOC大規(guī)模生產(chǎn)的方法,可以實(shí)現(xiàn)非常棒的一致性和可重復(fù)生產(chǎn)能力,?!毙滦推骷奶匦曰蚴C(jī)制,器件可靠性上的新的退化機(jī)理與理論模型等諸多方面的研究成果都為下一個制程的器件研發(fā)提供了指導(dǎo)方向,。
專家就材料與器件研究中的理論,、方法和經(jīng)驗在多個專題演講中進(jìn)行了深度的探討和分享。
新材料及半導(dǎo)體器件的測試挑戰(zhàn)是大家共同面對的問題,,也是本次會議的另一大主題,。在實(shí)際研發(fā)工作中,設(shè)計者都面臨投產(chǎn)周期越來越短,,參數(shù)提取,、仿真與測量的難度越來越高等等諸多挑戰(zhàn)。曾傳濱研究員在主題為“如何提高半導(dǎo)體IV特性測試穩(wěn)定性”的演講中以具體的案例分析了解決這些挑戰(zhàn)的測試建議,。演講中,,曾傳濱結(jié)合泰克4200-SCS參數(shù)分析儀就探針臺的配置、測試系統(tǒng)設(shè)置進(jìn)行了分享,,并就測試中探針臺對測試可能產(chǎn)生的影響,、測試線纜可能產(chǎn)生的影響等專業(yè)要點(diǎn)進(jìn)行了分析。
除了行業(yè)專家的精彩分享,,泰克專家與參會者共同探討了“新型材料與器件的研究成果”以及“突破與挑戰(zhàn)-半導(dǎo)體集成電路發(fā)展交流”,。泰克資深技術(shù)應(yīng)用經(jīng)理趙詠梅在演講中指出,業(yè)界對新材料的研究一直在不懈地進(jìn)行,,像揭建勝教授所領(lǐng)導(dǎo)的團(tuán)隊所涉足的如碳納米管材料,,以及當(dāng)前引起全球廣泛關(guān)注的石墨烯的研究,業(yè)界都已經(jīng)獲得一些技術(shù)突破,,為器件性能的提升帶來了新的希望,。演講中,泰克專家還分享了為應(yīng)對更嚴(yán)苛的工作環(huán)境,,業(yè)界對寬禁帶半導(dǎo)體,、超導(dǎo)材料及新型光電材料等等領(lǐng)域的研究現(xiàn)狀。趙詠梅還指出,,“另一方面,,面對像物聯(lián)網(wǎng),可穿戴設(shè)備應(yīng)用等這些來自于消費(fèi)類電子市場的新需求,,基于有機(jī)材料的半導(dǎo)體器件,,以及電化學(xué)領(lǐng)域中新型儲能材料的研究也迅速的發(fā)展,。”,。
作為在微電子和半導(dǎo)體材料研究領(lǐng)域獲得廣泛應(yīng)用的4200-SCS參數(shù)分析儀,,一直在材料和集成電路研發(fā)中給專業(yè)人士極大的幫助,也成為兩天會議中大家討論交流最多的話題之一,。主辦方泰克科技也在本次大會的同期開展了4200-SCS參數(shù)分析儀應(yīng)用技術(shù)文章征集活動,,被錄取的文章將獲得獎勵并錄入成冊成為新材料及集成電路參數(shù)性能測試分析的非常有價值的參考文獻(xiàn)。相關(guān)活動鏈接:http://info.tek.com/cn-4200A-SCS-call-paper.html
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