一、導語
2017年3月14日SEMICON CHINA2017在上海盛大開幕。在W3館中,，有一個全新的品牌展臺,，那里人流如織，這個全新的品牌就是NAURA（北方華創(chuàng)）。
同日晚上的GALA DINNER頒獎晚宴上，再次讓全球半導體人記住北方華創(chuàng)這個全球新品牌，SEMI給北方華創(chuàng)頒發(fā)了“2017 SEMI企業(yè)成就獎”,，以表彰北方華創(chuàng)對中國半導體產(chǎn)業(yè)作出的卓越貢獻。
在晚宴上,，有人問我,，北方華創(chuàng)沒聽說過呀？
不知道北方華創(chuàng)沒關(guān)系,。你總該知道北方微電子吧,！總該聽說過七星電子吧！
是的,，北方華創(chuàng)就是由北方微電子和七星電子這兩家中國半導體裝備公司融合而成,，是中國唯一高端集成電路裝備上市平臺,，是中國規(guī)模最大、涉獵領(lǐng)域最廣,、產(chǎn)品最全的半導體裝備制造商,，為全球客戶提供高端半導體裝備。
以全新的形象在SEMICON China 2017亮相的北方華創(chuàng),，全方位展示包括刻蝕（Etch）,、物理氣相沉積（PVD）、化學氣相沉積（CVD）,、氧化/擴散、清洗,、氣體質(zhì)量流量計等高端半導體工藝裝備及核心零部件解決方案,，讓觀眾感受到中華民族半導體裝備的科技之美。
二,、新品牌,，新形象，帶給產(chǎn)業(yè)無限可能
北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司總裁趙晉榮向筆者詮釋公司標識的具體含義：“北方華創(chuàng)”,，英文簡稱為“NAURA”,，全新的名稱和企業(yè)標識的推出，是集團整合過程中的重大里程碑事件,，標志著合并后的新公司將繼續(xù)傳承北方微電子和七星電子悠久的品牌文化,，也預示著未來新公司將迎來更廣闊的發(fā)展機遇。
趙晉榮總裁表示,，融合后的北方華創(chuàng)秉承北方微電子和七星電子多年高科技研發(fā)實力,，強強聯(lián)合，實現(xiàn)資源整合和優(yōu)勢互補,，公司具有更強大的創(chuàng)新實力,。以科技創(chuàng)新為基點，聚集了更大的爆發(fā)力,，著眼未來,，將持續(xù)加強公司造血能力，加速培育更多具核心競爭力的新技術(shù)和新產(chǎn)品,，打造中國最大的半導體裝備產(chǎn)業(yè)上市平臺,。
我們也相信，北方華創(chuàng)將一如既往,，以“創(chuàng)造精良,，打造民族自尊”為己任，繼續(xù)發(fā)揚“精良品質(zhì)·卓越服務·中國制造”的企業(yè)宗旨,，以高端微電子工藝裝備領(lǐng)軍企業(yè)的姿態(tài)登上世界舞臺,，深耕發(fā)展,，引領(lǐng)未來，助推產(chǎn)業(yè)技術(shù)進步,，帶給產(chǎn)業(yè)無限可能,。
三、強強聯(lián)合,，以集成電路為核心,，輻射泛半導體領(lǐng)域
整合后的北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司整合了原七星電子的半導體裝備相關(guān)業(yè)務和原北方微電子的全部業(yè)務，生產(chǎn)的產(chǎn)品以晶圓制造和先進封裝領(lǐng)域為核心,，輻射泛半導體領(lǐng)域,，包括新能源光伏、半導體照明,、微機電系統(tǒng),、功率器件、化合物半導體,、平板顯示等領(lǐng)域,。
寬敞明亮的生產(chǎn)車間（圖片由北方華創(chuàng)提供）
在集成電路領(lǐng)域，由公司自主研發(fā)的14納米等離子硅刻蝕機,、單片退火系統(tǒng),、低壓化學氣相沉積（LPCVD）設(shè)備已成功進入集成電路主流代工廠；28納米Hardmask PVD,、Al-Pad PVD設(shè)備已率先進入國際供應鏈體系,；12英寸清洗機累計流片量已突破60萬片大關(guān)；深硅刻蝕設(shè)備也于去年一舉告捷東南亞市場,。
在先進封裝領(lǐng)域,，北方華創(chuàng)開發(fā)的硅通孔（TSV）刻蝕機和物理氣相沉積（PVD）設(shè)備已在全球前十大封裝企業(yè)中得到了廣泛應用；同時應用于凸塊（Bumping）制程的清潔（Descum）設(shè)備受到市場的積極關(guān)注,。
在功率器件領(lǐng)域,，北方華創(chuàng)自主研發(fā)的薄膜/厚膜硅外延APCVD系統(tǒng)、刻蝕設(shè)備及金屬濺射PVD已獲得國內(nèi)多家功率器件客戶的認可和批量采購,；為多條功率器件生產(chǎn)線提供清洗解決方案,；先進的臥式擴散/氧化系統(tǒng)可以滿足功率半導體領(lǐng)域特殊工藝的應用。
在MEMS領(lǐng)域,，北方華創(chuàng)的深硅刻蝕設(shè)備已實現(xiàn)批量銷售,，獲得了用戶廣泛的認可與好評；臥式LPCVD已成功應用于半導體級碳納米管生長,；并成功研發(fā)先進氮化鋁薄膜沉積設(shè)備及工藝解決方案,。
在化合物半導體領(lǐng)域，北方華創(chuàng)定制開發(fā)了化合物半導體刻蝕機,、PECVD系統(tǒng),、槽式清洗系統(tǒng)和臥式擴散/氧化系統(tǒng),，為客戶提供全面的設(shè)備及工藝解決方案。
在LED領(lǐng)域,，北方華創(chuàng)推出了ELEDE系列刻蝕機,，自2010年面市以來就深受用戶歡迎，ELEDE 380G+刻蝕機和ELEDE 380E PSS刻蝕機成為LED領(lǐng)域標桿產(chǎn)品,；iTops A230 氮化鋁濺射系統(tǒng)的推出,，是LED領(lǐng)域的一個里程碑的產(chǎn)品，成為全球最受用戶歡迎的創(chuàng)新產(chǎn)品,，實現(xiàn)全球市場占有率第一,。
在光伏制造領(lǐng)域，公司研發(fā)了國內(nèi)首臺應用于高效光伏電池生產(chǎn)的負壓擴散爐,，打破了國際技術(shù)壟斷,，獲得了市場認可，目前已穩(wěn)穩(wěn)拔得市場頭籌,；研發(fā)的晶硅電池線的大部分關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備如在線濕法刻蝕機、槽式單晶制絨機,、臥式擴散爐,、PECVD等設(shè)備均已實現(xiàn)了進口替代。
在平板顯示領(lǐng)域,，北方華創(chuàng)微電子公司是國內(nèi)TFT-LCD生產(chǎn)線的骨干設(shè)備供應商,，多種產(chǎn)品在客戶G5至G10.5各個世代TFT-LCD生產(chǎn)線及OLED生產(chǎn)線上批量應用；CELL段的ODF工藝紫外固化爐UV Cure以及Cutting工藝的Grind Cleaner等設(shè)備均在各世代生產(chǎn)線占據(jù)重要份額,。
公司在氣體流量測量和控制方面亦擁有多項關(guān)鍵技術(shù)優(yōu)勢,，氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）產(chǎn)品行銷歐美，在國內(nèi)市場中始終占第一品牌的行業(yè)地位,。
在為半導體領(lǐng)域客戶打造的產(chǎn)品藍圖中,，新技術(shù)、新產(chǎn)品,、新工藝代代更迭,、生生不息。正如“北方華創(chuàng)”品牌的英文名稱——“NAURA”所寓意的,，“北方華創(chuàng)”的明星產(chǎn)品如浩瀚星辰般在半導體宇宙中璀璨閃耀,。
四、依托02專項,，為中國裝備業(yè)添光
2017年5月23日,，《極大規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝》項目（以下簡稱02專項）成果發(fā)布會在北京舉行，在會上筆者了解到,，作為國家作02重大科技專項重點承擔單位,，公司通過一直以來承擔重大專項多項課題的科研任務,，經(jīng)過九年攻關(guān)，完成了刻蝕機,、磁控濺射,、氧化爐、低壓化學氣相沉積,、清洗機,、原子層沉積等集成電路設(shè)備90/55/40/28納米工藝驗證，實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化,；刻蝕（ETCH）,、單片退火系統(tǒng)、化學氣相沉積（CVD）三大類集成電路設(shè)備進入14納米工藝驗證階段,，首次實現(xiàn)與國外設(shè)備同步驗證,。
到底北方華創(chuàng)的活力來自哪里？讓我們來聽聽聽02專項總體組專家的說法,。
02專項總體組專家,、國家封測聯(lián)盟秘書長于燮康認為02專項的創(chuàng)新的考核機制為北方華創(chuàng)的發(fā)展注力了活力?！跋掠慰己松嫌?，整機考核部件，應用考核技術(shù),，市場考核產(chǎn)品”的考核制保證了科研成果的實用性,，成就了一大批經(jīng)得起市場檢驗的高端產(chǎn)品。
由于北方華創(chuàng)是承擔02專項裝備項目最多的單位,，同時也是零部件的最大用戶,，因此，公司與上下游交流的機會很多,，不但增進了相互信任,，也帶來了商機。
中芯國際作為02專項創(chuàng)的驗證單位,，承擔了北方華創(chuàng)大部分產(chǎn)品的驗證工作,，雙方建立了緊密的合作關(guān)系。中芯國際在開發(fā)28納米工藝初期,，根據(jù)自身工藝的特點,，需要一種單片快速退火設(shè)備，國外還沒有完全符合要求的成熟產(chǎn)品,，基于雙方的了解,，主動提出由北方華創(chuàng)來開發(fā)此設(shè)備。雙方進行了深入的交流,，在不到一年的時間里,，成功完成設(shè)備開發(fā)及工藝驗證,，相關(guān)指標達到國際先進水平，成為中芯國際28納米生產(chǎn)線基線（Baseline）配置產(chǎn)品,，實現(xiàn)批量銷售,。
北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司正是在此嚴苛的考核機制下，取得了一系列的成果,。
2008年3月6日,，北方微電子公司自主研制的NMC 612高密度等離子刻蝕機正式進入中芯國際北京12英寸工廠生產(chǎn)線，應用于90-65納米硅柵刻蝕和淺槽隔離刻蝕等工藝制程,。
2013年推出的Polaris T是應用于先進封裝領(lǐng)域TSV阻擋層,、籽晶層沉積工藝的高性能PVD設(shè)備，可面對極具挑戰(zhàn)的TSV孔隙填充工藝要求,，可以實現(xiàn)5um直徑,、12:1深寬比TSV深孔的無孔洞電鍍填充，兼容12英寸硅,、玻璃等多種基片,。
2015年exTin H430 TiN PVD設(shè)備、eVictor A830 Al pad PVD兩款設(shè)備進入海外主流芯片企業(yè)外,，Booster A630單片退火系統(tǒng),、NMC612硅刻蝕設(shè)備也成為中芯國際的基線（Baseline）機臺，實現(xiàn)大生產(chǎn)線的批量生產(chǎn),。
2016年11月推出200mm高性能多功能磁控濺射系統(tǒng),，滿足先進封裝,、微機電系統(tǒng)等多領(lǐng)域制程的發(fā)展需求,，推出當月就實現(xiàn)銷售。
相信,，北方華創(chuàng)將繼續(xù)發(fā)揚“精良品質(zhì)·卓越服務·中國制造”的企業(yè)精神,，深耕發(fā)展，引領(lǐng)未來,，與業(yè)界同仁攜手合作,，助推產(chǎn)業(yè)技術(shù)進步，帶給產(chǎn)業(yè)無限可能,。
五,、抓住機遇求發(fā)展，在競爭中取勝
中國集成電路裝備和材料在02專項的推動下,，在某些領(lǐng)域確實取得了重點突破,，可以與海外跨國公司實現(xiàn)同臺競技。但是我們也要看到,，重點突破不等于全面突破,。我們與海外跨國公司還是存在相當?shù)牟罹唷?/p>
根據(jù)SEMI報告,，2016年全球半導體制造設(shè)備的總銷售額為412.4億美元（約合2800億元人民幣），中國成為半導體設(shè)備第三大市場,，設(shè)備銷售額達64.6億美元（約合430億元人民幣）,。前十大半導體設(shè)備供應商的銷售額超過370億美元，占全球總銷售額的90%以上,。
實際上,，全球半導體設(shè)備幾乎被美、日所壟斷,，前十大半導體設(shè)備供應商除了光刻設(shè)備供應商ASML 位于歐洲荷蘭,，其他九家都位于美、日,。全球半導體設(shè)備頂級供應商還沒有見到中國廠商的身影,。
在“國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金”和地方基金的助推下，國際制造廠商幾乎全線挺進中國大陸,，不遺余力地進行產(chǎn)能擴張,，中國集成電路產(chǎn)業(yè)迎來了千載難逢的發(fā)展“黃金期”，據(jù)估算投入各類資金總量可能達1000億美元以上,。
02專項總體組專家,、北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司高級副總裁、首席戰(zhàn)略官張國銘表示,，根據(jù)目前各大廠商公布的未來幾年在中國大陸擴張的技術(shù)規(guī)劃,，未來幾年我們在設(shè)備技術(shù)的發(fā)展方向上至少可以在以下幾個方面得以突破：16/14納米及以下的FinFET技術(shù)發(fā)展，多次曝光技術(shù)帶來設(shè)備技術(shù)和設(shè)備數(shù)量的需求,，3D NAND閃存技術(shù)所帶來的設(shè)備需求以及3D封裝技術(shù)對晶圓級封裝設(shè)備的需求突破,。基于此,，北方華創(chuàng)在02專項的支持下,，已經(jīng)開始進行布局，而且取得了相當?shù)某煽?。北方華創(chuàng)在28納米及以上的制程已經(jīng)實現(xiàn)了批量銷售,，14納米已經(jīng)開始工藝驗證，只要我們能夠豐富產(chǎn)品種類,，拓寬應用領(lǐng)域,，滿足客戶多樣化的工藝需求，未來完全有機會在適應性與靈活性上與國際對手從同一起跑線上競爭,，并非常有望在市場選擇中得以勝出,。
六、結(jié)語
俗話說，兵馬未動,，糧草先行,。對于國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)而言，要實現(xiàn)從跟隨者走向引領(lǐng)者的跨越,，裝備產(chǎn)業(yè)是最重要的一個環(huán)節(jié),。中國集成電路發(fā)展任重道遠，中國集成電路裝備和材料業(yè)更是壓力山大,。
北方華創(chuàng)2016年的營收為16.22億元（約合2.4億美元）,，約占全球半導體設(shè)備市場0.58%。根據(jù)中國半導體行業(yè)協(xié)會的數(shù)據(jù)表明,，2015年和2016年公司連續(xù)兩年入圍中國半導體裝備五強榜單,。
祝福北方華創(chuàng)永攀高峰，再創(chuàng)佳績,。
希望集成電路裝備和材料業(yè)能挺起中國集成電路的脊梁,。