在極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝專項(xiàng)(簡稱“集成電路專項(xiàng)”)以及其他國家相關(guān)產(chǎn)業(yè)政策的推動下,，近年來我國半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)取得較快進(jìn)步,，部分關(guān)鍵設(shè)備從無到有，實(shí)現(xiàn)了與國際先進(jìn)技術(shù)水平的同步發(fā)展,。同時,，部分國產(chǎn)設(shè)備進(jìn)入大生產(chǎn)線，在產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程上取得突破,。在此情況下,，如何讓產(chǎn)品在推向市場的過程中獲得合理的利潤，以利持續(xù)發(fā)展,，成為國產(chǎn)設(shè)備廠商關(guān)注的重點(diǎn),。

半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化率提升存挑戰(zhàn)

中國半導(dǎo)體行業(yè)要想實(shí)現(xiàn)從跟隨到引領(lǐng)的跨越，設(shè)備產(chǎn)業(yè)的成長是重要環(huán)節(jié)之一,。但是半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)卻存在技術(shù)難度大,，進(jìn)入門檻高的特點(diǎn)。目前為止,，我國半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域仍然存在著國產(chǎn)化率較低的問題,。

對此，半導(dǎo)體專家莫大康指出,，上世紀(jì)80年代末期開始,，半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)開始把工藝能力整合在設(shè)備中，讓用戶買到設(shè)備就能保證使用,，并且達(dá)到工藝要求,。因此有“一代器件,，一代設(shè)備”之說。這是半導(dǎo)體設(shè)備如此昂貴的原因,，也是國內(nèi)企業(yè)面對的極大挑戰(zhàn),。

此外，一臺設(shè)備從研發(fā),、樣機(jī)開始,，必須經(jīng)過大量硅片通過等工藝試驗(yàn)，才能發(fā)現(xiàn)問題,，并進(jìn)行改型,。這樣的過程要重復(fù)多次，改型多次后才能最后定型,。另外,，出廠前還要經(jīng)過馬拉松試驗(yàn)，測算平均無故障時間等,。

這對實(shí)力尚弱的國產(chǎn)設(shè)備廠商來說,，也是一個巨大的挑戰(zhàn)。

SEMI中國區(qū)總裁居龍也表示：“目前中國設(shè)備正在取得從0到1的突破,，但是要認(rèn)識到這一進(jìn)程的長期性,。”

《中國制造2025》對于半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化提出了明確要求：在2020年之前,，90～32納米工藝設(shè)備國產(chǎn)化率達(dá)到50%,，實(shí)現(xiàn)90納米光刻機(jī)國產(chǎn)化，封測關(guān)鍵設(shè)備國產(chǎn)化率達(dá)到50%,。在2025年之前,，20～14納米工藝設(shè)備國產(chǎn)化率達(dá)到30%，實(shí)現(xiàn)浸沒式光刻機(jī)國產(chǎn)化,。

“集成電路專項(xiàng)”加速產(chǎn)業(yè)整體布局

盡管存在挑戰(zhàn),，經(jīng)過多年來的不斷培育，特別是在國家“02專項(xiàng)”等政策的扶持下,，國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)還是取得了一定進(jìn)步,。日前，科技部會同北京市和上海市人民政府組織召開了國家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”成果發(fā)布會,。在過去的九年里,，集成電路專項(xiàng)對中國半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)整體布局，既有全面填空,，又有重點(diǎn)突破,。

根據(jù)成果發(fā)布，北方華創(chuàng)通過近九年的科技攻關(guān),，完成了刻蝕機(jī),、磁控濺射,、氧化爐、低壓化學(xué)氣相沉積,、清洗機(jī),、原子層沉積等集成電路設(shè)備90/55/40/28納米工藝驗(yàn)證，實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化,。公司的刻蝕機(jī)等三大類集成電路設(shè)備進(jìn)入14納米工藝驗(yàn)證階段,，首次實(shí)現(xiàn)與國外設(shè)備同步驗(yàn)證。在集成電路專項(xiàng)的支持下,，12英寸集成電路設(shè)備實(shí)現(xiàn)從無到有,，并實(shí)現(xiàn)批量銷售，成為公司的主要收入來源之一,。中微半導(dǎo)體先后承擔(dān)并圓滿完成65～45納米,、32～22納米、22～14納米等三項(xiàng)等離子介質(zhì)刻蝕設(shè)備產(chǎn)品研制和產(chǎn)業(yè)化的集成電路專項(xiàng)任務(wù),，使我國在該項(xiàng)設(shè)備領(lǐng)域中的技術(shù)基本保持了與國際先進(jìn)水平同步,。中微半導(dǎo)體已經(jīng)有460多個介質(zhì)刻蝕反應(yīng)臺在海內(nèi)外27條生產(chǎn)線上高質(zhì)穩(wěn)定地生產(chǎn)了4000多萬片晶圓。

根據(jù)中科院微電子所所長葉甜春的介紹,，在關(guān)鍵裝備和材料方面,，我國實(shí)現(xiàn)了從無到有的跨越，大部分產(chǎn)品水平達(dá)到28納米,，部分產(chǎn)品進(jìn)入14納米,，被國外生產(chǎn)線采用;國產(chǎn)設(shè)備驗(yàn)證和應(yīng)用整體累積流片突破150萬片，銷售數(shù)量超過265臺,。從工藝分布上看,，國產(chǎn)設(shè)備橫跨了12英寸集成電路生產(chǎn)線90～14納米各個技術(shù)節(jié)點(diǎn)的關(guān)鍵性工藝大類，并基本與國內(nèi)14nm先進(jìn)工藝研發(fā)同步進(jìn)行驗(yàn)證,。

用產(chǎn)品差異化取代低價競爭

在產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程取得一定突破的情況下,，如何讓發(fā)展來之不易的國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)得到持續(xù)發(fā)展,，逐漸成為國產(chǎn)設(shè)備業(yè)關(guān)注的重點(diǎn),。

其中，最核心的一個問題就是產(chǎn)品的價格問題,。目前,，國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商存在低價競爭的狀況，一些用戶企業(yè)在面對國產(chǎn)設(shè)備廠商時,，也會盡量壓低價格,，國產(chǎn)設(shè)備仿佛給人留下的印象就是低價。

對此,，盛美半導(dǎo)體董事長兼CEO王暉指出,，半導(dǎo)體設(shè)備制造是一個門檻很高的行業(yè),，不僅技術(shù)高度密集，廠商需要掌握嚴(yán)密的IP,，而且產(chǎn)品售出之后還有大量后續(xù)服務(wù)需要做好,。

如果售價被壓得過低，勢必會大幅壓低設(shè)備企業(yè)的利潤空間,。短期內(nèi)用戶企業(yè)雖然可能獲利,，但是勢必會影響到后續(xù)服務(wù)的進(jìn)行。而且,，設(shè)備行業(yè)的競爭十分激烈,，企業(yè)必須保證對每一代技術(shù)的持續(xù)跟進(jìn)，才能保持技術(shù)的領(lǐng)先性,。這就需要企業(yè)持續(xù)進(jìn)行投入,。然而，如果獲利過低,，將導(dǎo)致企業(yè)無力跟進(jìn)技術(shù)的進(jìn)步,。

王暉認(rèn)為，對于國產(chǎn)設(shè)備業(yè)者來說,，最佳的解決之道就是做產(chǎn)品的差異化技術(shù)開發(fā),，而不是僅憑低價格來爭取訂單。

“面對同一個應(yīng)用,，同一個技術(shù)挑戰(zhàn),，你要比大公司做得好，就要尋求差異化的解決方法,，否則很難超過大公司,。”他說,。

在王暉看來,，從技術(shù)創(chuàng)新的角度，小公司未必會輸給大公司,。反而因?yàn)樾」揪邆潇`活性及高效率,，更容易做出突破性的技術(shù)。以點(diǎn)帶面,，從點(diǎn)上取得突破,，方是國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)長期持續(xù)的成長之道。