純度要求達(dá)到99.999999999%的電子級(jí)多晶硅終于量產(chǎn),。記者6日從江蘇鑫華半導(dǎo)體材料科技有限公司獲悉,,經(jīng)過一系列嚴(yán)格驗(yàn)證,、檢測(cè),,近日一批集成電路用高純度硅料出口韓國(guó),,同時(shí)也向國(guó)內(nèi)部分晶圓加工廠批量供貨,。這標(biāo)志著我國(guó)半導(dǎo)體集成電路用硅料已經(jīng)達(dá)到國(guó)際一流質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn),,也是我國(guó)多晶硅制造企業(yè)首次向國(guó)際市場(chǎng)出口集成電路用高純度硅料,。
電子級(jí)多晶硅材料是集成電路的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料,過去中國(guó)市場(chǎng)上的集成電路用多晶硅材料基本完全依賴進(jìn)口。電子級(jí)多晶硅是純度最高的多晶硅材料,。相對(duì)于太陽能級(jí)多晶硅99.9999%純度,,電子級(jí)多晶硅的純度要求達(dá)到99.999999999%。5000噸的電子級(jí)多晶硅中總的雜質(zhì)含量相當(dāng)于一枚1元硬幣的重量,。
2015年12月,,鑫華半導(dǎo)體由國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金聯(lián)手保利協(xié)鑫共同投資,建設(shè)國(guó)內(nèi)首條5000噸半導(dǎo)體集成電路專用電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)線,。去年11月8日,,協(xié)鑫旗下鑫華半導(dǎo)體正式發(fā)布電子級(jí)多晶硅產(chǎn)品。
目前,,該電子級(jí)多晶硅已通過客戶驗(yàn)證并形成規(guī)?;N售,打破長(zhǎng)期以來國(guó)外高純度材料壟斷,,填補(bǔ)該產(chǎn)業(yè)國(guó)內(nèi)技術(shù)空白,。鑫華半導(dǎo)體公司第一條生產(chǎn)線的產(chǎn)能為5000噸,可保證國(guó)內(nèi)企業(yè)3至5年內(nèi)電子級(jí)多晶硅不會(huì)缺貨,,產(chǎn)品質(zhì)量滿足40nm及以下極大規(guī)模集成電路用12英寸單晶制造需求,。同時(shí),還將規(guī)劃再上一條5000噸生產(chǎn)線,,以更好地滿足國(guó)際國(guó)內(nèi)市場(chǎng),。