隨著科創(chuàng)板的加快推出,，一大批集成電路企業(yè)正在積極備戰(zhàn)科創(chuàng)板,。2月13日，國產(chǎn)光刻機核心系統(tǒng)供應商華卓精科股票終止在全國中小企業(yè)股份轉(zhuǎn)讓系統(tǒng)掛牌,。

　　據(jù)了解,，華卓精科是國內(nèi)唯一一家研制光刻機雙工件臺的設備企業(yè)，符合科創(chuàng)板的面向國家重大需求,、突破關鍵核心技術(shù)的科技創(chuàng)新企業(yè)定位,。標志著我國成為世界上少數(shù)幾個可自主研制光刻機雙工件臺這一超精密機械與測控技術(shù)領域最尖端系統(tǒng)的國家。

　　資料顯示,，北京華卓精科科技股份有限公司創(chuàng)立于2012年,，由清華IC裝備團隊在清華大學及其下屬“北京-清華工業(yè)技術(shù)研究院”和02專項的支持下創(chuàng)立,，是一家肩負著專項重大科研成果產(chǎn)業(yè)化重任的高新技術(shù)企業(yè)。公司建立初衷在于將清華大學在02專項中積累的高端壟斷技術(shù)落地產(chǎn)業(yè)化,，通過“技術(shù)輻射&下行”的方式,，面向國內(nèi)市場提供產(chǎn)業(yè)界急需的高端零部件、子系統(tǒng)類產(chǎn)品,。

　　在國家科技重大專項02專項中,，華卓精科承擔了“浸沒式光刻機雙工件臺產(chǎn)品研制與能力建設”和“浸沒雙工件臺平面光柵位置測量系統(tǒng)研發(fā)”兩個項目。

　　目前,，由華卓精科研發(fā)團隊成功研制出的具有自主知識產(chǎn)權(quán)的國產(chǎn)光刻機工件臺系統(tǒng),， 面向特定市場研發(fā)的IGBT激光快速退火工藝裝備，技術(shù)指標均達到國際先進水平,。

　　華卓精科面向國內(nèi)外的IC制造,、光學、超精密制造等行業(yè),，致力于為行業(yè)提供整機裝備,、核心子系統(tǒng)、關鍵零部件和定制服務,，主營產(chǎn)品包含高端整機,、超精密運動系統(tǒng)、精密儀器設備和高端特種制造等方面,，現(xiàn)在已經(jīng)成功推出了光刻機雙工件臺,、精密隔振、超精密運動系統(tǒng),、關鍵零部件等系列化產(chǎn)品,。

　　據(jù)資料顯示，華卓精科于2015年登陸新三板,，是中國集成電路裝備的領軍企業(yè),，業(yè)績增長迅速。華卓精科2018上半年實現(xiàn)營業(yè)收入31,930,295.92元,，比上年同期22,093,065.43元,，增加44.53%;2018年上半年實現(xiàn)凈利潤6,836,650.82元，上年同期凈利潤為7,624,806.73元,。