王陽元,微納電子學家,中國科學院院士?,F(xiàn)任北京大學教授,,北京大學微納電子學研究院首席科學家,IEEE Life Fellow,,IEE Fellow,,工業(yè)和信息化部電子科學技術(shù)委員會顧問,國家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展咨詢委員會副主任,。研究方向為微納電子學的新器件,、新工藝技術(shù)和新結(jié)構(gòu)電路。
4月22日,,清華大學官宣正式成立集成電路學院,。新成立的集成電路學院將瞄準集成電路“卡脖子”難題,聚焦集成電路學科前沿,,突破關鍵核心技術(shù),,支撐我國集成電路事業(yè)的自主創(chuàng)新發(fā)展。
當前,,我國集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展正處于機遇與挑戰(zhàn)既同在又都有新變化的歷史時期,,如何抓住機遇、應對挑戰(zhàn),?
王陽元院士在《科技導報》第3期發(fā)表的《掌握規(guī)律,,創(chuàng)新驅(qū)動,扎實推進中國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展》一文中指出:首先要清晰地認識集成電路科學,、技術(shù)和產(chǎn)業(yè)的發(fā)展規(guī)律,,才能有效地利用和配置人、財,、物等各種資源,,使其產(chǎn)生最大價值,在滿足市場需求和國際競爭的博弈中沿著正確的道路高速發(fā)展,。
簡要歷史回顧
初始創(chuàng)業(yè)
20世紀60年代中期,,首塊集成電路誕生,中國集成電路產(chǎn)業(yè)開始萌芽,。
20世紀60年代中期至70年代中期是國外集成電路產(chǎn)業(yè)迅速發(fā)展的時期,,囿于國外禁運環(huán)境和國內(nèi)文化大革命的環(huán)境所限,,我們對集成電路技術(shù)及產(chǎn)業(yè)的發(fā)展規(guī)律認識不足,導致了中國集成電路產(chǎn)業(yè)總體規(guī)模小,、技術(shù)水平低,。
1975年,第1塊以硅柵N溝道MOS集成電路技術(shù)為主體的1024位MOS動態(tài)隨機存取存儲器在北京大學研制成功,,但在向全國企業(yè)成果轉(zhuǎn)移時,,并未取得理想結(jié)果。
在這一初始創(chuàng)業(yè)階段中,,管理部門只對工廠下達集成電路生產(chǎn)量(塊數(shù))的指標,,1981年之前并沒有銷售額的統(tǒng)計。
探索前進
20世紀70年代后期,,開始以不同方式對引進國外的設備和技術(shù)進行初步嘗試,。
為了加強對集成電路產(chǎn)業(yè)的領導,1982年,,國務院“電子計算機和大規(guī)模集成電路領導小組”成立,;1987年,電子工業(yè)部微電子器件局成立,。
在各有關部門的指導下,,陸續(xù)實施了“無錫微電子工程”、“908”工程和“909”工程,,集成電路生產(chǎn)技術(shù)從5 μm逐步提升到0.35 μm,。
但由于企業(yè)體制、投資,、市場以及人才等諸多因素的影響,,集成電路銷售額增長有限,從1981年到1999年,,全國集成電路產(chǎn)業(yè)銷售總額僅由1.1億元增長到79.5億元,,不足世界市場的1%。在這18年中,,平均每年的銷售額僅增長4.4億元,。
規(guī)范發(fā)展
自2000年起,在改革開放的大環(huán)境中,,中國集成電路產(chǎn)業(yè)開始步入規(guī)范發(fā)展的軌道,。
其標志性事件一是2000年6月24日《國務院關于印發(fā)鼓勵軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路發(fā)展若干政策的通知(國發(fā)〔2000〕18號)》發(fā)布,,二是“中芯國際”以及一批符合集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)律的企業(yè)陸續(xù)建立,。
2003年,《半導體國際》雜志載文評價:“中芯國際把中國與全球權(quán)威者的差距由原來的4至5代縮小到僅剩1至2代,?!?/p>
1999—2009年,,中國集成電路產(chǎn)業(yè)平均每年銷售額增長103億元,集成電路加工技術(shù)達到了65 nm,。
高速發(fā)展
從2009年起,,中國集成電路產(chǎn)業(yè)步入高速發(fā)展階段。
2011年1月28日《國務院關于印發(fā)進一步鼓勵軟件產(chǎn)業(yè)和集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展若干政策的通知(國發(fā)〔2011〕4號)》的發(fā)布和2014年“國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金股份有限公司”的成立是最重要的驅(qū)動力,。
同時,,《國家中長期科學和技術(shù)發(fā)展規(guī)劃綱要(2006—2020年)》中實施的“核心電子器件、高端通用芯片及基礎軟件產(chǎn)品”專項(01專項)和“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”專項(02專項)的作用也逐步顯現(xiàn),。
2009—2019年,,中國集成電路產(chǎn)業(yè)平均每年銷售額增長645.3億元,是上一個10年平均增長額的6.3倍,。
2019年,,中芯國際的14 nm加工技術(shù)已經(jīng)投入批量生產(chǎn)。
這10年間,,中國集成電路產(chǎn)業(yè)銷售額的年平均增長率為21.04%,,是同期世界半導體市場年平均增長率6.18%的3.4倍。
1981—2019年中國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展
需說明的是,,中國集成電路產(chǎn)業(yè)銷售額的統(tǒng)計是設計業(yè),、制造業(yè)和封裝業(yè)三業(yè)銷售額的疊加,其中對集成電路產(chǎn)品銷售額存在重復統(tǒng)計的部分,;而WSTS統(tǒng)計的半導體市場僅對集成電路產(chǎn)品銷售額進行統(tǒng)計,,且僅限于對總部所在地企業(yè)銷售的集成電路產(chǎn)品進行統(tǒng)計。
因此,,中國集成電路產(chǎn)業(yè)銷售額不是在世界集成電路市場中真正的“占比”,,只是一個相對比值。
如果真正按照WSTS的統(tǒng)計標準和統(tǒng)計渠道進行統(tǒng)計,,即僅對企業(yè)總部所在地(國家或地區(qū))的企業(yè)及其產(chǎn)品銷售額進行統(tǒng)計,,2019年中國大陸企業(yè)集成電路產(chǎn)業(yè)銷售額僅占世界市場的5%,是真實的,、與國際接軌的“占比”,。
2019年世界半導體企業(yè)(區(qū)域劃分)銷售額占市場總額的比例 數(shù)據(jù)來源:WSTS
鑒于中國消費和中國制造對集成電路的巨大需求,2009年起,,中國半導體市場規(guī)模超過美洲,、歐洲、日本而成為世界第一大市場,。
2019年,,中國半導體市場規(guī)模為1446億美元(實際消費部分),占世界市場的35%,。
2019年世界半導體市場的區(qū)域分布 數(shù)據(jù)來源:WSTS
如此巨大的集成電路市場,,使得中國進口集成電路總額逐年增長,,成為進口額第一的產(chǎn)品。
中國集成電路進口額 數(shù)據(jù)來源:中國海關
2019年,,中國集成電路進口額為3055.5億美元,,而中國實際“消費”的集成電路市場額為1446億美元,兩者的差額正是中國作為第一制造大國的需求,,即1609.5億美元的進口集成電路隨著各種整機電子信息產(chǎn)品又出口到世界各地,,并未成為中國實際消費集成電路市場的組成部分。
現(xiàn)狀與存在的問題
國際環(huán)境
自2016年美國政府換屆開始,,美國對中國的和平崛起采取了全面的打壓和圍剿政策,。
包括在貿(mào)易中高筑關稅壁壘,在系統(tǒng)層面阻撓中國5G產(chǎn)品進入美國和其盟友的市場,,在應用層面要求下架抖音(TikTok)和微信(WeChat),,在制造層面不允許臺積電等代工企業(yè)為華為麒麟芯片加工并將中芯國際列入黑名單,在產(chǎn)品層面斷供高端集成電路(處理器,、存儲器),,在設備方面利用“瓦森納協(xié)議”禁止ASML公司向中國出口EUV設備等。
這種“美國優(yōu)先”的思想源于美國對世界資源的占有和掠奪,。以用電為例,,2020年上半年,美國居民人均每月用電342度(美國能源署數(shù)據(jù)),,而中國居民人均每月用電為63.5度(國家統(tǒng)計局數(shù)據(jù)),。
美國前總統(tǒng)奧巴馬于2010年4月15日在白宮接受澳大利亞電視臺專訪時說:“如果十幾億的中國公民有著和澳大利亞和美國居民一樣的生活方式,那么世界將處于非常悲慘的境地,,地球會無法承受,。”
當我們沒有的時候,,對方封鎖市場,,讓我們得不到最先進的技術(shù)和設備;當我們萌芽的時候,,對方擠占市場,,摧毀幼苗,將新技術(shù),、新產(chǎn)品扼殺在搖籃之中,;當我們強大的時候,對方設立門檻,,不允許在世界市場中分一杯羹,,不能形成有效的外循環(huán)。
這就是美國阻遏中國發(fā)展的邏輯,為此,,必須丟掉幻想,唯有自強才能徹底改變被他人制約的命運,。
美國對中國集成電路產(chǎn)業(yè)的打壓握有兩個“殺手锏”:一是EDA軟件,,二是材料和設備(特別是EUV曝光機)。
對付這兩個“殺手锏”,,我們唯有正面迎戰(zhàn),,才能撕開封鎖的“鐵幕”,正如毛主席所言:“以斗爭求和平則和平存,,以妥協(xié)求和平則和平亡,。”
有3個成功案例佐證:
一是2018年5月上海中微半導體的刻蝕機進入了臺積電供應鏈,,美國馬上放松了對刻蝕機的出口控制,;
二是MOCVD設備被全球兩大供應商(Axitron、Vecco)壟斷,,當上海中微半導體將國產(chǎn)MOCVD設備推向市場時,,兩大供應商將原價2000萬元人民幣的設備降價至600萬元人民幣,妄圖將上海中微半導體擠出國內(nèi)外市場,;
三是筆者親身經(jīng)歷的事件,,1984年,中法兩國時任總理簽署了協(xié)議,,中國采購法國的程控交換機,,法國提供集成電路設計工具EDA源程序,而美國借助“巴黎統(tǒng)籌委員會”要求禁止法國出口EDA工具,。
在這種形勢下,,中國決定以在產(chǎn)業(yè)中實用為指向,以企業(yè)為集中國內(nèi)人力資源的基地,,發(fā)揮舉國體制的優(yōu)勢進行攻關,。
在攻關隊伍的建設中,引進國外專家為總設計師,,筆者臨危受命擔任全國集成電路計算機輔助設計(ICCAD)專家委員會主任,,以“不破樓蘭終不還”的信念、“咬定青山不放松”的毅力,,和全國118名專家學者一起開發(fā)出了中國第1部采用軟件工程方法自行開發(fā)集成的,、具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的、功能齊全的大型ICCAD系統(tǒng),,并命名為“熊貓系統(tǒng)”,。
就在“熊貓系統(tǒng)”獲得國家科技進步一等獎不久,美國EDA三巨頭——Cadence,、Synopsys,、Mentor全都迫不及待地進入了中國市場,。
國內(nèi)環(huán)境
在共產(chǎn)黨的堅強領導下,中國具有舉國之力辦大事的政治優(yōu)勢,,這一點在抗擊新冠病毒流行的“戰(zhàn)疫”中得到充分體現(xiàn),。國內(nèi)有著良好的發(fā)展集成電路的政治環(huán)境。
黨的第十九屆五中全會提出,,“堅定不移建設制造強國,、質(zhì)量強國、網(wǎng)絡強國,、數(shù)字中國”,,“發(fā)展戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)”,“加快數(shù)字化發(fā)展”,。
2020年8月4日,,國務院印發(fā)的《新時期促進集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展的若干政策》中強調(diào),集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)是信息產(chǎn)業(yè)的核心,,是引領新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)變革的關鍵力量,。
為進一步優(yōu)化集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)發(fā)展環(huán)境,深化產(chǎn)業(yè)國際合作,,提升產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新能力和發(fā)展質(zhì)量,,制定出臺財稅、投融資,、研究開發(fā),、進出口、人才,、知識產(chǎn)權(quán),、市場應用、國際合作等8個方面政策措施,。
進一步創(chuàng)新體制機制,,鼓勵集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)發(fā)展,大力培育集成電路領域和軟件領域企業(yè),。
此外,,在經(jīng)濟方面,中國是世界第二大經(jīng)濟體,,有著可靠的對集成電路產(chǎn)業(yè)的投資能力,。
而且中國現(xiàn)在是世界第一制造大國,有較為完整的生產(chǎn)鏈,,有廣泛的能夠融入世界市場的生態(tài)鏈,。
在大學教育方面,增設了“集成電路科學與工程”為一級學科,擴充了培養(yǎng)集成電路科技人才的平臺,。
在“天時,、地利、人和”的環(huán)境下,,面對西方霸凌主義者的挑戰(zhàn),,我們有信心、有能力加速發(fā)展中國的集成電路產(chǎn)業(yè),。
產(chǎn)業(yè)能力
1)設計能力
中國內(nèi)陸的集成電路設計業(yè)已經(jīng)超越中國臺灣地區(qū),成為全球第二大設計業(yè)聚集地,,其銷售額占全球集成電路設計業(yè)的比重由2004年的3.56%提升到2019年的42.99%,。
但是,由于所設計產(chǎn)品多為中低檔芯片,,因此中國設計業(yè)的產(chǎn)品在2019年全球芯片市場的占比(按價值計算)僅為10.3%,。
在中國大陸市場所用的1446億美元的芯片當中,國產(chǎn)芯片的占比僅為29.5%,,即逾70%的芯片為國外產(chǎn)品,。
2)制造能力
2019年,中國擁有4英寸以上晶片集成電路生產(chǎn)線199條,,其中12英寸生產(chǎn)線有28條(全球121條),,8英寸生產(chǎn)線有35條。
2019年中國半導體生產(chǎn)線裝機產(chǎn)能分布數(shù)據(jù)來源:魏少軍在2020全球CEO峰會上的報告《人間正道是滄?!P于大變局下的戰(zhàn)略定力》
2019年,,中芯國際作為中國最大的代工模式企業(yè),在世界半導體代工市場的占有率為5.1%,,營收為31.16億美元,,在全球排名第5,其營收額不足排名第一臺積電357.74億美元的1/10,。
營收額中,,90 nm工藝以下的占50.7%,65 nm工藝的占27.3%,。
中芯國際14 nm工藝已經(jīng)進入量產(chǎn)階段,,2020年年底,7 nm工藝已完成開發(fā),。2019年,,中芯國際的資本支出為21億美元,約為三星電子資本支出的1/10,。
同是代工企業(yè)的華虹半導體公司,,2019年在世界半導體代工市場的占有率為1.5%,在全球代工企業(yè)中排名第7,其65/55 nm射頻與BCD特色工藝平臺達到世界先進水平,,14 nm的FinFET工藝已實現(xiàn)全線貫通,。
2019年,武漢長江存儲科技有限公司開始進入小批量生產(chǎn)階段,;2020年,,在128層3D-NAND(快閃存儲器)技術(shù)上取得突破,達到國際先進水平,。
合肥長鑫存儲技術(shù)有限公司在2018年進入量產(chǎn)階段,,產(chǎn)品為19 nm、8 GB的第四代雙倍數(shù)據(jù)速率同步動態(tài)隨機存取存儲器(DDR4),。
3)封裝能力
中國封測企業(yè)的代表是長電科技,、通富微電和天水華天,三者在世界排名中分別為第3,、第6和第7,。
2019年,長電科技營收額為235.3億元,,在世界封測市場中的占有率為15%,。
4)設備能力
部分刻蝕機、大部分離子注入機,、擴散氧化和清洗設備可以由國產(chǎn)設備供給,。
產(chǎn)業(yè)短板
1)高端芯片對外依存度高。
進口微處理器/控制器(占世界半導體產(chǎn)品市場11%)的金額從2014年的1052.2億美元增長到2019年的1437.7億美元,,增加了385.5億美元,,增長比例為36.6%。
進口半導體存儲器(占世界半導體產(chǎn)品市場26%)的金額從2014年的542.8億美元增長到2019年的947.0億美元,,增加了404.2億美元,,增長比例為74.5%。
2)高端材料與設備自給率較低,,在40~45 nm節(jié)點接近50%,,在28 nm節(jié)點為30%,在7~14 nm節(jié)點僅為5%,。
電子氣體及金屬有機物源(MO)對外依存度超過80%,,化學機械拋光(CMP)的拋光液國產(chǎn)化率小于10%,濺射靶材大部分需要進口,,用于大生產(chǎn)的300mm的硅片至今主要依靠進口,。
3)EDA軟件尚難以與“三巨頭”抗衡,成系統(tǒng)的國產(chǎn)EDA軟件市場份額不足5%,。
4)缺少能夠在世界市場中獨樹一幟的IDM型大企業(yè),。
5)人才,,尤其是高端的、具有綜合管理能力的人才嚴重不足,。