意法半導(dǎo)體制造首批200mm碳化硅晶圓
2021-07-28
來(lái)源:意法半導(dǎo)體
中國(guó),,2021 年 7 月 27 日--服務(wù)多重電子應(yīng)用領(lǐng)域的全球半導(dǎo)體領(lǐng)導(dǎo)者意法半導(dǎo)體(STMicroelectronics,,簡(jiǎn)稱ST,;紐約證券交易所代碼:STM)宣布,,ST瑞典北雪平工廠制造出首批200mm (8寸)碳化硅(SiC)晶圓片,這些晶圓將用于生產(chǎn)下一代電力電子芯片的產(chǎn)品原型,。SiC晶圓升級(jí)到200mm標(biāo)志著ST面向汽車和工業(yè)客戶的擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃取得重要的階段性成功,,鞏固了ST在這一開創(chuàng)性技術(shù)領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)地位,提高了電力電子芯片的輕量化和能效,,降低客戶獲取這些產(chǎn)品的總擁有成本,。
意法半導(dǎo)體的首批200mm SiC晶圓片質(zhì)量上乘,影響芯片良率和晶體位錯(cuò)的缺陷非常少,。低缺陷率的取得離不開意法半導(dǎo)體碳化硅公司(前身是Norstel公司,,2019年被ST收購(gòu))在SiC硅錠生長(zhǎng)技術(shù)開發(fā)方面的深厚積累和沉淀。除了晶圓片滿足嚴(yán)格的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)外,,SiC晶圓升級(jí)到200mm還需要對(duì)制造設(shè)備和整體支持生態(tài)系統(tǒng)進(jìn)行升級(jí)更換,。意法半導(dǎo)體正在與供應(yīng)鏈上下游技術(shù)廠商合作開發(fā)自己的制造設(shè)備和生產(chǎn)工藝。
意法半導(dǎo)體先進(jìn)的量產(chǎn)碳化硅產(chǎn)品STPOWER SiC目前是在卡塔尼亞(意大利)和宏茂橋(新加坡)兩家150mm晶圓廠完成前工序制造,后工序制造是在深圳(中國(guó))和布斯庫(kù)拉(摩洛哥)的兩家封測(cè)廠進(jìn)行的,。這個(gè)階段性成功是意法半導(dǎo)體布局更先進(jìn)的,、高成本效益的200mm SiC量產(chǎn)計(jì)劃的組成部分。SiC晶圓升級(jí)到200mm屬于公司正在執(zhí)行的SiC襯底建新廠和內(nèi)部采購(gòu)SiC襯底占比超40%的生產(chǎn)計(jì)劃,。
意法半導(dǎo)體汽車和分立器件產(chǎn)品部總裁Marco Monti表示:“汽車和工業(yè)市場(chǎng)正在加快推進(jìn)系統(tǒng)和產(chǎn)品電氣化進(jìn)程,,SiC晶圓升級(jí)到200mm將會(huì)給我們的汽車和工業(yè)客戶帶來(lái)巨大好處。隨著產(chǎn)量擴(kuò)大,,提升規(guī)模經(jīng)濟(jì)效益是很重要的,。在覆蓋整個(gè)制造鏈的內(nèi)部SiC生態(tài)系統(tǒng)方面積累深厚的專業(yè)知識(shí),可以提高我們的制造靈活性,,更有效地控制晶圓片的良率和質(zhì)量改進(jìn),。”