預(yù)防性維護(hù)

　　稱之為“濕法”實(shí)為“干法”,，這聽起來像謎語,，但對(duì)于等離子體工藝設(shè)備來說,，答案就是“濕法清洗”,，一種重要的預(yù)防性維護(hù)方式。

　　“濕法清洗”一詞源自行業(yè)早期的預(yù)防性維護(hù)方式,，即拆卸反應(yīng)腔室并將石英部件浸入酸水沖洗,，之后再晾干并重新組裝。如今對(duì)于需要高精度維護(hù)的設(shè)備而言,，其中唯一涉及“濕”的常用物質(zhì)便是去離子水濕潤(rùn)過的無絨布,，不過“濕法清洗”這個(gè)傳統(tǒng)稱謂卻被沿用至今。所以,，維護(hù)方式被稱為“濕法”,，但實(shí)際上卻是“干法”。

　　預(yù)防性維護(hù)的目標(biāo)是保持設(shè)備的正常運(yùn)行和盡量減少任何計(jì)劃外的停機(jī),，因?yàn)檫@種停機(jī)一般會(huì)嚴(yán)重?cái)_亂生產(chǎn),、會(huì)導(dǎo)致較高的成本以及生產(chǎn)損失。如同一輛汽車,，定期更換發(fā)動(dòng)機(jī)油是最大限度延長(zhǎng)汽車使用壽命和提升性能的關(guān)鍵,。在刻蝕數(shù)千片晶圓的過程中,，被去除材料的聚合物會(huì)在等離子體腔室的表面聚集,。

　　我們需要處理這樣的聚集物，一是因?yàn)樗鼈兛赡艹蔀槲廴驹?；二是它們有可能改變腔室?nèi)的感應(yīng)或電導(dǎo),，由此影響等離子體的工藝。聚集物的處理主要依賴成熟的等離子清潔循環(huán)過程,，但某些時(shí)候也需要定期對(duì)腔室進(jìn)行預(yù)防性維護(hù),。

　　這種預(yù)防性維護(hù)的步驟數(shù)量和精度要求已有大幅提升。在2000年,，整個(gè)維護(hù)過程只包含約35個(gè)步驟,，如今的步驟數(shù)量已經(jīng)超過150個(gè)，且對(duì)精度的要求也高很多,。如此繁雜的維護(hù)過程和高精度需求致使維護(hù)失敗率通?？筛哌_(dá)30%，這不僅意味著生產(chǎn)損失,，還會(huì)造成備件和測(cè)試晶圓的損耗,，以及由此帶來的成本大幅提升。

　　濕法清洗優(yōu)化

　　為解決上述問題,，泛林推出了名為“濕法清洗優(yōu)化”（WCO）的服務(wù),，用于消除人為差異和提高預(yù)防性維護(hù)的成功率。如今WCO已經(jīng)在全球被應(yīng)用于大量的刻蝕和沉積腔室，幫助多個(gè)客戶解決問題,，例如提升產(chǎn)量以及大幅減少支出浪費(fèi)等,。

　　作為整體解決方案，WCO涵蓋了專業(yè)設(shè)備,、本地化多媒體分步說明,、數(shù)據(jù)分析和專家支持（診斷維護(hù)問題和推動(dòng)持續(xù)改進(jìn)）。

　　專業(yè)設(shè)備

　　使用合適的設(shè)備可大幅提升生產(chǎn)力和效率并保護(hù)人員安全,。WCO服務(wù)包可確?？蛻裟茈S時(shí)隨地獲得所需要的標(biāo)準(zhǔn)和定制設(shè)備。

　　多媒體分步操作說明

　　預(yù)防性維護(hù)團(tuán)隊(duì)往往面臨的一大挑戰(zhàn)就是維護(hù)人員的更換（18個(gè)月的流動(dòng)率可高達(dá) 100%）,，在這種情況下,，分步驟程序說明和方便參照的操作文件就顯得非常重要。

　　數(shù)據(jù)分析

　　這是WCO的一個(gè)關(guān)鍵組成部分,，作用是將濕法清洗數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)化為可以使用的信息,。推動(dòng)持續(xù)改進(jìn)的一大關(guān)鍵就在于通過高質(zhì)量分析確定最需要改進(jìn)的領(lǐng)域，并且測(cè)量和量化這些改進(jìn)方法,。

　　專家支持

　　由專業(yè)工程師推動(dòng)問責(zé),、調(diào)查問題并推動(dòng)系統(tǒng)性改進(jìn)。

　　應(yīng)用場(chǎng)景

　　我們將通過以下應(yīng)用場(chǎng)景的介紹幫助大家更好地了解WCO的作用,。

　　芯片制造商 A 在使用濕法清洗其等離子刻蝕設(shè)備時(shí)遇到性能表現(xiàn)無法預(yù)測(cè)的問題,，且已經(jīng)影響到設(shè)備的可用性。晶圓廠經(jīng)理明白問題的原因是員工流動(dòng)率高,，但他無法通過內(nèi)部培訓(xùn)或其他行動(dòng)來改善當(dāng)前的情況,。在引入泛林的WCO之后，本地化分步操作視頻可以幫助新員工快速了解情況,，很快就實(shí)現(xiàn)了濕法清洗穩(wěn)定的高性能表現(xiàn),。濕法清洗的耗時(shí)和設(shè)備的計(jì)劃外停機(jī)有所減少，設(shè)備的正常運(yùn)行時(shí)間和良率也因此得到改善,。

　　芯片制造商 B 正在使用一個(gè)新類型的腔室進(jìn)行良率爬坡并希望盡快實(shí)現(xiàn)高生產(chǎn)率,。通過引入WCO提供的最佳方式，B的工作人員很快就掌握了操作要領(lǐng),，維護(hù)時(shí)間的差異降低,，新的腔室快速實(shí)現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定的正常運(yùn)行。

　　總結(jié)

　　WCO是一項(xiàng)能幫助客戶自行成功完成預(yù)防性維護(hù)的方法,。該整體方案融合了泛林的專有軟件,、數(shù)據(jù)分析和經(jīng)過認(rèn)證的清潔程序（含視頻指導(dǎo)）。另外,，WCO也是泛林集團(tuán)Equipment Intelligence?的一部分,， 后者是泛林基于其設(shè)備經(jīng)驗(yàn)和數(shù)據(jù)打造的綜合性生產(chǎn)力解決方案,。