在光刻氣市場(chǎng)上,,烏克蘭可謂舉足輕重。資料顯示,,烏克蘭供應(yīng)的氖氣約占全球70%,并且供應(yīng)全球約40%氪氣,,和30%的氙氣,。其中,氖氣和氪氣都可用于KrF鐳射,,該工藝主要用于8吋晶圓250~130nm成熟制程,。
目前,250~130nm制程產(chǎn)品包括電源管理芯片(PMIC),、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)及MOSFET組件,、IGBT等功率半導(dǎo)體組件,。在目前全球缺芯仍未緩解的背景之下,這必然將進(jìn)一步加劇缺芯問題,。
而另一熱議材料“鈀”是航空航天,、核能、汽車制造中的關(guān)鍵材料,,在半導(dǎo)體中多用在后道封裝環(huán)節(jié),。世界上只有俄羅斯和南非等少數(shù)國(guó)家出產(chǎn)。據(jù)美國(guó)電子材料市場(chǎng)調(diào)查公司Techcet,,美國(guó)35%的鈀來自俄羅斯,。
氖氣是光刻氣中主要成分,常見光刻氣包含氬/氟/氖混合氣,、氪/氖混合氣,、氬/氖混合氣等,在高壓受激發(fā)后形成等離子體,,在這個(gè)過程中,,由于電子躍遷,會(huì)產(chǎn)生固定波長(zhǎng)的光線,。激發(fā)出來的光線經(jīng)過聚合,,濾波等過程就會(huì)形成光刻機(jī)的光源。
據(jù)咨詢機(jī)構(gòu)Trendforce統(tǒng)計(jì),,氖氣主要應(yīng)用于氟化氪 (KrF) ,、氟化氬 (ArF) 等較為成熟的深紫外(DUV)波長(zhǎng)光刻曝光環(huán)節(jié),在ArF 準(zhǔn)分子激光器中使用的氬/氟/氖氣體中,,氖氣占到氣體混合物成分的96%以上,,相關(guān)工藝覆蓋從8英寸晶圓180nm到12英寸晶圓1Xnm的制程節(jié)點(diǎn),全球晶圓代工產(chǎn)能有75%位于這一制程區(qū)間,。盡管少數(shù)頭部廠商EUV工藝高端產(chǎn)品產(chǎn)能正在逐步釋放,,但DUV無疑仍占據(jù)主流地位,特別是對(duì)于中小半導(dǎo)體制造商,,180nm到1Xnm制程營(yíng)收占比更是普遍超過九成,。
目前華特氣體、凱美特氣等光刻氣體國(guó)內(nèi)標(biāo)桿廠商,,將有望受益于這一變化,相關(guān)半導(dǎo)體材料的國(guó)產(chǎn)替代步伐,,也有望進(jìn)一步提速,。