《電子技術(shù)應(yīng)用》
您所在的位置:首頁 > 模擬設(shè)計(jì) > 業(yè)界動態(tài) > 烏克蘭和俄羅斯打起來了,,半導(dǎo)體人擔(dān)心的卻是氖氣

烏克蘭和俄羅斯打起來了,,半導(dǎo)體人擔(dān)心的卻是氖氣

2022-02-26
來源:光電子技術(shù)和芯片知識

在光刻氣市場上,,烏克蘭可謂舉足輕重,。資料顯示,,烏克蘭供應(yīng)的氖氣約占全球70%,,并且供應(yīng)全球約40%氪氣,,和30%的氙氣,。其中,,氖氣和氪氣都可用于KrF鐳射,,該工藝主要用于8吋晶圓250~130nm成熟制程。

目前,,250~130nm制程產(chǎn)品包括電源管理芯片(PMIC),、微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)及MOSFET組件、IGBT等功率半導(dǎo)體組件,。在目前全球缺芯仍未緩解的背景之下,,這必然將進(jìn)一步加劇缺芯問題。

而另一熱議材料“鈀”是航空航天,、核能,、汽車制造中的關(guān)鍵材料,在半導(dǎo)體中多用在后道封裝環(huán)節(jié),。世界上只有俄羅斯和南非等少數(shù)國家出產(chǎn),。據(jù)美國電子材料市場調(diào)查公司Techcet,美國35%的鈀來自俄羅斯,。

氖氣是光刻氣中主要成分,,常見光刻氣包含氬/氟/氖混合氣、氪/氖混合氣,、氬/氖混合氣等,,在高壓受激發(fā)后形成等離子體,,在這個過程中,由于電子躍遷,,會產(chǎn)生固定波長的光線,。激發(fā)出來的光線經(jīng)過聚合,濾波等過程就會形成光刻機(jī)的光源,。

據(jù)咨詢機(jī)構(gòu)Trendforce統(tǒng)計(jì),氖氣主要應(yīng)用于氟化氪 (KrF) ,、氟化氬 (ArF) 等較為成熟的深紫外(DUV)波長光刻曝光環(huán)節(jié),,在ArF 準(zhǔn)分子激光器中使用的氬/氟/氖氣體中,氖氣占到氣體混合物成分的96%以上,,相關(guān)工藝覆蓋從8英寸晶圓180nm到12英寸晶圓1Xnm的制程節(jié)點(diǎn),,全球晶圓代工產(chǎn)能有75%位于這一制程區(qū)間。盡管少數(shù)頭部廠商EUV工藝高端產(chǎn)品產(chǎn)能正在逐步釋放,,但DUV無疑仍占據(jù)主流地位,,特別是對于中小半導(dǎo)體制造商,180nm到1Xnm制程營收占比更是普遍超過九成,。

目前華特氣體,、凱美特氣等光刻氣體國內(nèi)標(biāo)桿廠商,將有望受益于這一變化,,相關(guān)半導(dǎo)體材料的國產(chǎn)替代步伐,,也有望進(jìn)一步提速。




最后文章空三行圖片.jpg


本站內(nèi)容除特別聲明的原創(chuàng)文章之外,,轉(zhuǎn)載內(nèi)容只為傳遞更多信息,,并不代表本網(wǎng)站贊同其觀點(diǎn)。轉(zhuǎn)載的所有的文章,、圖片,、音/視頻文件等資料的版權(quán)歸版權(quán)所有權(quán)人所有。本站采用的非本站原創(chuàng)文章及圖片等內(nèi)容無法一一聯(lián)系確認(rèn)版權(quán)者,。如涉及作品內(nèi)容,、版權(quán)和其它問題,請及時通過電子郵件或電話通知我們,,以便迅速采取適當(dāng)措施,,避免給雙方造成不必要的經(jīng)濟(jì)損失。聯(lián)系電話:010-82306118,;郵箱:[email protected],。