前言：
半導(dǎo)體設(shè)備受益國產(chǎn)替代,，近幾年正迎來快速成長期，一方面源自中國大陸晶圓廠的快速擴產(chǎn)和份額增長，蛋糕正在變大。
受益于國內(nèi)設(shè)計公司的蓬勃發(fā)展，中國大陸晶圓廠需求旺盛,，擴產(chǎn)增速超過全球,，份額持續(xù)提升,。
作者 ｜ 方文
圖片來源 ｜ 網(wǎng) 絡(luò)
全球半導(dǎo)體設(shè)備市場簡述
2021年全球半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模首破千億美元,，中國大陸占約29％,，達到全球第一，下游擴產(chǎn)持續(xù)拉動設(shè)備需求,。
根據(jù)SEMI報告,，2021年全球半導(dǎo)體制造設(shè)備銷售額同比增加44％達到1026億美元的歷史新高，預(yù)計到2022年將擴大到1140億美元,。
2021年中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場銷售額增長58％,，達到296億美元，占全球市場約28．9％,，由于晶圓廠擴產(chǎn)加速,，國內(nèi)市場增速顯著高于全球。
預(yù)計后續(xù)中芯國際,、合肥長鑫,、華虹集團、長江存儲等國內(nèi)主流晶圓廠均為擴產(chǎn)主力,，多個新廠區(qū)項目將繼續(xù)拉動國內(nèi)設(shè)備市場需求,。
半導(dǎo)體設(shè)備市場空間持續(xù)增長
半導(dǎo)體設(shè)備可分為前道工藝設(shè)備（晶圓制造）和后道工藝設(shè)備（封裝測試）兩大類。
在晶圓前道制造的工藝包括氧化／擴散,、光刻,、刻蝕、離子注入,、薄膜生長,、清洗與拋光、金屬化等七個步驟,。
根據(jù)wind數(shù)據(jù),，2021全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售額達1026億美元，2016－2021年全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售額CAGR為20．01％,；
2021年中國大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷售額為296億美元,，2016－2021年大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷售額CAGR為35．60％。
根據(jù)SEMI的統(tǒng)計,，前道設(shè)備占比超過了80％,，前道設(shè)備中薄膜沉積設(shè)備（18％）、光刻設(shè)備（24％）,、刻蝕設(shè)備（10％）,、過程控制設(shè)備（10％）、清洗設(shè)備（6％）,、離子注入設(shè)備（2．5％）等在產(chǎn)線中成本占比較高,。
從中標情況看國內(nèi)設(shè)備廠商進展
從年度數(shù)據(jù)來看,，2021年設(shè)備國產(chǎn)率達27．4％，較2020年16．8％有明顯提升,。
2022年7月主流晶圓廠開標的76臺設(shè)備中,，源自中國大陸廠家制造的設(shè)備共計37臺，占比達48．68％,；
2022年1－7月開標的624臺設(shè)備中,，源自中國大陸廠家制造的設(shè)備共計226臺，占比達36．2％,。
2022年7月國內(nèi)主流晶圓廠共開標76臺工藝設(shè)備,，上海積塔為擴產(chǎn)主力,。
2022年7月國內(nèi)10家主流晶圓廠共開標76臺工藝設(shè)備,，主要來自上海積塔（40臺）、華虹無錫（35臺）,、福建晉華（1臺）,。
22年1－7月合計開標624臺工藝設(shè)備，主要來自華虹無錫（326臺）,、上海積塔（250臺）,、福建晉華（24臺）、時代電氣（16臺）,、華力集成（6臺）,、華力微電子（2臺）。
近年來受益于北方華創(chuàng),、中微公司,、盛美半導(dǎo)體、芯源微,、屹唐半導(dǎo)體,、至純科技、華海清科等中國大陸廠家的不斷發(fā)展,。
長江存儲,、華力集成、華虹無錫三座典型晶圓廠招投標數(shù)據(jù)來看,，美國設(shè)備廠商份額在4—5成,，日本廠商份額3成左右，國產(chǎn)份額2成左右,，國產(chǎn)設(shè)備份額呈現(xiàn)明顯上升趨勢,。
在刻蝕、沉積,、清洗,、拋光,、干法去膠、爐管,、涂膠顯影等領(lǐng)域半導(dǎo)體設(shè)備中標國產(chǎn)率較高,。
隨供應(yīng)鏈本土化趨勢的發(fā)展，未來國產(chǎn)化率有望實現(xiàn)階躍式提升,。
在行業(yè)景氣持續(xù),、國產(chǎn)替代深入背景下，半導(dǎo)體設(shè)備公司持續(xù)有業(yè)績支撐,。
機械類零部件占比最高
①光刻設(shè)備：光刻機龍頭ASML占據(jù)光刻設(shè)備主要市場份額,；
②刻蝕設(shè)備：刻蝕設(shè)備主要廠商包括LAM、TEL,、AMAT等海外龍頭,。國內(nèi)頭部企業(yè)包括中微公司，與全球450家以上供應(yīng)商合作,，關(guān)鍵供應(yīng)商超過了90家,。
③鍍膜：主要廠商包括AMAT、LAM,、TEL,、ASMI等海外龍頭。國內(nèi)頭部企業(yè)為拓荊科技,，公司主要產(chǎn)品包括PCD,、CVD、ALD等,。
④涂膠顯影設(shè)備：涂膠顯影設(shè)備市場主要參與者包括東京電子,、迪恩士、德國蘇斯微及國內(nèi)廠商芯源微,，芯源微的核心零部件包括機械手,、離心電機、高精熱盤,、膠泵及控制器,、噴嘴等。
國內(nèi)在各細分領(lǐng)域涌現(xiàn)新秀
①刻蝕設(shè)備方面,，中微公司,、北方華創(chuàng)、屹唐股份分列國內(nèi)前三,。
中微公司工藝覆蓋范圍相對較廣,，其主力出貨類型為CCP（電容耦合等離子刻蝕），面向介質(zhì)刻蝕較多,，近期ICP（電感耦合等離子刻蝕）逐步發(fā)力,，未來工藝范圍有望進一步拓寬,；
北方華創(chuàng)主要工藝覆蓋為多晶硅、淺溝槽,、鋁刻蝕等類型,，主要面向金屬、硅等導(dǎo)體刻蝕為主,；
屹唐股份在長江存儲獲得大量采購,，主要面向介質(zhì)刻蝕。
②薄膜沉積設(shè)備方面,，拓荊科技,、北方華創(chuàng)、盛美上海分列中標數(shù)量國內(nèi)前三,，但三家廠商設(shè)備類型有明顯差異,。
拓荊科技主要為PECVD（等離子增強化學(xué)氣相沉積）；北方華創(chuàng)主要為PVD（物理氣相沉積）,；盛美上海涉及電鍍設(shè)備,。
③過程控制設(shè)備方面，中科飛測,、精測半導(dǎo)體、睿勵科學(xué)儀器屬于國內(nèi)布局領(lǐng)先企業(yè),。
中科飛測主要產(chǎn)品為光學(xué)表面三維形貌量測設(shè)備等光學(xué)檢測設(shè)備,，精測半導(dǎo)體、睿勵科學(xué)儀器主要產(chǎn)品均為膜厚量測設(shè)備,。
④氧化擴散／熱處理設(shè)備方面,，北方華創(chuàng)中標設(shè)備數(shù)量靠前，尤其是在長江存儲中獲采購數(shù)量較大,。
北方華創(chuàng)相關(guān)設(shè)備主要以各類氧化爐,、退火爐、合金爐等為主,；
除北方華創(chuàng)外,，屹唐股份、盛美上海等公司亦有相關(guān)爐管產(chǎn)品,；
上海微電子面向IGBT等應(yīng)用開發(fā)了激光退火設(shè)備,，與爐管設(shè)備有所區(qū)別。
⑤清洗設(shè)備方面,，盛美上海在選取的三家晶圓廠中設(shè)備中標數(shù)量位列第二,，僅次于日本迪恩士。
盛美上海清洗設(shè)備工藝覆蓋面較廣,，基本涵蓋前,、中,、后段工藝。
除盛美上海以外,，國內(nèi)至純科技,、北方華創(chuàng)、芯源微,、屹唐股份等企業(yè)在該領(lǐng)域均有所布局,，積極推進國產(chǎn)化。
涂膠顯影設(shè)備方面,，東京電子獲采購較多,，國產(chǎn)設(shè)備公司中僅芯源微入圍，芯源微在華力集成中標設(shè)備為勻膠機,，國產(chǎn)化尚存在較大發(fā)展空間,。
結(jié)尾：設(shè)備的國產(chǎn)替代正在加速
從行業(yè)格局來看，美日歐廠商在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域具備傳統(tǒng)優(yōu)勢,，占據(jù)半導(dǎo)體設(shè)備全球前15名席位,。
總體而言，國內(nèi)設(shè)備廠商在設(shè)備品類,、工藝覆蓋率方面仍存在較大提升空間,，美國制裁中國廠商事件已經(jīng)激發(fā)國內(nèi)廠商的供應(yīng)鏈安全意識；
當前國產(chǎn)設(shè)備主要在后端制程為主,，且部分用于處理控片,、擋片，在正片,、前端制程應(yīng)用相對有限,，未來仍存在較大發(fā)展空間。
國內(nèi)晶圓廠有望加快供應(yīng)鏈本土化,，預(yù)計國產(chǎn)設(shè)備廠商接下來1—2年有望受益國產(chǎn)設(shè)備份額的階躍式提升,。
部分資料參考：廣發(fā)證券：《半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)專題：零部件，空間廣闊,，國產(chǎn)化趨勢下高成長》,，中信證券：《從招標數(shù)據(jù)看半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化現(xiàn)狀》
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