2022年10月25日,，中國上海——世界領先的光學解決方案提供商海洋光學（Ocean Insight）將參加于10月27日~29日在無錫太湖國際博覽中心召開的第十屆（2022）中國半導體設備年會暨半導體設備與核心部件展示會（CSEAC）,。展位號B3-117,，海洋光學攜最新改善半導體制造工藝的光譜解決方案參展?！澳坌竞狭?，發(fā)展芯設備”是這次大會的主題，產業(yè)升級是國家的大方向,，中國半導體產業(yè)正在加速前進,，海洋光學利用自己在光譜技術領域的多年積累，解決創(chuàng)新過程中遇到的問題,，與產業(yè)伙伴合力推進創(chuàng)新發(fā)展,。
光纖光譜儀因其快速、無損,、原位測量的特點,，在半導體行業(yè)廣受青睞。作為世界上第一臺微型光纖光譜儀的發(fā)明者,，海洋光學多年來在半導體領域也積累了豐富的經驗,，其光學解決方案用于芯片制造的刻蝕終點監(jiān)測、透明/半透膜膜厚檢測,、橢偏檢測等,。
海洋光學光譜儀產品不斷推陳出新，為客戶提供品類多樣的,、更豐富好用的工具幫助創(chuàng)新,。海洋光學中國區(qū)銷售總裁孫玲博士稱：“光譜儀是一個核心器件，海洋光學就是光譜界的‘樂高’,。我們把自己定義為科學儀器創(chuàng)新的奠基者,，我們給客戶一個包羅萬象的工具箱，為客戶提供做出創(chuàng)新儀器的全套工具模塊,，客戶用這個工具箱可以在半導體等領域進行自己的開發(fā),，實現(xiàn)自己的創(chuàng)新理念?！?/p>
蝕刻終點監(jiān)測：等離子體檢測系統(tǒng)
在半導體行業(yè),，晶圓是用光刻技術制造和操作的,。其中蝕刻是主要環(huán)節(jié)，當在晶圓表面蝕刻時,，可使用等離子體監(jiān)測跟蹤蝕刻穿過晶圓層的程度,，確定等離子體何時完全蝕刻特定層并到達下一層。通過監(jiān)測在蝕刻期間由等離子體產生的發(fā)射光譜,，可準確追蹤蝕刻過程,。這種終點檢測對于使用基于等離子體的蝕刻工藝的半導體材料生產至關重要。
等離子體監(jiān)測可以通過靈活的模塊化設置完成,，基于Ocean HDX光譜儀的模塊化光譜設置用于監(jiān)測引入不同氣體和納米顆粒后氬等離子體發(fā)射光譜的變化,。測量在封閉的反應室中進行，使用光纖和余弦校正器耦合到光譜儀,，通過反應腔體中的小窗口進行觀察,。測量結果表明模塊化光譜組件可實時獲取等離子體發(fā)射光譜。通過發(fā)射光譜確定的等離子體特性可用于監(jiān)測和控制基于等離子體的反應過程,。
Ocean HDX采用高清晰度光學系統(tǒng),，具有高通量和高熱穩(wěn)定性的特點，支持多種通訊模式,，如USB,、千兆以太網、Wi-Fi,、AP Wi-Fi和RS-232。內置板載緩存數(shù)據(jù)處理模塊,，提高數(shù)據(jù)分析速度,，保證數(shù)據(jù)完整。
膜厚檢測：晶圓膜厚測量系統(tǒng)
半導體集成電路的生產以數(shù)十次至數(shù)百次的鍍膜,、光刻,、蝕刻、去膜,、平坦等為主要工序,，膜層的厚度、均勻性等直接影響芯片的質量和產量,，在加工中必須不斷地檢測以便控制膜層的厚度,。光學薄膜測厚儀是半導體生產流程中必不可少的設備之一，用于對芯片晶圓及相關半導體材料的鍍膜厚度等進行檢測,。
海洋光學膜厚測量系統(tǒng),，配置有采樣平臺、反射探頭等,，基于光波的干涉現(xiàn)象,，光束照射在薄膜表面,，由于入射介質、薄膜材料和基底材料具有不同的折射率值和消光系數(shù)值,，使得光束在透明/半透明薄膜的上下表面發(fā)生反射,，反射光波相互干涉，從而形成干涉光,，這些干涉光在不同相位處的強度將隨著薄膜的厚度發(fā)生變化,。通過對干涉光的檢測，結合適當?shù)墓鈱W模型即可計算得到薄膜的厚度,。
QE Pro是一種高靈敏度性能出色的光譜儀,，適合低光度應用。QE Pro薄型背照式CCD探測器具有較高的量子效率,，其穩(wěn)健的設計使其具有很高的信噪比性能和穩(wěn)定性,。可通過選擇內部快門,，優(yōu)化對暗噪聲的測量,。
解決問題是海洋光學的使命。海洋光學創(chuàng)始人Mike Morris說,，“我們是問題解決者,；沒有問題需要解決，就沒有海洋光學,?！?/p>
孫玲博士對此深有感觸：“在一些新的應用領域，總有不盡人意的地方,，這時候就需要做出新產品,，要求我們的工具不斷提升精度、提升強度,，改進溫度一致性,、臺間差、一致性等等,。這些都是海洋光學最擅長的,，因為我們30年專注于光譜領域進行耕耘，有了牢靠的基礎和積累,，我們打造出來的工具就是用來解決實際問題的,。”
關于海洋光學
世界上第一臺微型光譜儀的發(fā)明者海洋光學Ocean Insight作為世界領先的光學解決方案提供商,，應用于半導體,、照明及顯示、工業(yè)控制,、環(huán)境監(jiān)測,、生命科學生物,、醫(yī)藥研究、教育等領域,。其產品包括光譜儀,、化學傳感器、計量檢測設備,、光纖,、透鏡等。作為光纖光譜儀的發(fā)明者,，如今海洋光學在全球已售出超過40萬套的光纖光譜儀,。30年來海洋光學專注于光譜技術和設備的持續(xù)創(chuàng)新，海洋光學也從一家光譜產品生產商轉型為光譜解決方案提供商,，持續(xù)豐富擴充光傳感產品線的同時,，增強支持和服務能力，為需要定制方案的客戶提供量身定制的系統(tǒng)化解決方案和應用指導,。
關于愛蛙科技
愛蛙科技致力于提供光譜分析儀器銷售,、租賃、維護,，以及解決方案定制,、軟件開發(fā)在內的全鏈條一站式精準服務。作為海洋光學授權合作伙伴,，愛蛙科技與海洋光學攜手共同幫助客戶面對問題,、探索未來課題，為打造量身定制的光譜解決方案而努力,。
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