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從新昇300mm大硅片來看半導(dǎo)體制造材料和設(shè)備的國產(chǎn)化進展

2023-01-14
來源:科聞社
關(guān)鍵詞: 硅片 半導(dǎo)體 新昇

半導(dǎo)體材料分為晶圓制造材料和封裝材料,。半導(dǎo)體硅片(Semiconductor Silicon Wafer)則是晶圓制造的基礎(chǔ)。根據(jù)尺寸(直徑)不同,,半導(dǎo)體硅片可分為2吋(50mm),、3吋(75mm)、4吋(100mm),、5 吋(125mm),、6吋(150mm)、8吋(200mm),、12吋(300mm),。當前,在摩爾定律影響下,,半導(dǎo)體硅片正在不斷向大尺寸的方向發(fā)展,,目前8吋和12吋是主流產(chǎn)品,合計出貨面積占比超過90%,。

在大尺寸硅片領(lǐng)域,,成立于2014年的上海新昇,最近達成了12吋硅片累計600萬片的出貨,,產(chǎn)品分為12寸的拋光片和外延片,。近日,新昇半導(dǎo)體科技有限公司采購總監(jiān)劉大海結(jié)合新昇300mm硅片制造,,具體介紹了300mm硅片制造材料和設(shè)備的國產(chǎn)化進展。

據(jù)劉大??偙O(jiān)介紹,,大陸企業(yè)12吋硅片的需求和供應(yīng)情況,從2022年至2025年,,市場預(yù)期是增長的,。從目前來看,,2022年大陸企業(yè)需求為95萬片,國內(nèi)產(chǎn)能為100萬片,。而及至2024年,,國內(nèi)需求為205萬片,國內(nèi)產(chǎn)能將達300萬片,。

劉大海說,,過去五年間,300毫米硅片材料國產(chǎn)化取得巨大的進展,。從2017年量產(chǎn)開始,,三分之一的材料實現(xiàn)了國產(chǎn)化,總的占比只有百分之十幾,,到2021年,,有三分之二金額的主要材料已經(jīng)完成國產(chǎn)化,進入了量產(chǎn)階段,,另有四分之一金額的材料都在國內(nèi)找到了合作方,。應(yīng)該說,部分的產(chǎn)品開發(fā)還是需要資源和精力的投入,。

具體說來,,在晶體生長領(lǐng)域,最主要的材料就是多晶硅,,國內(nèi)的代表廠商,,如江蘇鑫華就通過了認證,滿足了國產(chǎn)化需求,。石英坩堝,,主要供應(yīng)商寧夏源聚芯、浙江美晶,,這兩家的認證處于基本可用于可用這個水平之間,。摻雜,目前,,還沒有可靠的國產(chǎn)供應(yīng)商,。

在拉晶階段,迫切需要的是穩(wěn)定的液氦,。劉大??偙O(jiān)說,最期望尋找國內(nèi)穩(wěn)定的氣源,。熱場石墨件,,關(guān)注純度、機械性能、電學性能,,國內(nèi)有廠商可以做,,但要求側(cè)重點有差別。各種涂層件,,也是在拉晶及其它高溫工藝使用的零件,,要求純度和保溫性能。熱層保溫氈,,屬于拉晶熱場零件,,也是需要高保溫以及純度。在切磨兩個領(lǐng)域,,國產(chǎn)化材料做得比較好,。主要包括碳化硅粉、冷卻液,、切割線機石,、晶圓周轉(zhuǎn)盒、一般化學品,,都是在可用的標準上,,與國外產(chǎn)品差別不大。

在拋光,、外延,、清洗包裝這個階段,劉大??偙O(jiān)說,,當前國產(chǎn)化的材料需求較多,Carrier晶盛機電正在開發(fā)中,,拋光液,、拋光墊是由安集、新安納,、昂士特等開發(fā)和評估中,。過濾器,杭州科百特的產(chǎn)品比較滿意,,批量通過認證,,很接近國際領(lǐng)先水平。在氣體部分,,氯化氫氣體上,,部分通過驗證的廠商,在我們的應(yīng)用中,,已經(jīng)達到世界最好的水平,,這也是這幾年國產(chǎn)化項目帶來的驚喜,。

但是,在拋光,、在外延、清洗包裝上,,還有很多的材料沒有得到突破,,還沒有國產(chǎn)供應(yīng)商。拋光部分有粗拋液等十多項,,外延和清洗部分包括純水拋光樹脂等七項,。主要要求,還是要加工晶片的平坦度,、顆粒純度上面,。

至于設(shè)備部分,劉大??偨Y(jié)說,,在新昇剛量產(chǎn)的2017年,有限的國產(chǎn)設(shè)備可用,,在金額占比上忽略不計,。過去五年里,有了很大的進展,,有三分之一的設(shè)備種類和金額通過了認證,,可以正常使用。有四分之一的種類和40%的金額,,供應(yīng)商有產(chǎn)品,,正在驗證中,其余的部分,,多數(shù)也找到開發(fā)的供應(yīng)商,。極少數(shù)設(shè)備在尋找供應(yīng)商中。設(shè)備方面的進展,,與材料相比,,更有進步。

分工藝段來看,,拉晶,、晶棒加工基本都有設(shè)備通過國產(chǎn)化認證,設(shè)備可用到好之間,,滿足需求,。其它的線割片機、邊緣研磨機等,,也有國產(chǎn)供應(yīng)商在做樣機,。外延和清洗以及包裝方面,,外延反應(yīng)爐、槽式清洗機,、晶盒清洗機,,仍然是處于待評估、待驗證,、待開發(fā)的狀態(tài),。但單片清洗機、快速退火爐上面,,有國內(nèi)廠商通過了驗證,,滿足了需求,而且與國外的差別并不大,。在量測設(shè)備上,,雖然過去幾年涌現(xiàn)了許多供應(yīng)商,但因為開發(fā)周期長,,交付周期較長,,同時認證時間也較長,因此,,還沒有太多設(shè)備通過驗證,。通過驗證的一些設(shè)備,我們認為是可以達到國外同等水平,,甚至超過國外水平,。待評估的一些中,有些設(shè)備很快可以突破,。但量測設(shè)備上,,因為品類小,開發(fā)者少,。

在總述大硅片生產(chǎn)對國產(chǎn)設(shè)備和材料的需求后,,劉大海總監(jiān)總結(jié)說,,基礎(chǔ)材料和零件仍是國產(chǎn)化的薄弱環(huán)節(jié),。一是一些零件和材料通過我們的驗證,但成本上高居不下,,沒有辦法與國外的廠商比拼,。二是在行業(yè)需求旺盛的時候,供應(yīng)也沒辦法得到保證,,這樣的國產(chǎn)化,,對于客戶來說,有時候會成為負擔,。三是硅片設(shè)備的國產(chǎn)化,,有著過時不候的“特征”,。國外廠商設(shè)備交期過長,導(dǎo)致采購決策被迫提早做出,,如錯過時機,,市場規(guī)模會大大縮小,國產(chǎn)設(shè)備開發(fā)需要分秒必爭,。四是在設(shè)備和材料領(lǐng)域,,市場總體需求小的材料和設(shè)備,也無利可圖,。這更是國產(chǎn)化的難點。比如拋光液,、拋光墊使用較少,,開發(fā)上優(yōu)先級較低。

雖然難點多多,,但是在本土廠商的努力下,,半導(dǎo)體設(shè)備和材料領(lǐng)域的一些廠商還是具備國際競爭力的,故而,,劉大??偙O(jiān)在最后表示,我們希望這些廠商在國際上獲得成功,,并且,,繼續(xù)推出更高性能的產(chǎn)品,斬獲更大的市場,。



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