最近幾年,，中國半導體設備廠商不斷通過各大晶圓廠的產(chǎn)線驗證,，進入了商業(yè)化供貨階段。伴隨著2022年,，中芯國際臨港12英寸晶圓代工生產(chǎn)線項目順利封頂,、上海積塔先進車規(guī)級芯片擴產(chǎn)項目的開工、華潤微電子重慶12英寸晶圓制造生產(chǎn)線以及先進功率封測基地實現(xiàn)通線等晶圓項目的持續(xù)推進,。國產(chǎn)半導體設備供應商在企業(yè)營收,、設備中標等方面均迎來良好的增長。

01

凈利潤集體爆發(fā)

半導體設備國產(chǎn)替代的黃金浪潮已然開啟,，晶圓廠擴產(chǎn)潮也使得多家設備廠商在2022年度經(jīng)營業(yè)績表現(xiàn)亮眼,。

北方華創(chuàng)同比增長94．91％—141．32％

1月11日，北方華創(chuàng)公告,，預計2022年度凈利潤21億元－26億元,，同比增長94．91％—141．32％。公告顯示,，2022年度公司克服了供應鏈等不利因素的影響,，保障了生產(chǎn)經(jīng)營的正常運行，實現(xiàn)客戶訂單有序交付,，全年電子工藝裝備和電子元器件業(yè)務經(jīng)營業(yè)績均實現(xiàn)了持續(xù)增長,。北方華創(chuàng)主營業(yè)務包括電子工藝裝備和電子元器件。電子工藝裝備主要應用于集成電路,、先進封裝,、半導體照明、新型顯示等領域,。

盛美上海同比增長125．35％—170．42％

1月30日,，盛美上海發(fā)布業(yè)績預告，預計2022年年度實現(xiàn)歸屬于母公司所有者的凈利潤人民幣6億元－7．2億元，較上年同期相比,，將增加約3．34億元－4．54億元,，同比增長125．35％—170．42％。業(yè)績變動主要原因是,，受益于中國半導體行業(yè)設備需求的不斷增加,，銷售訂單持續(xù)增長；新客戶拓展,、新市場開發(fā)等方面均取得一定成效,；新產(chǎn)品得到客戶認可，訂單量穩(wěn)步增長,。盛美上海主營業(yè)務為半導體清洗設備,。

長川科技同比增長106．20％—138．27％

1月19日，長川科技披露2022年度業(yè)績預告,，公司預計2022年度實現(xiàn)歸屬于上市公司股東的凈利潤4．50億元－5．20億元，同比增長106．20％—138．27％,。公司經(jīng)營業(yè)績較上年同期上升的主要變動原因包括：業(yè)務規(guī)模的穩(wěn)步擴大以及各類產(chǎn)品收入結構優(yōu)化,，高端品類收入占比持續(xù)上升等。長川科技主營產(chǎn)品包括測試機,、分選機,、探針臺、AOI設備和自動化設備,。

中微公司同比增加6．78％—18．64％

1月30日,，中微半導體設備（上海）股份有限公司發(fā)布公告稱，公司預計2022年度實現(xiàn)歸屬于母公司所有者的凈利潤為10．8億元—12億元,，同比增加6．78％—18．64％,。公告稱，公司的等離子體刻蝕設備在國內(nèi)外持續(xù)獲得更多客戶的認可,，市場占有率不斷提高,，在國際最先進的5納米芯片生產(chǎn)線及下一代更先進的生產(chǎn)線上均實現(xiàn)了多次批量銷售。中微公司主營業(yè)務是聚焦用于集成電路,、LED芯片等微觀器件領域的等離子體刻蝕設備,、深硅刻蝕設備和MOCVD設備等關鍵設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,。

華海清科同比增長120．4％—160．75％

1月19日,，華海清科發(fā)布業(yè)績預告，公司預計2022年年度實現(xiàn)歸屬于母公司所有者的凈利潤為4．37億－5．17億元,，較上年同期相比增加約2．39億元－3．19億元,，同比增長120．4％—160．75％。報告顯示公司全年CMP設備及配套服務,、晶圓再生業(yè)務等都實現(xiàn)了持續(xù)增長,。華海清科主營業(yè)務包括CMP設備,、減薄設備、供液系統(tǒng),、晶圓再生,、關鍵耗材與維保服務等。

半導體設備廠商在去年得以凈利潤大增,，主要受益于國內(nèi)半導體行業(yè)良好的發(fā)展態(tài)勢,，國內(nèi)半導體行業(yè)設備需求增加。以中芯國際為例,，目前其在上海,、北京、深圳,、天津各有一座12英寸晶圓廠在建中,。中芯國際晶圓廠擴產(chǎn)，近八成資本開支將用到購買設備上,。另外,，隨著創(chuàng)新芯片的制程驅動，單位產(chǎn)能投資額將逐步提升,，14納米技術節(jié)點的產(chǎn)線投資額是90納米的3．3倍左右,，3納米技術節(jié)點的產(chǎn)線投資額是14納米的3．4倍左右。這些驅動因素都給國產(chǎn)半導體設備,、材料帶來新的增量市場,，已經(jīng)具有成熟產(chǎn)品的上市公司迎來強勁的增長機遇。

02

中標成績亮眼

根據(jù)廣發(fā)證券統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示,，2022年招標量規(guī)模顯著,，以積塔、華虹,、燕東招標為主,。2022 年，統(tǒng)計樣本中的晶圓產(chǎn)線合計招標 1060 項,，其中,，積塔、華虹,、燕東的設備招標量位居前三,。整體而言，招標以量測設備,、沉積類設備和刻蝕設備為主,。其中，2022 年，積塔合計招標 502 項,，以量測,、沉積類、刻蝕設備居多,；華虹合計招標 263 項,，以量測、檢測,、熱處理設備居多,；中芯合計招標 148 項基建項目；長鑫合計招標 12 項基建項目,。

中標方面,，2022 年，統(tǒng)計樣本中的晶圓產(chǎn)線合計中標 1040 臺設備,，以量測,、沉積類、熱處理設備居多,；國產(chǎn)設備整體中標比例約30％,，其中，硅片再生,、氣液系統(tǒng)、去膠,、濕法腐蝕,、PVD 設備的國產(chǎn)中標比例較高。

其中,，國內(nèi)半導體設備廠商合計中標 231 臺設備,，北方華創(chuàng)、創(chuàng)微微電子,、中微公司,、萬業(yè)企業(yè)中標量領先，分別中標 64 臺,、28 臺,、22 臺、21 臺設備,。2022 年,，國內(nèi)半導體設備廠商合計中標量在對應工藝環(huán)節(jié)的中標比例為 26％。盛美上海的硅片再生設備,、北方華創(chuàng)的 PVD 設備和氧化設備,、創(chuàng)微微電子的濕法腐蝕設備在對應工藝環(huán)節(jié)的中標比例領先，分別為 67％、50％,、50％,、47％。

如此看來,，國內(nèi)各大半導體設備廠商在項目推進,、設備交付、新品研發(fā)等方面均取得進展,，正在提高國產(chǎn)率的道路上向前沖鋒,。

03

設備國產(chǎn)化正沖鋒

根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)顯示，2022年中國晶圓廠商半導體設備國產(chǎn)化率較2021年明顯提升,，從21％提升至35％,。國內(nèi)廠商在檢測設備、刻蝕設備,、PVD和CVD設備,、氧化擴散設備等已經(jīng)實現(xiàn)了部分國產(chǎn)替代，特別是檢測設備替代速度較快,。去膠設備國產(chǎn)采用率已達91％,。屹唐股份在國內(nèi)半導體去膠設備領域中占主導地位。

刻蝕設備方面,，中微公司介質(zhì)刻蝕已經(jīng)進入臺積電7納米／5納米產(chǎn)線,，是唯一一家進入臺積電產(chǎn)線的國產(chǎn)刻蝕設備生產(chǎn)商；北方華創(chuàng)在ICP刻蝕領域優(yōu)勢顯著,，覆蓋8 英寸,、12 英寸55－28納米制程，已進入中芯國際14納米產(chǎn)線驗證階段,；屹唐股份干法刻蝕設備可用于65納米—5納米邏輯芯片,。

清洗設備方面，國產(chǎn)替代率為 20％左右,。主要是盛美上海,、北方華創(chuàng)、至純科技,、芯源微貢獻的設備收入占比,。

薄膜沉積設備方面，國內(nèi)廠商錯位發(fā)展,，拓荊科技引領PECVD國產(chǎn)化,，已開展10納米及以下制程產(chǎn)品驗證測試。北方華創(chuàng)PVD優(yōu)勢顯著,，中微公司的MOCVD設備份額全球前三,，共同受益國產(chǎn)化率提升,。

當前光刻、涂膠顯影設備國產(chǎn)化率接近為0,，上海微電子,、芯源微分別為國內(nèi)目前唯一供應商。

離子注入設備的壁壘超高且國產(chǎn)化率極低,，主要依賴萬業(yè)企業(yè)（凱世通）和中科信,，兩家公司目前均有離子注入機臺導入客戶驗證，有望彌補國內(nèi)半導體設備行業(yè)的短板,。2022年1－10月份華虹無錫和積塔半導體招標中,，離子注入機的國產(chǎn)化率僅為3％，國產(chǎn)替代空間較大,。

分制程來看,，SEMI數(shù)據(jù)顯示，目前在28納米及以上領域,，中國半導體設備廠商已經(jīng)基本實現(xiàn)了全覆蓋,，國產(chǎn)化率達到了80％以上。而在14納米工藝上,，中國的半導體設備廠商,，也實現(xiàn)了50％以上的覆蓋，國產(chǎn)化率可能達到了20％以上,。目前在14納米以下,，國產(chǎn)化率還非常低，可能只有10％左右,。中國半導體設備在中高制程的能力欠缺還較為嚴重,。

04

更大的機遇迎接更大的挑戰(zhàn)

國產(chǎn)半導體設備廠商面對的不僅有機遇，在這背后還有更大的挑戰(zhàn),。

從半導體設備的世界格局來看，幾乎被美,、日,、荷所壟斷，核心設備如光刻,、刻蝕,、PVD、CVD,、氧化／擴散等設備的Top3市占率普遍在90％以上,。然而近期，美國,、荷蘭和日本三國的國家安全事務官員進行了高級別談判,，就限制向中國出口一些先進的芯片制造設備達成協(xié)議,，將把美國于2022年10月采取的一些出口管制措施擴大到荷蘭阿斯麥、日本東京電子和尼康等公司,。具體細則尚未公開,。

中國半導體產(chǎn)業(yè)的國產(chǎn)化“知易行難”。除了技術差距和美國的限制之外,，在投資,、人才、市場競爭,、戰(zhàn)略決心和耐心等方面,，中國都面臨著極大的挑戰(zhàn)。不過,，中國半導體設備零部件廠商目前營收規(guī)模較小,，正在延續(xù)海外龍頭廠商產(chǎn)品品類和應用領域擴張的成長路徑，隨著國產(chǎn)半導體設備廠商的快速成長,，以及通過進入海外半導體設備廠商供應鏈,。雖然目前國內(nèi)半導體設備零部件企業(yè)處于國產(chǎn)替代早期階段，但國內(nèi)半導體設備零部件廠商未來有望持續(xù)高速成長,。

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