MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）傳感器在汽車,、手機(jī)、個(gè)人電腦,、相機(jī)等各種應(yīng)用中屢見不鮮,，但是直到現(xiàn)在，這類傳感器還未用于吉他領(lǐng)域,。本文作者將探究以下問題的答案：如何采用MEMS加速度計(jì)作為聲學(xué)傳感器,。

　　MEMS加速度計(jì)技術(shù)

　　典型的MEMS加速度計(jì)的核心單元是一個(gè)由兩組指狀柵條組成的可移動(dòng)條形結(jié)構(gòu)：其中一組固定到襯底上，而另一組則安裝到一組彈簧上的質(zhì)量塊上,，該彈簧能夠根據(jù)所施加的力產(chǎn)生移動(dòng),，改變固定柵條與移動(dòng)?xùn)艞l之間的電容（見圖1）。

圖1 MEMS加速度計(jì)的結(jié)構(gòu)

　　MEMS結(jié)構(gòu)（見圖2）通常采用單晶硅制成,，或者采用以極高的溫度沉積到單晶硅晶圓表面上的多晶硅,。采用這一靈活的技術(shù)可以制成機(jī)械特性差異很大的結(jié)構(gòu)。彈簧剛度,、感測(cè)元件的質(zhì)量以及結(jié)構(gòu)阻尼都可以通過設(shè)計(jì)進(jìn)行控制和改變,，從而實(shí)現(xiàn)可感應(yīng)從零點(diǎn)幾個(gè)g到數(shù)百個(gè)g的帶寬高達(dá)20kHz的傳感器。

圖2 ADXL50 MEMS加速度計(jì)結(jié)構(gòu)的顯微圖

　　MEMS感測(cè)單元可以與同一芯片（見圖3）或者不同芯片上（見圖4）的信號(hào)調(diào)理電路相連,。對(duì)于單芯片解決方案而言,，感測(cè)單元的電容可以低至1～2fF，相當(dāng)于aF范圍的量測(cè)分辨率,。在雙芯片結(jié)構(gòu)中,，MEMS單元的電容必須足夠高，以便能夠克服MEMS與ASIC調(diào)理電路之間連接線的寄生電容效應(yīng),。

圖3 ADXL202 ±2g加速度計(jì)

圖4 典型雙芯片加速度計(jì)的橫截面圖

　　作為震動(dòng)測(cè)量傳感器的加速度計(jì)

　　使用震動(dòng)感測(cè)傳感器作為樂器中的拾音器,，這并不是一個(gè)新的概念。壓電式以及電磁式傳感器是目前許多拾音器應(yīng)用的基礎(chǔ),。微型MEMS加速度計(jì)的尺寸小,、外形薄，因此不會(huì)在樂器中產(chǎn)生機(jī)械或質(zhì)量負(fù)荷效應(yīng),，這使得它們對(duì)于這些應(yīng)用極具吸引力,；但是由于商用加速度傳感器的帶寬極低,，這類加速度計(jì)的應(yīng)用到目前為止一直都受到限制。

　　加速度計(jì)技術(shù)方面的一些最新突破性進(jìn)展使得具有非常高帶寬但又非常小的加速度計(jì)實(shí)現(xiàn)了量產(chǎn),。ADI公司采用5mm×5mm×2mm封裝尺寸的ADXL001（見圖5）高g（±70～±500g）單軸加速度計(jì)的帶寬就已經(jīng)達(dá)到22kHz,。這款產(chǎn)品可以通過檢測(cè)設(shè)備聲學(xué)特性的變化來確定電機(jī)或其他工業(yè)設(shè)備的“健康”狀況。不過,，這種特殊傳感器要用作樂器的聲學(xué)震動(dòng)傳感器還不夠靈敏,。理想的聲學(xué)傳感器需要測(cè)量所有3個(gè)軸向上的響應(yīng)，而它卻只能感應(yīng)單軸運(yùn)動(dòng),。然而目前已經(jīng)證明,，采用MEMS技術(shù)已經(jīng)能夠?qū)崿F(xiàn)全音頻帶寬內(nèi)的加速度傳感器。

圖5 ADXL001的頻率響應(yīng)曲線

　　低g加速度計(jì)可以測(cè)量低至千分之一g級(jí)的加速度,，但帶寬一般被限制在5kHz左右,。這一限制的原因可能是需要很高帶寬的商業(yè)應(yīng)用太少（主要的應(yīng)用包括人的運(yùn)動(dòng)或者重力引起的加速度檢測(cè)），故業(yè)界缺乏足夠的動(dòng)力去開發(fā)特別適用于音頻頻段測(cè)量的傳感器,。

　　三軸加速度計(jì)具有三個(gè)獨(dú)立的輸出,，能夠測(cè)量沿笛卡兒坐標(biāo)系中X、Y,、Z軸方向的加速度,。舉例來說，ADI公司的ADXL330三軸低g加速度計(jì)在X軸以及Y軸上具有高達(dá)6kHz的帶寬,，而在Z軸上的帶寬約為1kHz,。雖然還不夠理想，但這個(gè)帶寬已經(jīng)使得該器件可以獲取音頻頻段上的有用信息,。其輸出為模擬信號(hào),，故很容易用于標(biāo)準(zhǔn)的錄音設(shè)備。由于其尺寸小于4mm×4mm×1.45mm（見圖6）,，因此該傳感器可以放入極小的空間中,，在響應(yīng)被測(cè)系統(tǒng)時(shí)不會(huì)產(chǎn)生質(zhì)量負(fù)荷或者其他改變。下面將介紹這款低g加速度計(jì)如何用作吉他的拾音器,。

圖6 ADXL330 MEMS加速度計(jì)

　　聲反饋

　　丹麥科學(xué)家Soren Larsen在上世紀(jì)20年代中期首次引入了全向電容式動(dòng)態(tài)麥克風(fēng)，是他最早發(fā)現(xiàn)了聲反饋原理（稱為Larsen效應(yīng)）,。對(duì)聲學(xué)工程師來說,，聲反饋一直都是一個(gè)噩夢(mèng)，很少有工程師能夠完全控制它,，特別是在任何演出現(xiàn)場(chǎng)都不可避免,。甲殼蟲樂隊(duì)充分感受到了這種偽聲的影響，繼而在1964年決定將其添加到他們經(jīng)典的專輯“I Feel Fine”的序曲中,。隨后搖滾樂界也開始像馴服野獸一樣利用它,，利用聲音反饋在搖滾樂中增添了令人耳目一新的特色,。而電吉他手，如Pete Townshend和Jimi Hendrix,，則故意地把吉他靠近揚(yáng)聲器來利用聲反饋,。隨著這種風(fēng)潮的消退，聲學(xué)工程師繼續(xù)努力消除聲反饋所引起的令人不適的聽覺效果,，特別是在現(xiàn)場(chǎng)演出過程中,。在設(shè)備齊全并經(jīng)過特殊聲學(xué)處理的錄音棚里，利用全向麥克風(fēng)可以完美地錄制樂器聲音,，幾乎達(dá)到驚人的現(xiàn)場(chǎng)感和保真度,。理解并珍惜這一點(diǎn)的藝術(shù)家一直都在孜孜不倦地尋求如何能夠把這種效果重現(xiàn)在舞臺(tái)上。雖然希望能夠以錄音棚一樣的質(zhì)量來錄制現(xiàn)場(chǎng)演出一直都是音樂人的夢(mèng)想,，但這幾乎是不可能的,。即使在舞臺(tái)上采用最好的音響設(shè)備，舞臺(tái)也經(jīng)過了極佳的聲學(xué)設(shè)計(jì),，聲音工程師也能精通地利用各種混響并可以擁有最佳的設(shè)備和工具,，但要獲得理想的音效仍然存在著一道難以逾越的障礙：那就是聲反饋。

　　拾音器

　　通過采用方向性麥克風(fēng)通?？梢园崖暦答仠p到最小,。某種程度上這種方法是有效的，不過需要調(diào)音工程師不停地調(diào)節(jié),，來適應(yīng)舞臺(tái)瞬息萬變的特點(diǎn),。

　　利用拾音器可以對(duì)樂器聲音進(jìn)行放大。所采用的各種技術(shù)具有一定差異,，但基本的原理都是直接感應(yīng)樂器本身的震動(dòng),，而并非感測(cè)空中的聲波。這種做法的優(yōu)點(diǎn)很明顯,，即拾音器幾乎不會(huì)產(chǎn)生聲反饋,，原因是它們對(duì)空氣中傳遞的聲波不敏感。但這種方法也有許多不足：包括要在樂器上找到最佳的發(fā)聲位置是極其困難的,，壓電拾音器的聲學(xué)特性也遠(yuǎn)遠(yuǎn)算不上完美,，它們的輸出阻抗為高阻，故需要特殊的樂器輸入或直駁盒,。此外,，體積也較大，會(huì)影響樂器本身的自然聲學(xué)特性,。

　　于是,，這催生了輕質(zhì)接觸式麥克風(fēng)的概念。假如我們采用一個(gè)表面式傳感器來測(cè)量樂器本體的加速度,，最好是具有單軸以上功能,。這種傳感器具有更好的線性度,，重量輕，從而不會(huì)影響被測(cè)樂器的聲音特性,。還可以進(jìn)一步假定這些傳感器具有類似的輸出電平,、輸出阻抗，以及功率需求與傳統(tǒng)麥克風(fēng)相當(dāng),。簡言之,，就是設(shè)想音樂人只需將該傳感器插入到麥克風(fēng)前置放大器或混音器輸入的位置，就像任何其他麥克風(fēng)一樣,。

　　接觸式麥克風(fēng)

　　用心的讀者一定會(huì)注意到我們?cè)谇懊嬉呀?jīng)提到了加速度的概念,。人耳響應(yīng)的是聲壓，故麥克風(fēng)也被設(shè)計(jì)成聲壓感測(cè)功能,。為了簡化討論,，這里直接給出一個(gè)結(jié)論，即一個(gè)靠近震動(dòng)體的聲壓與加速度成正比,。問題是加速度計(jì)具有多高的帶寬方可用作接觸式麥克風(fēng),？

　　為了研究清楚這個(gè)概念，我們將一個(gè)三軸加速度計(jì)貼裝到吉他上作為一個(gè)拾音器,。對(duì)樂器的震動(dòng)進(jìn)行測(cè)量,，并與內(nèi)置的壓電拾音器以及靠近吉他的MEMS麥克風(fēng)進(jìn)行比較。所用的吉他為Fender Stratacoustic,，帶有內(nèi)置的Fender拾音器,。在重量很輕的柔性電路上貼裝了一個(gè)模擬輸出的MEMS加速度計(jì)，并用蜂蠟將其貼裝到吉他的琴橋位置,，如圖7所示,。加速度計(jì)的X軸與吉他弦線的方向一致，Y軸與吉他弦線垂直,，而Z軸則與吉他表面垂直,。把一個(gè)平坦頻率響應(yīng)達(dá)到15kHz的MEMS麥克風(fēng)貼裝到距弦線3英寸遠(yuǎn)的位置作為參考。

圖7  貼裝在Fender Stratacoustic吉他上的加速度計(jì)

　　利用該加速度計(jì),、內(nèi)置的壓電拾音器和MEMS麥克風(fēng)各自錄制了一段聲音,。圖8給出了每個(gè)傳感器的時(shí)域波形，這里沒有對(duì)任何音段進(jìn)行后處理,。

圖8 采用不同傳感器的時(shí)域波形

　　圖9所示為在上述時(shí)域波形的一個(gè)波峰上所測(cè)得的壓電拾音器的FFT頻譜,。結(jié)果顯示響應(yīng)中具有較強(qiáng)的低音分量。確實(shí),，實(shí)際的音頻文件中都較多地具有豐富的低音響應(yīng),。這種聲音比較悅耳（還取決于個(gè)人偏好）,，因?yàn)榍惑w諧振能夠產(chǎn)生比從樂器上直接聽到的更豐富的低音,。

圖9  壓電拾音器的FFT頻譜

　　MEMS麥克風(fēng)的輸出則非常平坦,，樂聲的重現(xiàn)效果非常好。其音質(zhì)非常自然,，均衡較好,，逼真度高。與壓電拾音器相同時(shí)間點(diǎn)上測(cè)得的FFT頻譜如圖10A所示,。作為參考,，圖10B則給出了MEMS麥克風(fēng)的頻率響應(yīng)。

圖10A   MEMS麥克風(fēng)的FFT頻譜

圖10B   MEMS麥克風(fēng)的頻率響應(yīng)

　　MEMS加速度計(jì)的輸出非常有意思,。目前其缺點(diǎn)包括本底噪聲過高,，在音軌的開始和末尾都能聽到，且Z軸帶寬明顯限制到較低的頻率,。每個(gè)軸向上的聲音再現(xiàn)也明顯不同,。

　　X軸和Y軸上的聲音明快而清晰，聲調(diào)上有可分辨出的明顯差異,。正如預(yù)期,，Z軸上的聲音明顯地主要為低音。圖11給出了X軸（A）,、Y軸（B）以及Z軸上的頻譜（C）,。

圖11a  MEMS加速度計(jì)X軸輸出

圖11b  MEMS加速度計(jì)Y軸輸出

圖11c  MEMS加速度計(jì)Z軸輸出

　　如果將X、Y和Z軸混合到一起,，即可實(shí)現(xiàn)樂聲的較好重現(xiàn),，具有一定的明晰度。通過對(duì)混音環(huán)節(jié)進(jìn)行調(diào)節(jié),，可以實(shí)現(xiàn)音調(diào)平衡變化,，達(dá)到自然的樂聲重現(xiàn)。由于目前加速度計(jì)的帶寬限制,，更大范圍的高頻諧波丟失了,，但聲音重現(xiàn)仍然驚人地逼真。

　　結(jié)語

　　MEMS加速度計(jì)技術(shù)在樂器的拾音應(yīng)用方面具有明顯的潛力,，特別是那些為聲反饋問題困擾的現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用,。一個(gè)體積非常小、低功耗的MEMS器件可以貼裝到樂器上任何不顯眼的位置,，而且不會(huì)影響樂器的自然震動(dòng)特性,。