隨著MOCVD外延生長技術和多量子阱結(jié)構(gòu)的發(fā)展,,人們在精確控制外延,、摻雜濃度和減少位錯等方面都取得了突破,,處延片的內(nèi)量子效率已有很大提高。像波長為625nm的A1InGap基LED,,內(nèi)量子效率已接近極限,,可達100%.A1InGap基LED的內(nèi)量子效率雖遠比A1InGap基LED的低,但也達40%~50%,。
大家知道,,LED的外量子效率取決于外延材料的內(nèi)量子效率和芯片的出光效率,提高LED發(fā)光效率的關健是提高芯片的外量子效率,,這在很大程度上決于芯片的出光效率,。為此HBLED和超HBLED要求設計新型芯片結(jié)構(gòu)來提高器件的出光效率,進而提高發(fā)光效率,。下面對提高LED發(fā)光效率的技術途徑和發(fā)展狀況作簡要介紹,。
優(yōu)化芯片發(fā)光層能帶結(jié)構(gòu)
設計不同的發(fā)光層結(jié)構(gòu),可以提高LED的光效,。目前人們所采用的發(fā)光層結(jié)構(gòu)主要有以下兩種:
一是雙異質(zhì)結(jié)(DH)
異質(zhì)結(jié)LED相對于同質(zhì)結(jié)LED來說,,其P區(qū)和N區(qū)有帶隙不同的半導體組分。在異質(zhì)結(jié)中,,寬帶隙材料叫勢壘層,,窄帶隙材料叫勢阱層。只有一個勢壘層和勢阱層的結(jié)為單異質(zhì)結(jié)(SH),,有兩個勢壘層和一個活性層(即載流子復合發(fā)光層)的結(jié)叫雙異質(zhì)結(jié),。雙異質(zhì)結(jié)的兩個勢壘層對注入的載流子起到限域作用,即通過第一個異質(zhì)結(jié)果面擴散進入活性層的載流子,,會被第二個異質(zhì)結(jié)界面陰擋在活性層中,,致使目前HBLED能帶結(jié)構(gòu)通常都采用雙異質(zhì)結(jié)。
二是量子阱結(jié)構(gòu)
活性層的變薄能夠有效地提高輻射復合效率,,并且能減少再吸收,。但是,,當活性層的厚度可以與晶體中電子的德布羅意波相比擬進,,載流子會因為量子限域而發(fā)生能譜的改變。這種特殊的結(jié)構(gòu)被稱為量子阱(QW),。勢阱中的載流子能帶不再連續(xù),,而是取一系列的分立值?;钚詫蛹瓤梢允菃螌?,即單量子阱(SQW);也可以為多層,即多量子阱(MQW)結(jié)構(gòu),。采用量子阱結(jié)構(gòu)的活性層可以更薄,,造成對載流子的進一步限域,更有利于效率的提高。已經(jīng)發(fā)現(xiàn),,發(fā)光波長為565nm的A1InGap雙異質(zhì)結(jié)LED,,當活性層厚度在0.15~0.75nm的范圍內(nèi)時,光效最高,;超出這個范圍時,,光效則急劇下降,這是由于活性層太薄,,容易引起載流子隧道穿透到活性層之外,;如果活性層太厚,載流子復合效率會降低,。量子阱結(jié)構(gòu)是目前HBLED廣為采用的能帶結(jié)構(gòu)之一,。
下表列出了目前常用的高亮度LED所采用的發(fā)光層結(jié)構(gòu)及其外量子效率。