基于阻抗匹配器的二極管幅-相檢測(cè)電路設(shè)計(jì)
所屬分類：技術(shù)論文
上傳者：zhoubin333
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標(biāo)簽： 阻抗匹配 Urms 幅值-相位信號(hào)
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文檔介紹：半導(dǎo)體芯片領(lǐng)域的競(jìng)爭(zhēng)很大程度上取決于半導(dǎo)體裝備以及核心零部件的競(jìng)爭(zhēng),，如射頻電源,、阻抗匹配器等,。設(shè)備的抗干擾能力以及穩(wěn)定性等特性是衡量設(shè)備優(yōu)劣的重要標(biāo)準(zhǔn)。對(duì)于阻抗匹配器而言,，控制回路的精準(zhǔn),、穩(wěn)定以及快速響應(yīng)是決定阻抗匹配器這款產(chǎn)品性能好壞的重要指標(biāo)。因此,，基于電容分壓采樣,、電流互感器采樣以及運(yùn)放電路等相關(guān)原理，設(shè)計(jì)了一款純硬件電路的阻抗幅值,、相位檢測(cè)回路,，并用仿真軟件ADS2021進(jìn)行模擬仿真實(shí)驗(yàn)，得到表征射頻電源和負(fù)載之間阻抗匹配程度的模擬量Urms,。通過(guò)實(shí)驗(yàn)測(cè)試表明,，Urms越大表征射頻源與負(fù)載之間失配越嚴(yán)重，功率傳輸效率越低,；Urms越小表征射頻源和負(fù)載之間的匹配程度越好,，功率傳輸效率越高。同時(shí),，通過(guò)改變母線信號(hào)的輸入功率,，得到Urms與輸入功率具有較高的線性相關(guān)性，因此該檢測(cè)回路具有很好的穩(wěn)定性,，能夠適用于寬范圍匹配器阻抗的幅值,、相位檢測(cè)。
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