摘要：提出了一種高精度,、低成本的電容的測(cè)量方法,。該方法采用差動(dòng)式直流充電法測(cè)量微小電容，具有功耗低,、體積小,、分辨率高、刷新率高的特點(diǎn),。同時(shí)詳細(xì)闡述了測(cè)量電路的基本原理,、具體實(shí)現(xiàn)，并且通過(guò)測(cè)量固定電容驗(yàn)證了電路的性能,。
關(guān)鍵詞：電容傳感器,；差動(dòng)式測(cè)量；直流充電

0 引言
    電容式傳感器是將被測(cè)量的變化轉(zhuǎn)換成電容量變化的一種裝置,。電容式傳感器具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,、分辨力高、工作可靠,、動(dòng)態(tài)響應(yīng)快,、可非接觸測(cè)量，及能在高溫,、輻射和強(qiáng)烈振動(dòng)等惡劣條件下工作等優(yōu)點(diǎn),，并且已在工農(nóng)業(yè)生產(chǎn)的各個(gè)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
    微小電容測(cè)量電路必須滿(mǎn)足動(dòng)態(tài)范圍大,、測(cè)量靈敏度高,、低噪聲,、抗雜散性等要求。電容式傳感器輸出的電容信號(hào)往往很小(1fF～10 pF),，又存在傳感器及其連接導(dǎo)線(xiàn)雜散電容和寄生電容的影響,，這對(duì)電容信號(hào)的測(cè)量電路提出了非常高的要求，如此微小的電容信號(hào)的測(cè)量成為電容式傳感器技術(shù)發(fā)展的瓶頸,。
    本文提出一種恒流源充電法對(duì)兩個(gè)微小電容進(jìn)行充電檢測(cè)的方法,。本設(shè)計(jì)僅由單片機(jī)和少數(shù)芯片即可以實(shí)現(xiàn)電容的高精度，高頻率測(cè)量,。由于采用了差動(dòng)式測(cè)量,，本設(shè)計(jì)可以有效地減小非線(xiàn)性誤差，提高傳感器靈敏度,，減少干擾,，減少寄生電容的影響。若選用高性能模擬開(kāi)關(guān)能大大減小電荷注入效應(yīng)的影響,。在檢測(cè)0～5 pF的實(shí)驗(yàn)中,，采樣頻率可以達(dá)到100 kHz，有效精度位最高可達(dá)12位,。

1 原理分析
    實(shí)現(xiàn)測(cè)量的電路原理如圖1所示,，其完整的測(cè)量過(guò)程是：?jiǎn)纹瑱C(jī)控制模擬開(kāi)關(guān)K1，K2斷路,，標(biāo)準(zhǔn)電容Cl和待測(cè)電容C2由相同的兩個(gè)恒流源I1和I2進(jìn)行充電,；在相同的時(shí)間T1內(nèi)，電容C1,、C2的充電電壓為U1,、U2。由電容基本公式可得：
   

    令△U=U1-U2,，則電壓差△U經(jīng)過(guò)放大后,，通過(guò)MSP430單片機(jī)的AD轉(zhuǎn)換模塊進(jìn)行轉(zhuǎn)換，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)的同時(shí),，單片機(jī)控制K1,、K2閉合，在T2時(shí)間內(nèi),，使C1,，C2兩端的短路，兩電容兩端電壓降到零,，此時(shí)完成放電過(guò)程,。
    至此，一次完整的采樣過(guò)程結(jié)束，充放電時(shí)序見(jiàn)圖2,。

    在整個(gè)過(guò)程中,，單片機(jī)要產(chǎn)生一個(gè)頻率為100 kHz，占空比為90％的PWM波,，用以控制K1,、K2的通斷，還要以(T1+T2)的周期完成AD變換和數(shù)據(jù)存儲(chǔ),。其中,，T1的最大值小于充電時(shí)間，T2的最小值大于放電時(shí)間,。

2 硬件設(shè)計(jì)
2．1 恒流源的設(shè)計(jì)
    恒流源是整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)模擬部分的重要組成部分,，其穩(wěn)定性直接決定了系統(tǒng)測(cè)量的精度。本設(shè)計(jì)中的兩個(gè)恒流源要求輸出電流相等,，具體設(shè)計(jì)如圖3,。

    因Vi是采用單片機(jī)AD轉(zhuǎn)換的標(biāo)準(zhǔn)電壓1．5 V，UL≤1．5 V,，故n值,、RL與Rs的比值，直接影響恒流源電流的輸出,，只要保證UL小于1．5 V時(shí),，該電路輸出電流為恒定值,，與負(fù)載電阻RL沒(méi)有關(guān)系,。

2．2 放大電路的設(shè)計(jì)
    放大電路采用以?xún)x表放大器INA128為核心的儀表放大器。該放大器在放大100倍時(shí)帶寬可達(dá)200 kHz,，完全滿(mǎn)足了設(shè)計(jì)的要求,。
    C1和C2兩個(gè)電容由相應(yīng)的恒流源在相同的時(shí)間內(nèi)進(jìn)行充電，兩電容充電電壓差由INA128進(jìn)行放大,，并送入單片機(jī)進(jìn)行采樣存儲(chǔ),。圖4為充放電標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)與INA128放大后的結(jié)果。

3 軟件設(shè)計(jì)
    為實(shí)現(xiàn)低功耗,，系統(tǒng)接入電源后進(jìn)入低功耗狀態(tài),，需要外部電平信號(hào)才能喚醒。為了避免系統(tǒng)的誤開(kāi)始測(cè)量,，當(dāng)需要測(cè)量電容信號(hào)時(shí),，將觸發(fā)信號(hào)置高，如果20 s內(nèi)觸發(fā)信號(hào)一直置高,，則系統(tǒng)進(jìn)入循環(huán)采集存儲(chǔ)狀態(tài),。為得到包括觸發(fā)前和觸發(fā)后的完整電容信號(hào)曲線(xiàn)，一旦電容信號(hào)達(dá)到預(yù)設(shè)的觸發(fā)值，系統(tǒng)便進(jìn)入觸發(fā)態(tài),，將電容信號(hào)存儲(chǔ)到閃存,，閃存存滿(mǎn)后，將RAM中的FIFO數(shù)據(jù)導(dǎo)入閃存預(yù)留地址,。之后,，系統(tǒng)進(jìn)入待讀數(shù)態(tài)，此時(shí)插上USB接口,，接收到計(jì)算機(jī)的讀數(shù)命令之后即可將數(shù)據(jù)發(fā)送至計(jì)算機(jī),，并且在第一次讀取數(shù)據(jù)之后和掉電以后再上電可重復(fù)無(wú)數(shù)次讀取并顯示測(cè)量結(jié)果。系統(tǒng)的狀態(tài)設(shè)計(jì)如圖5,。

    為實(shí)現(xiàn)低功耗的系統(tǒng),，電路不工作時(shí)，即接通電源態(tài)和待讀數(shù)態(tài),，系統(tǒng)處于值更狀態(tài),、超低功耗態(tài)LPM4；工作時(shí)都處于全功耗態(tài),。

4 測(cè)量結(jié)果
    傳感器的標(biāo)定就是通過(guò)實(shí)驗(yàn)確定傳感器的輸入量和輸出量之間的關(guān)系,，用以確定傳感器系統(tǒng)的線(xiàn)性度、靈敏度和重復(fù)性等靜態(tài)性能指標(biāo),。
    表1為測(cè)量0～5pF電容的數(shù)據(jù),。由最小二乘法相關(guān)計(jì)算公式可得，擬合直線(xiàn)為y=0．993x+0．049,，重復(fù)性誤差為1．77％,，非線(xiàn)性誤差為0．84％，基本誤差為2．61％,。

5 結(jié)論
    本設(shè)計(jì)的核心硬件由芯片和單片機(jī)實(shí)現(xiàn),，省去了昂貴的電容測(cè)量芯片，由低功耗,，低成本的數(shù)字芯片組成,，有效降低了測(cè)量系統(tǒng)的成本。整個(gè)系統(tǒng)電路板面積小于2．7 cm2,，工作電流小于8 mA,，低功耗電流為0．02 uA，由于待測(cè)電容和標(biāo)準(zhǔn)電容均有接地端,，所以具有較強(qiáng)的抗干擾能力,，并體現(xiàn)了低功耗、體積小等優(yōu)點(diǎn),。本測(cè)量方案可以非常靈活,，實(shí)現(xiàn)模塊化,，所設(shè)計(jì)的同一塊PCB可以移植到許多電容式傳感器的設(shè)計(jì)中去。