簡(jiǎn)介
在ADI公司的眾多產(chǎn)品中,，MEMS麥克風(fēng)IC的獨(dú)特之處在于其輸入為聲壓波。因此,，這些器件的數(shù)據(jù)手冊(cè)中包括的某些技術(shù)規(guī)格可能不為大家所熟悉,，或者雖然熟悉,，但其應(yīng)用方式卻比較陌生。本應(yīng)用筆記解釋MEMS麥克風(fēng)數(shù)據(jù)手冊(cè)中出現(xiàn)的技術(shù)規(guī)格和術(shù)語(yǔ),，以便幫助設(shè)計(jì)人員將麥克風(fēng)正確集成到系統(tǒng)之中,。
靈敏度
麥克風(fēng)的靈敏度是指其輸出端對(duì)于給定標(biāo)準(zhǔn)聲學(xué)輸入的電氣響應(yīng)。用于麥克風(fēng)靈敏度測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)參考輸入信號(hào)為94 dB聲壓級(jí)(SPL)或1帕（Pa,，衡量壓力的單位）的1 kHz正弦波,。對(duì)于固定的聲學(xué)輸入，靈敏度值較高的麥克風(fēng)的輸出水平高于靈敏度值較低的麥克風(fēng),。麥克風(fēng)靈敏度（用dB表示）通常是負(fù)值，因此,，靈敏度越高,，其絕對(duì)值越小。
務(wù)必注意麥克風(fēng)靈敏度規(guī)格的表示單位,。如果兩個(gè)麥克風(fēng)的靈敏度不是采用同一單位來(lái)規(guī)定,，則直接比較靈敏度值是不恰當(dāng)?shù)摹ＤM麥克風(fēng)的靈敏度通常用dBV來(lái)規(guī)定,，即相對(duì)于1.0 V rms的dB數(shù),。數(shù)字麥克風(fēng)的靈敏度通常用dBFS來(lái)規(guī)定，即相對(duì)于滿(mǎn)量程數(shù)字輸出(FS)的dB數(shù),。對(duì)于數(shù)字麥克風(fēng),，滿(mǎn)量程信號(hào)是指麥克風(fēng)能夠輸出的最高信號(hào)水平；對(duì)于ADI公司MEMS麥克風(fēng),，該水平為120 dB SPL,。有關(guān)該信號(hào)水平的更完整描述，請(qǐng)參見(jiàn)“最大聲學(xué)輸入”部分,。
靈敏度指輸入壓力與電氣輸出（電壓或數(shù)字字）的比值,。對(duì)于模擬麥克風(fēng)，靈敏度通常用mV/Pa來(lái)衡量,，其結(jié)果可通過(guò)下式轉(zhuǎn)換為dB值：
其中OutputREF為1 V/Pa (1000 mV/Pa)參考輸出比,。
對(duì)于數(shù)字麥克風(fēng)，靈敏度表示為94 dB SPL輸入所產(chǎn)生的輸出占滿(mǎn)量程輸出的百分比。數(shù)字麥克風(fēng)的換算公式為：
其中OutputREF為滿(mǎn)量程數(shù)字輸出水平(1.0),。
較高的靈敏度并不總是意味著麥克風(fēng)的性能更佳,。麥克風(fēng)的靈敏度越高，則它在典型條件（如交談等）下的輸出水平與最大輸出水平之間的裕量通常也越小,。在近場(chǎng)（近距離談話）應(yīng)用中,，高靈敏度的麥克風(fēng)可能更容易引起失真，這種失真常常會(huì)降低麥克風(fēng)的整體動(dòng)態(tài)范圍,。
方向性
方向性描述麥克風(fēng)的靈敏度隨聲源空間位置的改變而變化的模式,。ADI公司的所有MEMS麥克風(fēng)都是全向麥克風(fēng)，即它們對(duì)來(lái)自所有方向的聲音都同樣敏感,，與麥克風(fēng)所處的方位無(wú)關(guān),。圖1所示為麥克風(fēng)響應(yīng)的2軸極坐標(biāo)圖。無(wú)論麥克風(fēng)的收音孔位于x-y平面,、x-z平面還是y-z平面,，此圖看起來(lái)都相同。
圖1. 全向麥克風(fēng)響應(yīng)圖
將全向麥克風(fēng)集成到手機(jī)等較大的機(jī)殼中后,，系統(tǒng)的方向響應(yīng)可能不是全向的,。對(duì)于系統(tǒng)設(shè)計(jì)人員，與定向響應(yīng)的麥克風(fēng)相比,，利用全向麥克風(fēng)能夠更靈活地設(shè)計(jì)系統(tǒng)對(duì)聲學(xué)輸入的響應(yīng),。
多個(gè)全向麥克風(fēng)可以組成陣列來(lái)產(chǎn)生各種不同的方向模式，以及用于波束成形應(yīng)用,。
信噪比(SNR)
信噪比(SNR)表示參考信號(hào)與麥克風(fēng)輸出的噪聲水平的比值,。這種測(cè)量包括麥克風(fēng)元件和MEMS麥克風(fēng)封裝中集成的ASIC二者所貢獻(xiàn)的噪聲。SNR為噪聲水平與標(biāo)準(zhǔn)1 kHz,、94 dB SPL參考信號(hào)的dB差,。
要計(jì)算SNR，須在安靜,、消聲環(huán)境下測(cè)量麥克風(fēng)的噪聲輸出,。該參數(shù)通常表示為20 kHz帶寬內(nèi)的A加權(quán)值(dBA)，這意味著它包括一個(gè)與人耳對(duì)不同頻率聲音的靈敏度相對(duì)應(yīng)的校正系數(shù),。當(dāng)比較不同麥克風(fēng)的SNR時(shí),，必須確保它們采用相同的加權(quán)方式和帶寬；在較窄帶寬下測(cè)得的SNR優(yōu)于在整個(gè)20 kHz帶寬下測(cè)得的SNR,。
動(dòng)態(tài)范圍
麥克風(fēng)的動(dòng)態(tài)范圍衡量麥克風(fēng)能夠做出線性響應(yīng)的最大SPL與最小SPL之差,，它不同于SNR（相比之下，音頻ADC或DAC的動(dòng)態(tài)范圍與SNR通常是等同的）,。
麥克風(fēng)的SNR衡量噪底與94 dB SPL的參考水平之差,，但在該參考水平以上,，麥克風(fēng)仍然有相當(dāng)大的有用信號(hào)響應(yīng)范圍。麥克風(fēng)能夠?qū)?4 dB SPL至最高120 dB SPL的聲學(xué)輸入信號(hào)做出線性響應(yīng),。因此,，MEMS麥克風(fēng)的動(dòng)態(tài)范圍等于其SNR + 26 dB，其中26 dB = 120 dB-94 dB,。例如,，ADMP404的SNR為62 dB，而動(dòng)態(tài)范圍為88 dB,。
圖2顯示了聲學(xué)輸入（用dB SPL衡量）與麥克風(fēng)電壓輸出（用dBV衡量）的關(guān)系,。動(dòng)態(tài)范圍和SNR顯示于這兩個(gè)刻度軸之間，以供參考,。圖2利用-38 dBV靈敏度和62 dB SNR的ADMP404來(lái)顯示這些關(guān)系,。
圖2. 模擬麥克風(fēng)的dB SPL輸入與dBV輸出的關(guān)系
圖3顯示了數(shù)字麥克風(fēng)的dB SPL輸入與dBFS輸出之間的類(lèi)似關(guān)系。注意,，在此圖中,，120 dB SPL的最大聲學(xué)輸入直接映射到0 dBFS輸出信號(hào)。只要最大聲學(xué)輸入對(duì)應(yīng)0 dBFS并且設(shè)置為120 dB SPL,，則數(shù)字麥克風(fēng)始終具有-26 dB的靈敏度,。這是由靈敏度的定義（在94 dB SPL下測(cè)量）所決定的，而不是可以通過(guò)改變麥克風(fēng)ASIC的增益進(jìn)行調(diào)整的設(shè)計(jì)參數(shù),。
圖3. 數(shù)字麥克風(fēng)的dB SPL輸入與dBFS輸出的關(guān)系
等效輸入噪聲(EIN)
等效輸入噪聲(EIN)是將麥克風(fēng)的輸出噪聲水平(SPL)表示為一個(gè)施加于麥克風(fēng)輸入端的理論外部噪聲源,。低于EIN水平的輸入（SPL）在麥克風(fēng)的噪底以下，并且在麥克風(fēng)能夠產(chǎn)生輸出的信號(hào)動(dòng)態(tài)范圍以外,。EIN可以從動(dòng)態(tài)范圍或SNR參數(shù)導(dǎo)出，如下式所示：
EIN = 最大聲學(xué)輸入-動(dòng)態(tài)范圍
EIN = 94 dB-SNR
對(duì)于一個(gè)具有62 dB SNR和120 dB最大聲學(xué)輸入的麥克風(fēng),，其EIN為32 dB SPL,，這大約是在安靜的圖書(shū)館中5米開(kāi)外的輕聲低語(yǔ)所產(chǎn)生的SPL。圖2和圖3顯示了麥克風(fēng)的EIN,。
頻率響應(yīng)
麥克風(fēng)的頻率響應(yīng)描述其在整個(gè)頻譜上的輸出水平,。頻率上限和下限用麥克風(fēng)響應(yīng)比1 kHz的參考輸出水平低3 dB時(shí)的頻率點(diǎn)來(lái)描述。1 kHz的參考水平通常歸一化為0 dB,。在這些條件下,，ADI公司的MEMS麥克風(fēng)通常具有統(tǒng)一的100 Hz至15 kHz頻率響應(yīng)。
頻率響應(yīng)特性還包括通帶內(nèi)偏離平坦響應(yīng)的限值,。這些值表示為±x dB,，說(shuō)明-3 dB點(diǎn)之間輸出信號(hào)與標(biāo)稱(chēng)0 dB電平的最大偏差。
對(duì)于ADI公司的MEMS麥克風(fēng),，低頻-3 dB點(diǎn)以下的低頻滾降為一階（6 dB/8倍頻程或20 dB/10倍頻程）,，高頻-3 dB點(diǎn)以上的高頻滾降為二階（-12 dB/8倍頻程或-40 dB/10倍頻程）,。
MEMS麥克風(fēng)數(shù)據(jù)手冊(cè)用兩幅圖來(lái)顯示此頻率響應(yīng)：一幅圖顯示頻率響應(yīng)模板，另一個(gè)幅圖顯示典型實(shí)測(cè)頻率響應(yīng),。頻率響應(yīng)模板圖顯示整個(gè)頻率范圍內(nèi)麥克風(fēng)輸出的上限和下限,，麥克風(fēng)輸出保證位于此模板范圍內(nèi)。典型頻率響應(yīng)圖顯示麥克風(fēng)在整個(gè)頻段內(nèi)的實(shí)際響應(yīng),。圖4和圖5的示例為選自ADMP404數(shù)據(jù)手冊(cè)的兩幅圖,。
圖4. 頻率響應(yīng)模板
圖5. 典型頻率響應(yīng)（實(shí)測(cè)）
頻率響應(yīng)較寬且平坦的麥克風(fēng)有助于系統(tǒng)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)自然、清晰的聲音,。
總諧波失真(THD)
總諧波失真(THD)衡量在給定純單音輸入信號(hào)下輸出信號(hào)的失真水平,，用百分比表示。此百分比為基頻以上所有諧波頻率的功率之和與基頻信號(hào)音功率的比值,。
THD值越高,，說(shuō)明麥克風(fēng)輸出中存在的諧波水平越高。MEMS麥克風(fēng)的THD利用基波的前五次諧波計(jì)算,。
此測(cè)試的輸入信號(hào)通常為105 dB SPL,，比94 dB SPL參考高11 dB。與其它參數(shù)相比,，THD在較高的輸入SPL下測(cè)量,，這是因?yàn)殡S著聲學(xué)輸入信號(hào)水平提高，THD測(cè)量結(jié)果通常也會(huì)提高,。根據(jù)經(jīng)驗(yàn),，輸入水平每提高10 dB，THD會(huì)提高3倍,。因此,，如果在105 dB SPL時(shí)THD小于3%，則在95 dB SPL時(shí)THD將小于1%,。
切勿將此參數(shù)與總諧波失真加噪聲(THD + N)混為一談,，后者不僅衡量諧波水平，而且包括輸出中的所有其它噪聲貢獻(xiàn),。
電源抑制比(PSRR)
麥克風(fēng)的電源抑制比(PSRR)衡量其抑制電源引腳上的噪聲,，使之不影響信號(hào)輸出的能力。PSRR通過(guò)將一個(gè)217 Hz,、100 mV峰峰值正弦波施加于麥克風(fēng)的VDD引腳來(lái)測(cè)量,。PSRR測(cè)量將給出從麥克風(fēng)的輸出來(lái)看，此輸入信號(hào)衰減了多少dB,。此參數(shù)之所以使用217 Hz頻率,，是因?yàn)樵贕SM電話應(yīng)用中，217 Hz開(kāi)關(guān)頻率通常是電源的一個(gè)主要噪聲源,。
MEMS麥克風(fēng)的數(shù)據(jù)手冊(cè)也會(huì)顯示100 Hz至10 kHz頻率范圍內(nèi)的PSRR,。這些麥克風(fēng)具有出色的低頻噪聲抑制性能（模擬麥克風(fēng)小于-70 dBV,，數(shù)字麥克風(fēng)小于-80 dBFS）。如圖6（選自ADMP404數(shù)據(jù)手冊(cè)）所示,，PSRR在高頻時(shí)提高到略低于-50 dB的水平,。
圖6. 典型電源抑制比與頻率的關(guān)系
最大聲學(xué)輸入
最大聲學(xué)輸入指的是麥克風(fēng)能夠承受的最高聲壓級(jí)(SPL)。高于此參數(shù)的SPL會(huì)導(dǎo)致輸出信號(hào)發(fā)生嚴(yán)重的非線性失真,。最大聲學(xué)輸入用峰值SPL來(lái)規(guī)定,，而不是均方根值。
ADI公司MEMS麥克風(fēng)的最大聲學(xué)輸入為120 dB,，相當(dāng)于空氣中的20 Pa聲壓級(jí),。