一、前言
以旋轉(zhuǎn)容柵編碼器為例,,簡述容柵傳感器的測量原理及其結(jié)構(gòu),,分析容柵自身以及容柵芯片的特點(diǎn),通過機(jī)械機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)和容柵編碼器后續(xù)電路設(shè)計(jì),,提高其工作可靠性,,并應(yīng)用于實(shí)際工程中。
電容傳感器具有測量分辨力和測量準(zhǔn)確度高等特點(diǎn),,在很多場合被作為高精測量儀器使用,,但因其自身缺陷,只能使用在微小位移的測量中,,無法滿足大位移測量的要求,。80年代容柵傳感器的出現(xiàn),徹底的改變了這種情況,。借鑒了光柵的結(jié)構(gòu)形式,,工程師把電容做成柵型,大大提高了測量的精度和范圍,,實(shí)現(xiàn)了大位移高精度測量,。
容柵傳感器相對于其他類型的傳感器有許多突出的優(yōu)點(diǎn)[2]:
1、量程大、分辨率高,。在線位移測量時(shí),,分辨率為2mm時(shí),量程可達(dá)到20m,,在角位移測量時(shí),,分辨率為0.1°時(shí),量程為4096圈,。其測量速度也比較高,測量線速度可達(dá)到1.5m/s,。
2,、容柵測量屬非接觸式測量,因此容柵傳感器具有非接觸傳感器的優(yōu)點(diǎn),,諸如測量時(shí)摩擦阻力可以減到最小,,不會(huì)因?yàn)闇y量部件的表面磨損而導(dǎo)致測量精度下降。
3,、結(jié)構(gòu)簡單,。容柵傳感器的敏感元件主要由動(dòng)?xùn)藕挽o柵組成,信號(hào)線可以全部從靜柵上引出,,作為運(yùn)動(dòng)部件的動(dòng)?xùn)趴梢詻]有引線,,為傳感器的設(shè)計(jì)帶來很大的方便。
4,、配用專用集成電路的容柵傳感器是一種數(shù)字傳感器,,和計(jì)算機(jī)的接口方便,便于長距離傳送信號(hào),,幾乎無數(shù)據(jù)傳輸誤差,。數(shù)據(jù)更新速率可以達(dá)到每秒50次。
5,、功耗極小,。正常工作電流小于10mA,傳感器敏感元件可以長期工作,,一粒鈕扣電池可以連續(xù)工作1年以上,。利用這個(gè)特點(diǎn),可以設(shè)計(jì)出準(zhǔn)絕對式的位移傳感器,。
6,、在價(jià)格上有很大優(yōu)勢,其性能價(jià)格比遠(yuǎn)高于同類傳感器,。
容柵傳感器有最主要的問題是穩(wěn)定性和可靠性,,環(huán)境潮濕和外界電磁干擾的影響尤為顯著,其次作為準(zhǔn)絕對式傳感器在長期斷電工作時(shí),,需要定期更換電池,,所以難于作為傳感器用于長期自動(dòng)測量,。
容柵編碼器是以脈沖數(shù)字量來表示容柵傳感器敏感元件間相對位置信息,本文研究的容柵旋轉(zhuǎn)編碼器將容柵全部的結(jié)構(gòu)密封在金屬殼內(nèi),,大大提高了容柵傳感器的電磁兼容性和抗環(huán)境污染能力,,為容柵原理用于自動(dòng)測量奠定了基礎(chǔ)。

二,、容柵旋轉(zhuǎn)編碼器的結(jié)構(gòu)和測量原理
1,、容柵旋轉(zhuǎn)編碼器的結(jié)構(gòu)組成
容柵旋轉(zhuǎn)編碼器分動(dòng)?xùn)藕挽o柵二部分,都為精密加工的印刷電路板,。動(dòng)?xùn)派嫌邪l(fā)射極和接收極,,在發(fā)射極和接收極之間有屏蔽極,避免發(fā)射極到接收極之間的直接電容耦合,。靜柵上有反射極和屏蔽極,,反射極與屏蔽極的寬度一致,屏蔽極需可靠接地,。動(dòng)?xùn)派瞎灿?8個(gè)發(fā)射電極,,發(fā)射極的極距按實(shí)際要求可變,每4個(gè)發(fā)射極對應(yīng)于一個(gè)反射極,。動(dòng)?xùn)派厦?個(gè)發(fā)射電極為一組,,共6組。對每組發(fā)射極進(jìn)行編號(hào)A到H同編號(hào)的發(fā)射極電路上相連,。運(yùn)行時(shí),,兩塊印刷電路板的柵面平行同軸相對,間距在0.1mm左右,。圖1所示的是旋轉(zhuǎn)式容柵編碼器的結(jié)構(gòu)圖,。
2、容柵傳感器測量原理
在動(dòng)?xùn)艝琶婢幪?hào)為A~H發(fā)射電極上分別加上8個(gè)等幅,、同頻,、相位依次相差p/4的方波激勵(lì)電壓信號(hào) (i=0,1,,2,,…,7),。每組編號(hào)相同的發(fā)射極都加以相同的激勵(lì)信號(hào),,經(jīng)過兩對電容耦合在接收極上形成容柵電壓信號(hào) 。由于各組中序號(hào)相同的發(fā)射極和反射極的相對位置相同,,所以可以將48個(gè)發(fā)射極和對應(yīng)的反射極板間的電容簡化為 到 的8個(gè)電容器,。Cf代表反射極與接收極相互耦合之后形成的電容器,由于接收極在動(dòng)?xùn)乓苿?dòng)方向上的長度恰好為一組反射極長度的整數(shù)倍,又由于反射極是周期性排列的,,所以接收極和反射極的相互覆蓋面積不隨位移變化,,即Cf為一個(gè)常數(shù)。圖2所示為其等效電路圖[2],。
容柵工作時(shí),,施加發(fā)射電極上的周期激勵(lì)信號(hào),通過發(fā)射極與反射極,、反射極與接收極兩對電容耦合,,在接收極上形成合成信號(hào)。傳感器輸入,、輸出信號(hào)與各電極之間電容耦合關(guān)系如圖3[1],。
一組激勵(lì)信號(hào)
(i=0,1,,2,…,,7)通過一組電容
(i=0,,1,2,,…,,7)和定值電容Cf耦合后,得到傳感器的輸出信號(hào) ,。不考慮激勵(lì)信號(hào)的輸出阻抗,,并作歸一化處理,可得:
(1)
把
和
作傅立葉展開,,選擇合適的零點(diǎn),,可視為偶函數(shù):
(2)
(3)
式中,T—激勵(lì)信號(hào)的周期,;
W—靜柵反射極板的節(jié)距,。
容柵處理電路會(huì)濾去高次諧波,在這里采用基波求解,,并作歸一化處理,,把公式(2)(3)代入(1)得:
(4)