意法半導(dǎo)體(ST)發(fā)布薄膜壓電MEMS技術(shù)，推動(dòng)訂制化和個(gè)性化MEMS應(yīng)用發(fā)展
2014-11-02
橫跨多重電子應(yīng)用領(lǐng)域,、全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體供應(yīng)商、全球最大的MEMS制造商及消費(fèi)性電子和移動(dòng)設(shè)備MEMS供應(yīng)商商意法半導(dǎo)體（STMicroelectronics,，簡(jiǎn)稱ST,；紐約證券交易所代碼：STM）宣布，其創(chuàng)新的壓電式MEMS技術(shù)已進(jìn)入商用階段,。這項(xiàng)創(chuàng)新的壓電式技術(shù)(piezoelectric [1]technology) 憑借意法半導(dǎo)體在MEMS設(shè)計(jì)和制造領(lǐng)域的長(zhǎng)期領(lǐng)先優(yōu)勢(shì),，可創(chuàng)造更多的新應(yīng)用商機(jī)。意法半導(dǎo)體的薄膜壓電式(TFP, Thin-Film Piezoelectric) MEMS技術(shù)是一個(gè)可立即使用且可簡(jiǎn)單定制的平臺(tái),，使意法半導(dǎo)體能與全球客戶合作,，開發(fā)各種MEMS應(yīng)用產(chǎn)品。
poLight 是第一批采用意法半導(dǎo)體的薄膜壓電式(TFP) 技術(shù)的企業(yè),，其創(chuàng)新的可調(diào)鏡頭(TLens®, Tuneable Lens) 通過壓電執(zhí)行器(piezoelectric actuator) 改變聚合膜(transparent polymer film) 的形狀,，模擬人眼的對(duì)焦功能。這項(xiàng)應(yīng)用被視為相機(jī)自動(dòng)對(duì)焦(AF, auto-focus) 的最佳解決方案,。而目前的自動(dòng)對(duì)焦功能還主要依賴于體積巨大,、耗電量高且成本昂貴的音圈電機(jī)(VCM, Voice Coil Motors) 提供動(dòng)力。
意法半導(dǎo)體部門副總裁兼定制MEMS產(chǎn)品部總經(jīng)理Anton Hofmeister表示：“憑借我們久負(fù)盛名的全球第一大MEMS制造商的市場(chǎng)優(yōu)勢(shì),，已成功生產(chǎn)了數(shù)十億顆傳感器芯片,，位于意大利Agrate的8吋晶圓廠，現(xiàn)在已經(jīng)開始生產(chǎn)壓電執(zhí)行器(piezoelectric actuator) 與感測(cè)器產(chǎn)品,。我們的薄膜壓電式MEMS 技術(shù)成功改寫了MEMS 的商業(yè)運(yùn)作方式,，創(chuàng)造了不同以往的高成本效益概念，日后將促使更多嶄新的MEMS 應(yīng)用開發(fā),。”
poLight 市場(chǎng)總監(jiān)Christian Dupont 表示：“poLight將采用意法半導(dǎo)體的薄膜壓電式MEMS技術(shù)制造TLens自動(dòng)對(duì)焦鏡頭,，大幅提升了智能手機(jī)內(nèi)置相機(jī)的自動(dòng)對(duì)焦性能。例如,，TLens鏡頭可瞬間完成對(duì)焦,，調(diào)焦速度是傳統(tǒng)解決方案的十倍,，而電池耗電量只有傳統(tǒng)方案的二十分之一。同時(shí),，拍照后相機(jī)自動(dòng)重新對(duì)焦的功能也有相當(dāng)?shù)倪M(jìn)步,，可為攝像任務(wù)提供連續(xù)穩(wěn)定的自動(dòng)對(duì)焦服務(wù)。這一開創(chuàng)性技術(shù)整合了poLight的創(chuàng)新技術(shù)和意法半導(dǎo)體的薄膜壓電技術(shù)優(yōu)化能力,。意法半導(dǎo)體能夠可大規(guī)模制造擁有強(qiáng)大功能的壓電執(zhí)行器,，這對(duì)于智能手機(jī)廠商來說具有非常重要的意義。”
意法半導(dǎo)體的最新薄膜壓電式MEMS技術(shù)平臺(tái)試制生產(chǎn)線(pilot line) 的部分資金來自歐洲LAB4MEMS 項(xiàng)目,。此項(xiàng)技術(shù)將為執(zhí)行器創(chuàng)造更多具有發(fā)展?jié)摿Φ膽?yīng)用,，例如，商用,、工業(yè)和3D噴墨打印機(jī)的打印頭(inkjet printheads)，甚至可以用于開發(fā)能源收集(energy harvesting) 領(lǐng)域使用的壓電傳感器,。意法半導(dǎo)體預(yù)計(jì)于2015年中期為試用客戶提供量產(chǎn)薄膜壓電式MEMS產(chǎn)品,。
[1]壓電效應(yīng)是某些材料受到外部機(jī)械壓力后產(chǎn)生電勢(shì)的物理現(xiàn)象（又稱正壓電效應(yīng)）。相反,，某些材料在被施加電場(chǎng)后會(huì)呈現(xiàn)線性擴(kuò)縮（又稱反壓電效應(yīng)）,。這種現(xiàn)象被廣泛用于各種應(yīng)用設(shè)備中，從簡(jiǎn)單的打火機(jī)到復(fù)雜的掃描隧道顯微鏡(Scanning Tunneling Microscope),。然而,，現(xiàn)有應(yīng)用設(shè)計(jì)多數(shù)都采用體積龐大且價(jià)格昂貴的陶瓷壓電材質(zhì)。意法半導(dǎo)體的薄膜壓電式MEMS技術(shù)兼?zhèn)涞凸暮透咚賶弘姺磻?yīng)以及半導(dǎo)體制造工藝的低成本優(yōu)勢(shì),。