前言
新世紀(jì)伊始,由于凡世通輪胎(Fire-tone)的質(zhì)量問題,大量的爆胎和翻車事故造成了超過100人的死亡和400人的受傷,,引起了汽車業(yè)界和美國政府的關(guān)注,。該公司不得不于次年8月召回了650萬只輪胎,。據(jù)統(tǒng)計(jì),,美國每年有26萬例交通事故是由于輪胎氣壓低或滲漏造成的,占交通事故的75%,。而中國高速公路上交通事故的70%是由于爆胎引起的,。
輪胎質(zhì)量專家認(rèn)為,“保持標(biāo)準(zhǔn)的車胎氣壓行駛和及時(shí)發(fā)現(xiàn)車胎漏氣是防止爆胎的關(guān)鍵,。”當(dāng)前盛行的低成本的手執(zhí)式數(shù)字胎壓計(jì)不能保證及時(shí)發(fā)現(xiàn)車胎漏氣,,目前用于200多萬輛通用和福特公司汽車上的間接測量技術(shù)——用防搶死剎車輪胎速度傳感器來測量比較每一個(gè)輪胎轉(zhuǎn)速,從而推斷出輪胎的壓力是否不足的方法實(shí)在是既麻煩又不準(zhǔn)確,。
在每一個(gè)車胎中安裝上胎壓監(jiān)測傳感器和射頻發(fā)射器的智能輪胎正在引起極大的關(guān)注,,智能輪胎與汽車儀表盤上一個(gè)接受器及顯示器配合,即構(gòu)成一個(gè)輪胎壓力器測系統(tǒng),即TPMS(Tire Pressure Monitoring System),,它也可以直稱為胎壓監(jiān)測傳感器(Tire Pressure Monitoring Sensor),。
美國國家公路安全管理局上世紀(jì)七十所代中期的強(qiáng)制性聯(lián)邦法令,促成了燃油自動(dòng)噴射系統(tǒng)的普及及第一次汽車傳感器應(yīng)用的高潮,。2002年NHTSA的又一聯(lián)邦法案,,規(guī)定美國汽車從2003~2006年,每年分別以15%,,35%,,65%,100%的比例裝配TPMS系統(tǒng) ,,這將掀起新一輪汽車壓力傳感器應(yīng)用的高潮,。
輪胎壓力傳感器
車胎獨(dú)特的工作環(huán)境條件,決定了胎壓實(shí)時(shí)監(jiān)測的壓力傳感器的高要求,,要求寬溫區(qū),寬電源電壓范圍內(nèi)較高的實(shí)用總精度要求,,低功耗要求,,無線信號(hào)傳輸要求,耐惡劣環(huán)境要求和低成本要求,。
摩托羅拉(Motorola)公司是TPMS系統(tǒng)的積極開發(fā)者,,它采用基于MEMS技術(shù)的硅集成電容式壓力傳感器MPXY8020A作為胎壓檢測單元,具有低功耗和全集成的特點(diǎn),。采用32針封裝的MC68HC908RF2作為信號(hào)控制處理與發(fā)射單元,,它是一個(gè)8位單片機(jī)和UHF發(fā)射器集成在一起的器件,采用MC33594作為接收單元,。
近年為通用電器公司收購的著名傳感器廠商諾瓦傳感器公司(GE NovaSensor)是另一個(gè)積極開發(fā)者,,它采用了基于MEMS技術(shù)的硅壓阻式壓力傳感器作為胎壓監(jiān)測單元,配有一個(gè)能完成控制,、測量,、信號(hào)補(bǔ)償與調(diào)整及發(fā)射的專用CMOS大規(guī)模集成電路。將兩個(gè)芯片封裝在一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的14腳SOIC封裝中,,即構(gòu)成其TPMS,,型號(hào)為NPXC01746,由于采用了喚醒瞬態(tài)工作模式,,其功耗僅9.7微安秒,,可滿足電池十年的工作壽命,由于采用了數(shù)字補(bǔ)償功能,,在-40℃~+125℃,,電池電壓2.1V~3.0V范圍內(nèi),測壓精度優(yōu)于1.5%FS,,Nova模式的更大意義在于它可以采用現(xiàn)有的ASIC與任何一種集成惠斯頓全橋壓阻壓力傳感器復(fù)合集成,,產(chǎn)生更多型號(hào)的TPMS產(chǎn)品,。
挪威的SensoNor公司專業(yè)制造基于壓阻壓力的專用集成傳感器,由輪胎壓力監(jiān)測系統(tǒng)供應(yīng)商如TRW Automotive公司,、SmarTire公司配套制作成TPMS,SensoNor的壓阻式輪胎傳感器與SmarTire的射頻發(fā)生器組合成功的TPMS已為西門子VDO汽車配件公司和美國固特異輪胎公司(Goodyear)采用,。
輪胎壓力傳感器力敏芯片的設(shè)計(jì)與開發(fā)
為開發(fā)輪胎壓力傳感器,我們?cè)O(shè)計(jì)和研制出了一種適用的絕對(duì)壓力傳感器,,它是一種基于MEMS硅體微機(jī)械加工技術(shù)的微型壓阻絕對(duì)壓力傳感器,,敏感元件為―集成惠斯頓全橋。力敏電阻按常規(guī)設(shè)計(jì)分布在正方形硅薄膜的四邊邊緣中心點(diǎn),,按〈110〉晶向排列,,一對(duì)呈縱向布局,一對(duì)呈切向布局,,從而形成惠斯頓應(yīng)變?nèi)珮?。電阻條寬8um,全長60um,平均有效應(yīng)力可以保證20mV/V 的輸出靈敏度,。電阻采用離子注入摻雜形成,,有優(yōu)良的均勻性和摻雜準(zhǔn)確度以保證零位和靈敏度的穩(wěn)定性,電阻設(shè)計(jì)的阻抗為5KΩ,,采用硅硅鍵合技術(shù)形成絕對(duì)壓力傳感器的真空參考腔,。它比之用硅-pyrex玻璃陽極鍵合形成絕對(duì)壓力參考腔有更優(yōu)良的熱膨漲系統(tǒng)匹配,因而更有利于產(chǎn)品的熱穩(wěn)定性和時(shí)間穩(wěn)定性,。采用這一設(shè)計(jì)工藝技術(shù)的另一重大優(yōu)點(diǎn)是可以大大縮小單元芯片尺寸,,本設(shè)計(jì)的單元芯片尺寸為1mm ×1mm,在1個(gè)四英硅圓片上可制作七千余個(gè)力敏感元件單元,,而采用硅―玻璃鍵合設(shè)計(jì)的單元芯片尺寸一般為1.5×1.5mm至2.2×2.2mm,,因而在一個(gè)四英吋的硅圓片上可制的壓力敏感元件單元分別為3400個(gè)和1600個(gè),顯而易見,,我們的設(shè)計(jì)有利于降低單元制作成本,。當(dāng)然,采用這一設(shè)計(jì)的前提是掌握好硅―硅鍵合技術(shù)及薄硅膜片制作技術(shù),。鑒于輪胎壓力傳感器的量程較大,,硅膜片較厚,采用精密機(jī)械減薄或各向同性腐蝕技術(shù)都不難達(dá)到設(shè)計(jì)的要求,,即使將這一設(shè)計(jì)的量程下延至汽車用MAP和AAP絕對(duì)壓力傳感器的量程,,采用Smart Cut 技術(shù)或外延片電化學(xué)選擇腐蝕技術(shù)亦不難獲得15~20um厚的硅薄膜。
非線性:0.05~0.1%FS,;遲滯與重復(fù)性:0.03%FS,;輸出靈敏度:10~20mV/V;量程:700Kpa;過載能力:300%,;零點(diǎn)及靈敏度溫度系數(shù):1~3×10-4 /℃·FS,。
本芯片亦可供輪胎壓力傳感器及手持式數(shù)字輪胎壓力及配套使用。
結(jié)語
用MEMS硅體微機(jī)械加工技術(shù)制作成功輪胎壓力監(jiān)測系統(tǒng)用的輪胎壓力傳感器芯片,,采用硅―硅鍵合設(shè)計(jì)與相關(guān)工藝技術(shù)縮小芯片尺寸,,降低單元成本,為TPMS產(chǎn)品開發(fā)走出了第一步,。