MEMS(微電子機械系統(tǒng))融合了微電子與精密機械制作技術，主要包括傳感器,、執(zhí)行器,，以及信號處理與控制電路，是系統(tǒng)集成芯片的一個發(fā)展方向,。MEMS在軍事應用中也有十分廣闊的前景,，正成為國防科技發(fā)展的一條新途徑。迄今為止,，軍事裝備上大量采用MEMS尚不多見,，但其研發(fā)涉及范圍相當廣泛，軍用MEMS已是箭在弦上,。
　　射頻元器件：
　　射頻介于100KHz至100MHz,，但通常指的是100KHz到300GHz的射頻、微波和毫米波的頻率范圍,。在射頻應用中,，MEMS的研究目標為實現(xiàn)集成在單芯片上的射頻系統(tǒng)。現(xiàn)基于MEMS的開關,、濾波器,、可變電容、電感器等射頻元器件已取得實質(zhì)性進展,，將在軍用相控陣雷達,、無線通信中率先應用。
　　射頻MEMS開關的隔離度好,，插入損耗低,，控制電路功耗低，工作頻帶寬,，研制集中在提高開關速度與降低開關的驅動電壓以及材料,、結構、封裝,、射頻耦合上,。已研制出懸臂梁,、膜板、橋式,、圓形,、記憶合金、多極/多擲等MEMS開關,，大多數(shù)采用靜電驅動機理,，其優(yōu)勢為功耗低，制作上與芯片工藝兼容性好,。一靜電MEMS開關所需功率是射頻電路中一只開關二極管的1%,，用它組成的移相器的重量和價格大約是同類鐵氧體產(chǎn)品的1/10，適用于有源相控陣雷達,。MEMS還可用于變波束天線中,，開發(fā)可變頻率、多波束特性的天線,，一個天線體現(xiàn)多個天線的功能,。
　　用MEMS中的X射線光刻，電鑄及注塑技術,，研制出10和14GHz寬帶耦合高附加值的帶通濾波器，10,、12GHz下的最小插損為0.45dB,，有望進一步提高無線接收機的濾波性能，多個MEMS濾波器并聯(lián)組合可完成開關型接收機的頻帶/頻道選擇,。高Q值的MEMS濾波器可用于信號處理,。MEMS可變電容器有平板型，叉指型之分,，用于替代調(diào)諧變?nèi)荻O管,，理論上的截止頻率超過1000GHz，平板型的最大電容為35pF,，最小0.5pF,，電容值也可在4.0~4.4pF之間變化，叉指型的電容在0.035~0.1pF間線性變化,。射頻收發(fā)系統(tǒng)中的開關,、濾波器、壓控振蕩器,、混頻器,，雙工器等均可采用對應的MEMS射頻元器件替代，最終達到單片或混合集成目標,。
燃料電池
　　美國防部估計,，2003年需要配置在便攜式軍用電子裝備上的電池應達到1000w.h/kg,，到2006年需上升到3100w.h/kg，美特種作戰(zhàn)司令部將更輕,、更小且持續(xù)時間長的電池作為今后反恐怖作戰(zhàn)所需的新裝備,。當今最好的鋰電池也達不到如此要求，因此,，國外正研制實用化,、高效率的微型燃料電池，以滿足軍用高容量電池的需求,。利用MEMS技術研發(fā)的微型燃料電池,、處理器、超級電容器一體化裝置,，已有樣品進行了演示,。

　　制導彈藥：
　　制導彈藥采用的全球定位輔助慣性制導(GPS/INS)的方式成為中段制導的主流技術，在充滿電子干擾的戰(zhàn)場上,，只有慣性制導INS具有高隱蔽性,，強抗干擾性，信息連續(xù)性的可貴軍用特點,，雖然其定位誤差隨時間不斷積累漂移,，但MEMS慣性器件仍被列為國防關鍵技術予以發(fā)展，國外開始小批量生產(chǎn)硅微機械振動陀螺(俗稱芯片陀螺)和硅加速度計構成的MEMS慣性測量裝置,，用于近程導彈,。美軍阿富汗戰(zhàn)爭投擲的各種彈藥中，55%為GPS/INS精確制導,，并采用GPS/INS制導的GBU-37專用侵切彈,，鉆地打擊塔利班的地下防護工程，美空,、海軍計劃到2015年購買約10萬枚GPS/INS制導的聯(lián)合直接攻擊炸彈,，俄、法,、英等國也在研制INS/GPS加紅外,、雷達末段制導的中遠程常規(guī)巡航導彈。國外正加速研制高精度,、低成本,、集成化、抗高沖擊的MEMS慣性測量裝置,，研究在芯片上制造光纖陀螺,，企圖在一塊芯片上實現(xiàn)INS，擴展INS應用范圍，為非制導的炮射彈藥(榴彈炮彈,，迫擊炮彈,，火箭炮彈等)提供廉價一次性的制導和控制，提高彈藥打擊精度,。

電子引信：
　　電子引信可尋找最佳時刻引爆彈藥,，從而摧毀目標，采用MEMS技術能在硅片上制作傳感器,、定時器,、開關及控制元件，甚至可集成電雷管最核心的部件電橋,，最終形成內(nèi)在質(zhì)量好,，可靠性高，更安全的固態(tài)電子引信,。美國海軍研制出內(nèi)含慣性測量單元,，氣流和沖擊傳感器、沖擊雷管及發(fā)火裝置的MEMS引信原型,，其體積僅為以前的1/17,，造價減少3/4，已成功地進行了演示,。在引信設計中,，包括保險裝置在內(nèi)的MEMS引信的尺寸將縮減到當前引信的10%，所用部件數(shù)減少40%,，重量至少減輕60%,，使引信產(chǎn)生劃時代的變革。

　　仿生機器人：
　　仿生機器人是借助MEMS技術進行開發(fā)的研究,、模仿動物或昆蟲的生物形態(tài)、結構,、習性行為的電子裝置,，可執(zhí)行間諜、竊聽,、拍照,、目標搜索、毒氣探測,、地雷探測等人無法到達或相當危險環(huán)境內(nèi)的任務,，甚至可根據(jù)需要引爆自身與敵同歸于盡。正開發(fā)的仿生機器人項目有仿真的蒼蠅,、蝙蝠,、蝎子、金槍魚、龍蝦等,，根據(jù)報道,，部分科研成果在今后數(shù)年內(nèi)有可能達到實用水平。

　　微飛行器：
　　微飛行器MAV集MEMS,、航空電子,、飛行力學、推進器技術于一體,，在戰(zhàn)場前沿用于偵察,、電子干擾、搜尋,、救援,、生化探測等軍事用途。國際上很多科研機構積極從事這一開發(fā),，研制出多種MAV的雛形,，按其飛行原理分為固定翼、旋翼,、撲翼三大類型,，同時加速研制的還有微渦輪機、微轉子發(fā)動機,、微燃氣輪機,、控制部件的微動力機電系統(tǒng)。今后數(shù)年內(nèi)的研制目標是MAV的長寬高不超過150mm,，重10~120g,，續(xù)航時間20~60min，巡航速度30~60km/h,，有效載荷1~20g,，最大飛行距離10km，實現(xiàn)傳輸圖像,，可自主飛行,。

　　微納衛(wèi)星：
　　衛(wèi)星的微型化，納米化的研究方興未艾,，國外正研制重量低于10kg的超微衛(wèi)星以及重量小于0.1kg的納米衛(wèi)星,。采用MEMS技術，可將常規(guī)衛(wèi)星上的許多部件微型化,，例如氣相分析儀,、環(huán)形激光光纖陀螺、圖像傳感器,、微波收發(fā)射機,、電動機,、執(zhí)行器等，制作成專用集成微型部件或儀器,，甚至在同一芯片上構成芯片級衛(wèi)星,，提高衛(wèi)星信息獲取和防御能力，降低衛(wèi)星制作和發(fā)射成本,。一枚高推力重量比的小型火箭可發(fā)射數(shù)百顆超微衛(wèi)星,，或采用機動應急發(fā)射方式，既單顆廉價快速完成專項任務,，也能組成分布式星座或局部星團,，完成以往大型衛(wèi)星的任務。據(jù)報道,，美,、俄70%的軍事情報來源于衛(wèi)星系統(tǒng)。越來越多的理論與實踐表明,，微納衛(wèi)星組成的星座在遙感,、通信、軍事等領域有很好的應用前景,。
　　國外相繼展開軍用MEMS基礎研究與應用探索,，軍用MEMS已不再是一個純技術概念，所涉及到的新原理,、新功能,、新結構非常多，并包括各種微型傳感器,、敵我識別系統(tǒng),、數(shù)據(jù)存儲系統(tǒng)、微顯示器,、小型分析儀,、微型火箭、微自適應流體控制機構等具體裝置,。隨著MEMS技術的縱深發(fā)展,，它將在軍事應用中發(fā)揮重要作用。