近日從中國建筑材料科學研究總院(以下簡稱建材總院)獲悉,，基于光刻用石英玻璃基板(以下簡稱石英玻璃基板)綠色制造技術(shù),，建材總院石英院在衢州建立了國內(nèi)首條從基板原材料制造到產(chǎn)品加工的成套生產(chǎn)線,，該生產(chǎn)線可年產(chǎn)20000片4—6英寸石英玻璃基板，打破了石英玻璃基板原材料及產(chǎn)品長期依賴進口的局面,。

　　該生產(chǎn)線的建立,，是建材總院承擔的“十二五”國家科技支撐計劃“高性能石英玻璃,、微晶玻璃等特種材料關鍵技術(shù)研發(fā)及示范”課題的成果之一。

　　玻璃基板是集成電路芯片制造工藝中的核心器件,，市場需求量巨大。作為石英玻璃基板的原材料,，合成石英玻璃具有熱穩(wěn)定性好,、光學均勻性高、耐輻照等諸多優(yōu)點,。然而,，受原材料純度、均勻性及加工精度,、硬脆特性等制約,，我國石英玻璃基板長期依賴進口。

　　作 為我國唯一專業(yè)從事石英玻璃研究的科研院所,，建材總院石英院科研人員經(jīng)不懈努力,，形成一套符合我國行業(yè)現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢的獨有工藝路線，不但解決了石英玻璃基板原材料的純度,、均勻性難題,，同時實現(xiàn)了原材料綠色制造;引入多刀切割、安全快速磨拋工藝,，創(chuàng)造性地開發(fā)了熔拉制坯,、數(shù)控倒角等技術(shù)，解決了石英玻璃基板加工精度的難題,。從基板原材料制造到產(chǎn)品加工,，該院形成專利20余項，行業(yè)標準,、國軍標及國家標準10余項,，開發(fā)出了多種規(guī)格的石英玻璃基板、晶圓,、透鏡等系列產(chǎn)品,，不僅逐步替代進口，而且出口歐洲,、日本等國,。