0 引言

　　SF6絕緣和滅弧性能優(yōu)良,，化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,，被廣泛應(yīng)用于高壓電氣設(shè)備中[1，2],，如：氣體絕緣金屬封閉開關(guān)設(shè)備(gas-insulated metal-enclosed switchgear,，GIS)、高壓變壓器,、斷路器等,。由于電力設(shè)備的制造和安裝差異、老化以及運(yùn)行維護(hù)過程中存在不當(dāng)操作,，可能導(dǎo)致SF6發(fā)生泄漏[3],。一方面，泄漏的SF6氣體在放電或高溫作用下會(huì)發(fā)生分解產(chǎn)生有毒氣體,，而且SF6密度比空氣大,，易造成低層空間缺氧從而使人窒息[4]。另一方面,，電力設(shè)備的SF6泄漏會(huì)導(dǎo)致其絕緣性能下降,，可能引發(fā)故障[5],。因此，為確保電力設(shè)備的可靠運(yùn)行,，保障現(xiàn)場工作人員的人身安全,，準(zhǔn)確檢測出SF6的泄漏濃度具有重要意義。目前,，常見的SF6氣體濃度檢測方法有紅外吸收法,、電化學(xué)傳感器法、氣相色譜法,、超聲檢測法等[6],。紅外吸收法雖然檢測精度很高，但其設(shè)備造價(jià)成本較高,；電化學(xué)傳感器法在使用過程中易受環(huán)境中某些物質(zhì)影響而中毒失效,，靈敏度亦會(huì)隨年限而降低；氣相色譜法價(jià)格高昂又受實(shí)驗(yàn)室條件的限制,，無法運(yùn)用于現(xiàn)場檢測,。相對(duì)而言，超聲法具有造價(jià)低廉,、設(shè)計(jì)簡單,、不易受電磁干擾影響、易于安裝等優(yōu)勢(shì),，適合運(yùn)用于電力系統(tǒng)的現(xiàn)場在線監(jiān)測[7],。

　　本文在前人的研究基礎(chǔ)上，結(jié)合不同頻率的超聲波在二元混合氣體傳播過程的相位變化特點(diǎn),，根據(jù)氣體狀態(tài)方程推算出相位角與待測氣體濃度之間的關(guān)系,。使用單通道超聲傳感器進(jìn)行檢測，通過改變頻率采用DFT測相位角法測得其相位差,，改善了單獨(dú)測時(shí)間精度不高和雙通道不能保證完全相同的嚴(yán)苛性問題,。設(shè)計(jì)并應(yīng)用更為精確的定標(biāo)容器對(duì)檢測濃度進(jìn)行標(biāo)定，實(shí)現(xiàn)SF6濃度的精確檢測,。

1 超聲法測氣體濃度原理

　　超聲波為一種彈性波,，在不同濃度氣體介質(zhì)中的傳播速度會(huì)發(fā)生變化[8]。對(duì)于二元混合氣體,，常溫常壓下可視為理想氣體,，超聲波在氣體中以高頻、小振幅振動(dòng)傳播,，該過程被視為絕熱過程[9],。根據(jù)理想氣體模型，其聲速可由氣體相對(duì)分子質(zhì)量,、溫度等參數(shù)表示,。對(duì)于單一成分氣體,，其聲速為：

　　式中，為氣體的定壓比熱與定容比熱的比值,；M為氣體的相對(duì)分子質(zhì)量,；R為摩爾氣體常數(shù)；T為溫度,。

　　對(duì)于二元混合氣體,，其平均聲速為：

　　式中，為二元混合氣體平均聲速,；為混合氣體的定壓定容比熱比,；為混合氣體的平均相對(duì)分子質(zhì)量。

　　設(shè),、分別為待測氣體和背景氣體,，,、分別為,、氣體的相對(duì)分子質(zhì)量。則有：

　　式中,，n為氣體的濃度,，1-n為氣體的濃度；分別為,、氣體的定容比熱容,；分別為、氣體的定壓比熱容,。

　　由式(2)～式(4)整理可得：

　　對(duì)式(4)解方程僅有單根,，可求得氣體的濃度：

　　為方便求解，求出方程中的系數(shù)A,、B,、D，引入?yún)⒘縔：

　　則求得濃度方程的3個(gè)系數(shù)分別為參量Y的表達(dá)式：

　　由上式推導(dǎo)可知,，參量Y可由混合氣體聲速和溫度T求得,，當(dāng)確定背景氣體及待測氣體時(shí)，其他參數(shù)均為易于獲取的常量,，溫度T亦可通過高精度溫度傳感器獲得,。因此，求得混合氣體聲速便可求得氣體的濃度n,。

　　綜合式(6)~式(10),，化簡可求得：

　　綜上所述，在溫度壓強(qiáng)相同條件下,，求待測氣體濃度n便可轉(zhuǎn)化為求混合氣體平均聲速的問題,。

2 基于測相位的氣體濃度檢測

　　2.1 相位差法測聲速

　　常用的聲速測量方法是檢測出超聲波的傳輸時(shí)間,，即固定超聲波通過氣體介質(zhì)的距離，發(fā)射超聲波的同時(shí)開始脈沖計(jì)數(shù),，直到檢測到回波信號(hào)的幅值超過一定閾值后停止計(jì)數(shù),，再與計(jì)數(shù)周期相乘便得到超聲傳播時(shí)間[10]，固定的傳播距離除以該時(shí)間即為聲速C,。但是由于超聲換能器收發(fā)頭振動(dòng),、噪聲干擾以及超聲波在氣體介質(zhì)中能量衰減特性，使得最終所測時(shí)間精度不高,。為解決此問題,，有學(xué)者提出采用雙腔式兩組超聲測量通道法進(jìn)行檢測[8]，分別檢測背景氣體和待測氣體超聲傳播參數(shù),，經(jīng)差分后間接測定氣體的濃度,。但是兩個(gè)通道的換能器特性、聲程,、溫度等條件需要保證嚴(yán)格相同,，因此難以實(shí)現(xiàn)。

　　本文采用單通道檢測,，通過檢測改變兩次發(fā)送脈沖驅(qū)動(dòng)的頻率而引起的相位差來計(jì)算出混合氣體中的超聲傳播速度,。該方法實(shí)現(xiàn)如下：分別采用兩個(gè)頻率差很小的脈沖驅(qū)動(dòng)信號(hào)f1、f2來驅(qū)動(dòng)發(fā)射傳感器,，經(jīng)過混合氣體的腔室后,。其聲程可表示為：

　　式中，t為超聲波傳播時(shí)間,；T1,、T2分別為兩驅(qū)動(dòng)信號(hào)的周期；n1,、n2分別為2個(gè)超聲波在固定通道中傳播的周期數(shù),；t1、t2分別為經(jīng)過整數(shù)周期后所余時(shí)間,；為混合氣體平均聲速,；設(shè)定(其中，)時(shí),，n2=n1或n2=n1+1,，因此求出t1、t2的差值即可,。

　　t1,、t2非常微小，難以直接通過脈沖計(jì)數(shù)獲得,。本文通過相位差法來測混合氣體中的聲速,，式(12),、式(13)變式可得，超聲傳播距離L與相位差的表達(dá)式如下：

　　式中,，分別為超聲接收傳感器產(chǎn)生的不同相位差,；分別為2個(gè)頻率下超聲波長。

　　由式(15),、式(16)可求得其相位差為：

　　由改變頻率法的兩束超聲波經(jīng)過混合氣體腔室后的產(chǎn)生相位差的過程如圖1所示,。

圖1  變頻法測相差示意圖

　　則超聲波在混合氣體中的波速為：

　　由此，聲速的測量便轉(zhuǎn)化為超聲波收發(fā)信號(hào)的相位差的檢測,。

　　2.2 DFT測相位

　　中心頻率為f0的輸入信號(hào)x(t),，以采樣頻率fs進(jìn)行采樣，得到深度為N的采樣序列x(n),，則x(n)的離散傅里葉變換為：

　　其中,，k=0，1,，…,，N-1。若X(k)最大譜線對(duì)應(yīng)的k記為m,，則式(19)可得基波頻率的相位為[11]：

　　兩列超聲回波信號(hào)經(jīng)過調(diào)理后,，由A/D分別采樣后進(jìn)入處理器,，處理器通過對(duì)采樣信號(hào)做DFT變換后測出該頻率下的相位,，最后計(jì)算出兩頻率下接收信號(hào)的相位差。

3 檢測系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)

　　本文所述的超聲檢測SF6氣體濃度系統(tǒng)結(jié)構(gòu)框圖如圖2所示,，主要包含超聲波信號(hào)的發(fā)射與接收,、溫度信號(hào)的采集、與上位機(jī)的通信以及數(shù)字相位計(jì)測相差,。由ARM順序發(fā)出2個(gè)頻率分別為f1,、f2的脈沖經(jīng)過發(fā)射電路驅(qū)動(dòng)發(fā)射換能器工作，經(jīng)過含有待測混合氣體的腔室后,，回波信號(hào)通過濾波放大處理,，由A/D分別采樣后進(jìn)入ARM，由數(shù)字相位計(jì)得到2個(gè)頻率超聲信號(hào)的相位差,，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)SF6濃度的測量,。

圖2  檢測系統(tǒng)結(jié)構(gòu)框圖

　　超聲發(fā)射電路是由超聲波驅(qū)動(dòng)電路和超聲波換能器（探頭）構(gòu)成，如圖3所示,。本文所選超聲換能器中心頻率約40 kHz,，發(fā)射驅(qū)動(dòng)電壓為10Vpp。ARM以41 kHz的頻率發(fā)出6-8個(gè)連續(xù)PWM脈沖波,，信號(hào)輸入至SP3232后通過其升壓,、電壓極性反轉(zhuǎn)特性,，在輸出端產(chǎn)生12Vpp電壓來驅(qū)動(dòng)超聲換能器工作。待接收端完成信號(hào)采集后,，用上述方法繼續(xù)發(fā)送6-8個(gè)40 kHz的連續(xù)PWM脈沖波驅(qū)動(dòng)換能器工作,，完成下一次檢測。

圖3  超聲發(fā)射電路

　　超聲波傳感器將超聲回波信號(hào)轉(zhuǎn)變成電脈沖信號(hào),，但是單片機(jī)無法直接采集該信號(hào),，因此需要進(jìn)行信號(hào)調(diào)理，其接收電路如圖4所示,。超聲波信號(hào)在傳播過程中會(huì)伴隨著能量的衰減,，接收到的信號(hào)也會(huì)引入雜波，因此在硬件設(shè)計(jì)中,，采用了兩級(jí)帶通濾波放大,，最后達(dá)到了峰-峰值為2 V、中心頻率在40 kHz附近的回波信號(hào),。兩列回波信號(hào)先后通過A/D模塊進(jìn)行采集進(jìn)入ARM處理器,。

圖4  接收電路

4 實(shí)驗(yàn)及結(jié)果分析

　　由于氣體濃度檢測受溫度、壓力等因素的影響較大,，氣體均勻混合所需要的時(shí)間也與氣體流量有關(guān),，特別是低濃度檢測時(shí)對(duì)標(biāo)準(zhǔn)氣體檢測要求更高，故自行構(gòu)建了氣體標(biāo)定裝置,。該氣體濃度標(biāo)定裝置如圖5所示,，裝置主要由真空主腔體、腔體蓋板,、過渡板,、真空穿通電極、溫度計(jì),、流量計(jì),、壓力表等構(gòu)成。腔體內(nèi)壁涂有聚四氟乙烯以減少氣體吸附,，超聲傳感器安裝在蓋板內(nèi)側(cè)的可拆卸過渡板上,，電源及信號(hào)通過真空穿通電極實(shí)現(xiàn)內(nèi)外傳輸。檢測前先將腔室抽真空,，而后緩慢充入一定濃度的標(biāo)準(zhǔn)氣體,，觀察氣體流量計(jì)示數(shù)以便調(diào)節(jié)進(jìn)氣流量大小，待腔室充滿后開始檢測,。重復(fù)上述過程,，改變充入的標(biāo)準(zhǔn)氣體濃度，并觀察各監(jiān)測儀表示數(shù)以保證每次實(shí)驗(yàn)環(huán)境及條件的一致性，經(jīng)過多次實(shí)驗(yàn)完成SF6濃度標(biāo)定工作,。

　　實(shí)驗(yàn)中,，真空腔室長度為0.4 m，溫度為25 ℃,，選取采樣頻率fs為1 MHz,，運(yùn)算過程中各參數(shù)為：實(shí)驗(yàn)過程中通入的SF6標(biāo)準(zhǔn)氣體濃度和超聲法檢測的SF6濃度實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)，如表1所示,。

　　由表1數(shù)據(jù)可知,，超聲法檢測的SF6濃度精度能達(dá)到水平，其平均相對(duì)誤差在5%以內(nèi),，滿足大部分使用要求,。

5 結(jié)束語

　　本文以檢測電氣設(shè)備中SF6泄漏為背景，采用超聲法對(duì)其進(jìn)行檢測,。首先結(jié)合二元混合氣體模型,，對(duì)微量氣體濃度理論計(jì)算公式進(jìn)行簡化，尋找出待測氣體濃度與聲速的相關(guān)性,。其次,，建立單通道超聲檢測模型，采用DFT數(shù)字相位計(jì)測相位差法求取聲速,，進(jìn)而得到待測氣體濃度,。最后，通過設(shè)計(jì)的超聲檢測系統(tǒng)對(duì)SF6標(biāo)準(zhǔn)氣體做檢測試驗(yàn),。為保證定標(biāo)檢測試驗(yàn)的可靠性與一致性,，本文構(gòu)建氣體標(biāo)定裝置，嚴(yán)格保證標(biāo)定時(shí)溫度,、流量,、壓力等因素相同。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明：由超聲技術(shù)檢測二元混合氣體濃度是可行的,，對(duì)SF6濃度檢測，精度可達(dá)到水平,，在電氣設(shè)備周圍的SF6濃度監(jiān)測應(yīng)用方面具有廣闊前景,。

　　參考文獻(xiàn)

　　[1] TANG J.Partial discharge recognition through an analysis of SF6 decomposition products part 1：decomposition characteristics of SF6 under four different partial discharges[J].IEEETransactions on Dielectrics and Electrical Insulation，2012.

　　[2] 王先培,，李晨,，趙宇，等．基于紫外光譜SF6電氣設(shè)備內(nèi)SO2組分在線監(jiān)測法[J]．高電壓技術(shù),，2015,，41(1)：152-158．

　　[3] 袁仕奇.高壓電氣設(shè)備SF6氣體泄漏檢測方法比較[J].南方電網(wǎng)技術(shù)，2013，7(2)：54-58.

　　[4] 陳長江,，陽小明,，李天倩，等.相對(duì)時(shí)差超聲法檢測微量SF6濃度及FPGA實(shí)現(xiàn)[J].西華大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版),，2014,，33：54-56.

　　[5] 王雷.高性能紅外SF6傳感器[J].儀表技術(shù)與傳感器，2013(1)：7-9.

　　[6] 蔡藝劇.一種新的微量氣體濃度檢測方法[J].化工自動(dòng)化及儀表,，2012,，39(4)：477-479，497.

　　[7] 朱昌平,，單鳴雷,，劉永富，等．基于CPLD的SF6微量氣體濃度檢測儀[J]．儀器儀表學(xué)報(bào),，2005,，26(s1)：448-449．

　　[8] 張曉花，朱昌平,，單鳴雷,，等．超聲寬量程微量氣體濃度檢測的仿真研究[J]．聲學(xué)技術(shù)，2008,，27(1)：40-43．

　　[9] 單鳴雷,，王月慶，朱昌平,，等.微量濃度二元混合氣體的超聲檢測研究[J].壓電與聲光,，2009(1)：129-131.

　　[10] 阮建富，張宏建.一種測量超聲波傳播時(shí)間的裝置[J]．自動(dòng)化儀表,，2006,，27(3)：35-38．

　　[11] 方漢方.基于FFT超聲波傳輸時(shí)間高精度測量的研究[D].成都：西華大學(xué)，2012.