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中國硅片月需100萬片 為何幾乎依靠進(jìn)口

2016-12-27

 硅片是生產(chǎn)集成電路的主要原材料。硅片尺寸越大則每片硅片上可以制造的芯片數(shù)量就越多,,從而制造成本就越低,。硅片尺寸的擴(kuò)大和芯片線寬的減小是集成電路行業(yè)技術(shù)進(jìn)步的兩條主線。現(xiàn)在12 寸硅片的出貨量占比超過60%,,是目前主流的硅片尺寸,。

 半導(dǎo)體硅片通常釆用查克洛斯法(CZ Method)將高純度的多晶硅錠拉成不同電阻率的硅單晶錠。硅片加工過程要經(jīng)過晶體定向→外園滾磨→加工主,、副參考面→切片→倒角→熱處理→研磨→化學(xué)腐蝕→拋光→清洗→檢測→包裝等工序,。

 根據(jù)硅純度的不同要求,可分為太陽能等級99.9999%,,6個(gè)“9”純度,,以及半導(dǎo)體等級11個(gè)“9”。本文只涉及半導(dǎo)體用的硅片,。

硅晶園

 在半導(dǎo)體制造業(yè)中廣泛使用各種不同尺寸與規(guī)格的硅片,,通常包括4英寸,、5英寸、6英寸,、8英寸及12英寸,,它們的基本規(guī)格如下表所示。

中國硅片月需100萬片 為何幾乎依靠進(jìn)口,?

來源:半導(dǎo)體制程技術(shù)導(dǎo)論;2001年肖宏P(guān)102

 按IC Insight資料,,2015年底全球半導(dǎo)體安裝產(chǎn)能總計(jì)月產(chǎn)1635.3萬片(8英寸計(jì)),。按地區(qū)分布,臺灣地區(qū)依月產(chǎn)354.7萬片,,市占率達(dá)21.7%,,居全球首位;韓國依月產(chǎn)335.7萬片,,市占率20.5%,,居第二;日本依月產(chǎn)282.4萬片,,市占率17.3%,,居第三;北美依月產(chǎn)232萬片,,市占率14.2%,,居第四;中國依月產(chǎn)159.1萬片,,市占率9.7%,,居第五位;歐洲依月產(chǎn)104.6萬片,,市占率6.4%,,居第六位;其它地區(qū)市占率10.2%,。

 由于缺乏統(tǒng)一定義,,硅片尺寸過渡的時(shí)間無法達(dá)成共識,其中有一種觀點(diǎn)認(rèn)為累積硅片的出貨量超過100萬片時(shí),,表示該進(jìn)入硅片尺寸時(shí)代,。實(shí)際上如英特爾等總是領(lǐng)先其它業(yè)者,首先進(jìn)入更大尺寸的硅片,。

  現(xiàn)據(jù)SEMI 2006年的說法,,將全球硅片尺寸的過渡時(shí)間表列于如下:4英寸硅片于1986年,;6英寸于1992年,;8英寸于1997年,;12英寸于2005年。但如果依英特爾的芯片生產(chǎn)線建設(shè)(見intel’s all fab list),,它的3英寸生產(chǎn)線是建于1972年的FAB2 ,;4英寸生產(chǎn)線是建于1973年的FAB4;6英寸生產(chǎn)線是建于1978年的FAB5,;8英寸生產(chǎn)線是建于1992年的FAB15,;第一條12英寸生產(chǎn)線建于2002年FAB12( in Hillsboro),與IBM同步,。

中國硅片月需100萬片 為何幾乎依靠進(jìn)口,?

  業(yè)界較為公認(rèn)的說法,,1980年代是4英寸硅片占主流,,1990年代是6英寸占主流,2000年代是8英寸占主流,,到2002年時(shí)英特爾與IBM首先建12英寸生產(chǎn)線,,到2005年己占20%,到2008年占30%,,而那時(shí)8英寸己下降至54%,,6英寸更下降至11%。

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 多晶硅的原材料是高純度的石英,目前已知的全世界儲量中,,中國量最多,、品質(zhì)最好,但是我國之前卻是將石英礦沙在高溫下還原成金屬硅后低價(jià)外銷,,再高價(jià)進(jìn)口多晶硅,,并且石英還原成金屬硅的階段是高度污染的。好在近些年光伏產(chǎn)業(yè)帶動了國內(nèi)多晶硅產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,,目前太陽能等級的多晶硅,,我國的產(chǎn)量已經(jīng)是全球第一。

 截止2014年,,全球300mm硅片實(shí)際出片量已占各種硅片出片量的65%左右,,平均約450萬片/月。2015年第1至第2季度每月平均需求量約500萬片,。

  現(xiàn)在300mm半導(dǎo)體級的硅片,,國內(nèi)一個(gè)月需求量約45-50萬片,而目前國內(nèi)的產(chǎn)量幾乎為零,這是產(chǎn)業(yè)鏈上最為緊缺的一環(huán),,預(yù)計(jì)未來的5年內(nèi)僅300mm硅片中國的需求量要超過月產(chǎn)100萬片以上,。而從硅片的市場供應(yīng),全球日本生產(chǎn)的最多,,日本信越和SUMCO,,這兩家的產(chǎn)能和實(shí)際供應(yīng)量總和占全球2/3以上。300mm半導(dǎo)體級的大硅片,,不僅是產(chǎn)業(yè)鏈缺失的重要一環(huán),,也是國家安全戰(zhàn)略發(fā)展的需要。

 在2012至2013年科技部的02專項(xiàng)中,,已有大硅片方面項(xiàng)目的經(jīng)費(fèi)準(zhǔn)備,,但遲遲不能立項(xiàng),原因就是雖然有國內(nèi)研發(fā)機(jī)構(gòu)曾經(jīng)做過12寸大硅片,,研發(fā)成功,,但由于良率不高還不能量產(chǎn)。

 2014年,,科技部02專項(xiàng)的領(lǐng)導(dǎo)下定決心要攻克12英寸硅片難關(guān),。要求是不僅研發(fā)成功,更要量產(chǎn)成功,。量產(chǎn)的概念不是幾千片,,是每個(gè)月10萬片以上交付客戶,連續(xù)6個(gè)月交付客戶10萬片以上,,才算完成項(xiàng)目,。

 全球硅晶園片2016年供應(yīng)商排名如下:日本信越半導(dǎo)體第一位,占比27%,;日本勝高科技(SUMCO)占比26%,,居第二;環(huán)球晶園占比17%,,排第三,;Siltronic占比13%,排第四,;LG占比9%,,排第五;SunEdison占比10%,;其它8%,。

中國硅片月需100萬片 為何幾乎依靠進(jìn)口?

2016全球硅晶片排名

 由國家立項(xiàng)的12英寸硅片項(xiàng)目己經(jīng)啟動,,叫上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司,,成立于2014年6月,坐落于臨港重裝備區(qū)內(nèi),,占地150畝,,總投資68億元,一期總投資23億元,。新昇半導(dǎo)體第一期目標(biāo)致力于在我國研究,、開發(fā)適用于40-28nm節(jié)點(diǎn)的300mm硅單晶生長,、硅片加工,、外延片制備、硅片分析檢測等硅片產(chǎn)業(yè)化成套量產(chǎn)工藝,;建設(shè)300毫米半導(dǎo)體硅片的生產(chǎn)基地,,實(shí)現(xiàn)300毫米半導(dǎo)體硅片的國產(chǎn)化,充分滿足我國極大規(guī)模集成電路產(chǎn)業(yè)對硅襯底基礎(chǔ)材料的迫切要求,。新昇半導(dǎo)體一期投入后,,預(yù)計(jì)月產(chǎn)能為15萬片12英寸和5萬片8英寸硅片,最終將形成300mm硅片60萬片/月的產(chǎn)能,,年產(chǎn)值達(dá)到60億元,。屆時(shí)新昇將與世界一流技術(shù)接軌,達(dá)到世界先進(jìn)水平,。

 全球硅片出貨量與銷售額:2007時(shí)為8661MSI(百萬平方英寸),,銷售額達(dá)121億美元;到2010年時(shí)為9043MSI,,銷售額為97億美元,,以及2015年為10434MSI,銷售額為72億美元,,反映全球的硅片出貨量增長緩慢,,而且銷售額逐年下降(價(jià)格下跌)。

450毫米硅片

 為了加速發(fā)展450mm(18英寸)晶園,,全球五大半導(dǎo)體業(yè)者IBM,、英特爾、三星電子,、臺積電和GlobalFoundries在2011年共同成立全球450mm聯(lián)盟,,簡稱G450C,并于美國紐約州Albany設(shè)立450mm晶園技術(shù)研發(fā)中心,。

 450mm聯(lián)盟成立后,,18寸晶園世代的技術(shù)和機(jī)臺設(shè)備有不少方針已開始確立,是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)邁入18寸晶園世代的重要里程碑,,目的是推動 450mm 硅片技術(shù)的發(fā)展,。

  實(shí)際上在2012年,除G450C 聯(lián)盟之外,還誕生了EEMI450 聯(lián)盟 ( 歐洲 ) 和 Metro450 聯(lián)盟 ( 以 色列 ) ,,共計(jì)三個(gè)聯(lián)盟來推動450毫米硅片的進(jìn)展,,目標(biāo)是可互用研究結(jié)果,減少重復(fù)性實(shí)驗(yàn),。

 除此之外,,半導(dǎo)體制造技術(shù)戰(zhàn)略聯(lián)盟 (SEMATECH) 和國際半導(dǎo)體設(shè)備與材料協(xié)會 (SEMI) 等也在推動全球產(chǎn)業(yè)鏈的合作研發(fā),因?yàn)楣杵睆降脑龃髮縿诱麄€(gè)產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)生很大的改變,。

 然而,,450毫米硅片的進(jìn)程自開始就有不同的看法,其中最為關(guān)鍵是半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商,,如應(yīng)用材料公司等缺乏積極性,,理由是450毫米設(shè)備不是簡單地把腔體的直徑放大,而是要從根本上對于設(shè)備進(jìn)行重新設(shè)計(jì),,因此面臨著經(jīng)費(fèi)與人力等問題,,更多的擔(dān)心是未來的市場,能否有足夠的投資回報(bào)率,。所以關(guān)于450毫米硅片的聲浪是此起彼伏,,盡管英特爾、三星及臺積電等大廠信心滿滿,,實(shí)際上是雷聲大雨點(diǎn)小,。

 自2014年開始G450C聯(lián)盟出現(xiàn)暫緩研發(fā)450mm硅片的跡象。盡管如臺積電等曾宣布將于2018至2019年期間會采用450毫米硅片,,然而依目前半導(dǎo)體業(yè)的態(tài)勢觀察,,現(xiàn)在還很難取得實(shí)質(zhì)性的進(jìn)展。

 采用450毫米硅片,,如同前幾次硅片增大直徑一樣,,關(guān)鍵在于從經(jīng)濟(jì)上看投入產(chǎn)出比高,產(chǎn)業(yè)鏈上廠商確實(shí)有利可圖,,包括芯片制造商及設(shè)備供應(yīng)商在內(nèi)都能受益,;另一個(gè)是需要有擴(kuò)大產(chǎn)能的迫切性,所以產(chǎn)業(yè)鏈在等待未來市場再次高潮的到來,。

 不管如何,,450毫米硅片對于全球半導(dǎo)體業(yè)仍是一個(gè)懸而未決的課題。

中國硅片月需100萬片 為何幾乎依靠進(jìn)口,?

來源:SEMI,數(shù)據(jù)僅為半導(dǎo)體,,太陽能硅片未計(jì)入


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