在近日于美國舉行的年度國際固態(tài)電路會議(ISSCC)上,三星(Samsung)與臺積電(TSMC)針對7奈米制程技術(shù),,分別提供了截然不同的觀點,;兩家公司都是介紹SRAM技術(shù)進展,而該技術(shù)通常都是新一代節(jié)點的關(guān)鍵推手,。
臺積電的論文描述了一款測試晶片,,能做為商用元件而且號稱擁有「健康的」良率;三星的論文則是敘述利用極紫外光(EUV)微影修復(fù)顯然是研發(fā)元件的經(jīng)驗,,并透露7奈米制程可能還需要等待幾年的時間,。兩家公司都想要成為提供先進制程晶圓代工服務(wù)的領(lǐng)導(dǎo)廠商,不過他們對于7奈米制程的策略卻大不相同,。
臺積電顯然是拿到了大部分的蘋果(Apple) iPhone處理器SoC生意,,這需要每年在制程技術(shù)上有一些進展;因此臺積電已經(jīng)開始為iPhone 7量產(chǎn)10奈米晶片,,并得在明年為iPhone 8量產(chǎn)7奈米晶片,。而沒了蘋果生意的三星,則可以在某種程度上的「名詞游戲」中喘口氣,;因此該公司會稍微延后7奈米的量產(chǎn)時程,,但以某種形式展現(xiàn)領(lǐng)導(dǎo)地位──就是EUV。
與英特爾(Intel)在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域各顯身手、激烈競爭的兩家公司都有了一些令人贊賞的進展,,不過相關(guān)技術(shù)細節(jié)非常稀少,;臺積電在ISSCC敘述了一款256Mbit的7奈米制程SRAM測試晶片,儲存單元區(qū)域達到0.027mm見方,,如該公司記憶體部門總監(jiān)Jonathan Chang在簡報中所言:「是今年試產(chǎn)出的最小SRAM,。」
臺積電的商用SRAM將于今年進行試產(chǎn)
(來源:ISSCC)
而產(chǎn)生的SRAM宏單元(macro)會是臺積電的16奈米制程版本之0.34倍,,采用了7層金屬層,,整體裸晶尺寸則是42mm見方;Chang的簡報中,,關(guān)鍵內(nèi)容是這顆SRAM幾乎已經(jīng)「全熟」,,他表示:「我們現(xiàn)在已經(jīng)能以非常非常健康的良率生產(chǎn)…與我們的設(shè)計目標(biāo)相符?!?/p>
三星的EUV進展
三星的進展則更偏向研究,,開發(fā)的部分比較少;該公司打造了8 Mbit測試SRAM,,只能看到未來商用7奈米制程的一小部分,。
三星提供了其7奈米SRAM (上)會比10奈米SRAM (下)小30%的概念影像
(來源:ISSCC)
該晶片就其本身而言并不是以EUV微影制作,三星開發(fā)了一種創(chuàng)新的維修(repair)制程,,在現(xiàn)有的步進機以及EUV設(shè)備上都測試過,,而并不令人驚訝的,EUV的效果比較好,;一般來說維修并不是制程,,因此這項成果對于三星正在進行的7奈米制程EUV微影技術(shù)開發(fā)情況,能透露的不多,。
產(chǎn)業(yè)專家們大多認(rèn)為,,EUV將能在2020年左右準(zhǔn)備好應(yīng)用于某些關(guān)鍵層的制造;三星在去年底表示,,將在7奈米制程采用EUV微影,,但并沒有透露其應(yīng)用的局限程度。
三星是否會在所謂的7奈米制程落后臺積電一年,、兩年甚至三年,?結(jié)果仍有待觀察。
三星可以在任何時候決定并根據(jù)現(xiàn)實情況定義其EUV使用策略,,而或許該公司屆時也會在行銷語言上說他們家的7奈米制程更先進,,因為用了EUV。