2017年5月23日，科技部會(huì)同北京市和上海市人民政府組織召開(kāi)了國(guó)家科技重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”（簡(jiǎn)稱集成電路專項(xiàng)）成果發(fā)布會(huì)。

參加發(fā)布會(huì)的有科技部重大專項(xiàng)辦公室主任陳傳宏,、北京市經(jīng)信委主任張伯旭、上海市科委總工程師傅國(guó)慶,、集成電路專項(xiàng)管理辦公室主任姜廣智、集成電路專項(xiàng)技術(shù)總師/中科院微電子所所長(zhǎng)葉甜春以及集成電路專項(xiàng)總體組專家朱煜,、張國(guó)銘,、于燮康、石瑛,、張衛(wèi),。

發(fā)布會(huì)由科技部重大專項(xiàng)辦公室主任陳傳宏主持，專項(xiàng)牽頭實(shí)施單位北京市經(jīng)信委主任張伯旭,、上海市科委總工程師傅國(guó)慶和專項(xiàng)技術(shù)總師葉甜春介紹了集成電路專項(xiàng)實(shí)施取得的攻關(guān)成果及應(yīng)用情況,。

此次發(fā)布的專項(xiàng)成果包括9年來(lái)已研發(fā)成功并進(jìn)入海內(nèi)外市場(chǎng)的30多種高端裝備和上百種關(guān)鍵材料產(chǎn)品，面向全球開(kāi)展服務(wù)的65至28納米產(chǎn)品工藝和高密度封裝集成技術(shù)成果,。

集成電路芯片是信息時(shí)代的核心基石,，集成電路制造技術(shù)代表著當(dāng)今世界微細(xì)制造的最高水平，集成電路產(chǎn)業(yè)已成為影響社會(huì),、經(jīng)濟(jì)和國(guó)防的安全保障與綜合競(jìng)爭(zhēng)力的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè),。

長(zhǎng)期以來(lái)，我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)一直受到西方在先進(jìn)制造裝備,、材料和工藝引進(jìn)等方面的種種限制,，高端芯片主要依賴進(jìn)口。我國(guó)集成電路產(chǎn)品連續(xù)多年進(jìn)口額超過(guò)2000億美元,，超過(guò)石油成為最大宗進(jìn)口產(chǎn)品,。

科技部重大專項(xiàng)辦公室主任陳傳宏介紹，為實(shí)現(xiàn)自主創(chuàng)新發(fā)展,，2008年國(guó)務(wù)院批準(zhǔn)實(shí)施集成電路專項(xiàng),，由北京市和上海市人民政府牽頭組織實(shí)施,，主攻裝備,、工藝和材料的自主創(chuàng)新。共有200多家企事業(yè)單位,、2萬(wàn)多名科學(xué)工作者參與技術(shù)攻關(guān),，集中在北京、上海,、江蘇,、沈陽(yáng)、深圳和武漢等6個(gè)產(chǎn)業(yè)聚集區(qū)，經(jīng)過(guò)9年攻關(guān),，從無(wú)到有填補(bǔ)空白,，由弱漸強(qiáng)走向世界，國(guó)家科技重大專項(xiàng)成功打造集成電路制造業(yè)創(chuàng)新體系,，引領(lǐng)和支撐我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)快速崛起,，輻射帶動(dòng)我國(guó)LED和光伏產(chǎn)業(yè)世界領(lǐng)先。

北京市經(jīng)信委主任張伯旭,，集成電路專項(xiàng)以培育真正可用產(chǎn)品,、做大做強(qiáng)企業(yè)為目標(biāo)，進(jìn)行了組織實(shí)施的機(jī)制體制創(chuàng)新,。首先,，“下游考核上游，整機(jī)考核部件,，應(yīng)用考核技術(shù),，市場(chǎng)考核產(chǎn)品”的考核制，保證了科研成果的實(shí)用性,，成就了一大批經(jīng)得起市場(chǎng)檢驗(yàn)的高端產(chǎn)品,。高端裝備和材料從無(wú)到有填補(bǔ)產(chǎn)業(yè)鏈空白，制造工藝與封裝集成由弱漸強(qiáng)走向世界參與國(guó)際競(jìng)爭(zhēng),，表明國(guó)家科技重大專項(xiàng)打造集成電路制造創(chuàng)新體系的階段性目標(biāo)已經(jīng)實(shí)現(xiàn),。在近幾年我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展中，重大專項(xiàng)發(fā)揮了顯著的創(chuàng)新引領(lǐng)和技術(shù)支撐作用,。其次,，采取產(chǎn)業(yè)鏈、創(chuàng)新鏈,、金融鏈有效協(xié)同的新模式,，專項(xiàng)與重點(diǎn)區(qū)域產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)劃協(xié)同布局，主動(dòng)引導(dǎo)地方和社會(huì)的產(chǎn)業(yè)投資跟進(jìn)支持,，有效推動(dòng)了專項(xiàng)成果產(chǎn)業(yè)化,，扶植企業(yè)做大做強(qiáng)，形成產(chǎn)業(yè)規(guī)模,，提高整體產(chǎn)業(yè)實(shí)力,。在專項(xiàng)支持下，一批龍頭企業(yè)進(jìn)入世界前列,，一批骨干企業(yè)開(kāi)始積極參與國(guó)際競(jìng)爭(zhēng),，專項(xiàng)支持的企業(yè)在資本市場(chǎng)備受青睞。

集成電路專項(xiàng)技術(shù)總師/中科院微電子所所長(zhǎng)葉甜春,，培育自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)體系是科技重大專項(xiàng)組織實(shí)施的重中之重,，集成電路專項(xiàng)已申請(qǐng)了2.3萬(wàn)余項(xiàng)國(guó)內(nèi)發(fā)明專利和2000多項(xiàng)國(guó)際發(fā)明專利，所形成的知識(shí)產(chǎn)權(quán)體系使國(guó)內(nèi)企業(yè)在國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)中的實(shí)力和地位發(fā)生了巨大變化，掌握了發(fā)展的主動(dòng)權(quán),，發(fā)展模式也從“引進(jìn)消化吸收再創(chuàng)新”轉(zhuǎn)變?yōu)椤白灾餮邪l(fā)為主加國(guó)際合作”的新模式,。在專項(xiàng)支持下，一批龍頭企業(yè)進(jìn)入世界前列,；一批骨干企業(yè)進(jìn)入國(guó)際市場(chǎng),；一批企業(yè)成功上市，備受青睞,。與此同時(shí),，國(guó)內(nèi)企業(yè)應(yīng)用專項(xiàng)成果研制出成套的LED和光伏制造裝備，使得我國(guó)LED和光伏等泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)綜合競(jìng)爭(zhēng)力大幅躍升,，產(chǎn)業(yè)規(guī)模和技術(shù)水平實(shí)現(xiàn)了國(guó)際領(lǐng)先,。

上海市科委總工程師傅國(guó)慶，面向2020年,，專項(xiàng)將圍繞傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)升級(jí)和戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)發(fā)展的需求組織攻關(guān),，推動(dòng)創(chuàng)新成果的規(guī)模化應(yīng)用,，培育具有國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力的產(chǎn)業(yè)集群,，為“創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)發(fā)展戰(zhàn)略”的實(shí)施提供科技支撐。葉甜春介紹說(shuō),，專項(xiàng)已經(jīng)在14納米裝備,、工藝、封裝,、材料等方面進(jìn)行了系統(tǒng)部署,，預(yù)計(jì)到2018年將全面進(jìn)入產(chǎn)業(yè)化?！笆濉边€將重點(diǎn)支持7-5納米工藝和三維存儲(chǔ)器等國(guó)際先進(jìn)技術(shù)的研發(fā),，支持中國(guó)企業(yè)在全球產(chǎn)業(yè)鏈中擁有核心競(jìng)爭(zhēng)力，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)自主發(fā)展,，形成特色優(yōu)勢(shì),。

自2008年實(shí)施以來(lái)，集成電路專項(xiàng)積極探索,，推動(dòng)構(gòu)建了市場(chǎng)經(jīng)濟(jì)下,，由政府引導(dǎo)，市場(chǎng)引導(dǎo),，企業(yè)主體,、產(chǎn)學(xué)研用協(xié)同的新型舉國(guó)創(chuàng)新體系,。集成電路專項(xiàng)注重通過(guò)市場(chǎng)機(jī)制來(lái)打通科技與經(jīng)濟(jì)的連接通道,，推動(dòng)建立以企業(yè)為主體，高校和科研院所大力協(xié)作，科技 ,、產(chǎn)業(yè),、金融與區(qū)域經(jīng)濟(jì)有效協(xié)同的新模式。

過(guò)去九年中,，02專項(xiàng)對(duì)中國(guó)集成電路裝備產(chǎn)業(yè)整體布局,，既有全面填空，又有重點(diǎn)突破,。在集成電路制造創(chuàng)新體系的引領(lǐng)帶動(dòng)下,，專項(xiàng)成績(jī)斐然，碩果累累：刻蝕機(jī)等關(guān)鍵裝備實(shí)現(xiàn)從無(wú)到有,，批量應(yīng)用在大生產(chǎn)線上,；成套工藝水平提升五代，55/40/28納米三代工藝完成研發(fā)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn),，22-14納米工藝研發(fā)取得突破,；后道封裝集成技術(shù)成果全面實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，引領(lǐng)全行業(yè)技術(shù)水平從低端跨入高端,，實(shí)現(xiàn)與世界同步,；拋光機(jī)和濺射靶材等上百種關(guān)鍵材料通過(guò)大生產(chǎn)線考核進(jìn)入批量銷售；自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)體系逐漸建立,，發(fā)展模式也從“引進(jìn)消化吸收再創(chuàng)新”轉(zhuǎn)變?yōu)椤白灾餮邪l(fā)研發(fā)為主加國(guó)際合作”的新模式,。

可喜的是，國(guó)內(nèi)企業(yè)應(yīng)用專項(xiàng)成果研制出了成套的LED和光伏制造裝備,，使得我國(guó)LED和光伏等泛半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)綜合競(jìng)爭(zhēng)力大幅躍升,，產(chǎn)業(yè)規(guī)模和技術(shù)水平實(shí)現(xiàn)了國(guó)際領(lǐng)先。