基于三星10nm制程工藝的驍龍835早已隨著三星S8,、小米6等一眾手機(jī)面世，而基于臺積電10nm制程工藝的聯(lián)發(fā)科Helio X30也和魅族Pro 7系列手機(jī)一起亮相了,。除此之外麒麟970及A11處理器將于今秋和消費(fèi)者見面,，各家產(chǎn)品雖有強(qiáng)有弱但手機(jī)芯片的10nm時(shí)代已經(jīng)展開，下一步就是向7nm推進(jìn),，工藝推動者無疑就是三星和臺積電這兩家已較勁了幾代制程的業(yè)者了,。下面就隨模擬電子小編一起來了解一下相關(guān)內(nèi)容吧,。

對于7nm制程工藝，三星和臺積電兩大晶圓代工領(lǐng)域巨頭都早已入手布局以便爭搶IC設(shè)計(jì)業(yè)者們的訂單,。其中三星原定于明年破土動工的韓國華城18號生產(chǎn)線動工時(shí)間已被提前到了今年11月,，以便在2019年能夠進(jìn)入7nm制程量產(chǎn)階段。值得注意的是三星華城18號生產(chǎn)線將會架設(shè)10多臺極紫外光(EUV)設(shè)備,。而根據(jù)早前的報(bào)道,，目前臺積電在7nm上已有12個(gè)產(chǎn)品設(shè)計(jì)定案，第一代7nm將在2018年實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)(一說為年前實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)),，第二代7nm則會在2019年實(shí)現(xiàn)量產(chǎn),，并導(dǎo)入極紫外光技術(shù)。

不論是三星還是臺積電在7nm上都將引入EUV設(shè)備,，而這種被視為延續(xù)摩爾定律的設(shè)備的研發(fā)正是因?yàn)橹瞥坦に囘M(jìn)入10nm后難度驟增,，193nm光刻技術(shù)不足以應(yīng)付7nm、5nm的需要,，所以寄希望于研發(fā)EUV光刻工藝來推動制程進(jìn)步,。

7nm制程的進(jìn)度在一定程度上也是被EUV設(shè)備所控制的，而EUV設(shè)備卻是被荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備廠商ASML所控制的,。據(jù)悉ASML是一家從事半導(dǎo)體設(shè)備設(shè)計(jì),、制造及銷售的企業(yè)，于1984年從飛利浦獨(dú)立出來,，在去年先后宣布收購漢微科及蔡司半導(dǎo)體24.9%股份,。這家壟斷了高端光刻機(jī)市場的廠商股東中有三家就是我們耳熟能詳?shù)挠⑻貭枴⑴_積電和三星,。而據(jù)其公布的2017第二季財(cái)報(bào)顯示,，公司該季營收凈額為21億歐元，毛利率為45%,。

EUV光刻機(jī)研發(fā)難度非常大因此單臺價(jià)格高昂至少要1億多歐元,，但這種價(jià)值連城的設(shè)備還不是有錢就能買到的，如受限于《瓦森納協(xié)定》,，大陸的廠商就買不到最高端的光刻機(jī)設(shè)備,。此外，由于EUV光刻機(jī)生產(chǎn)難度和成本都非常大,，導(dǎo)致稱霸了該領(lǐng)域的ASML年產(chǎn)量也只有12臺,。不過有報(bào)道稱，ASML正在提升生產(chǎn)效率,，或能在2018年將產(chǎn)能增加到24臺,，2019年達(dá)到40臺。

對于大力投入集成電路發(fā)展的大陸，ASML雖然不能出售最高端的設(shè)備,，但是也有其他的合作方式,。3月份時(shí)，與上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司簽署了戰(zhàn)略合作備忘錄;6月份時(shí),，宣布與上海集成電路研究開發(fā)中心合作,，將共同建立一個(gè)培訓(xùn)中心。而國內(nèi)對于高端光刻機(jī)設(shè)備的研究也十分重視,，由長春光機(jī)所牽頭承擔(dān)的國家科技重大專項(xiàng)02專項(xiàng)——“極紫外光刻關(guān)鍵技術(shù)研究”項(xiàng)目已于今年6月在評審專家組的一致同意下通過了項(xiàng)目驗(yàn)收,，這是我國極紫外光刻核心光學(xué)技術(shù)水平提升的重要一步。

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