or,、LG Siltron和Global Wafer三家的銷(xiāo)售額在7億~8億美元之間,其他公司的銷(xiāo)售額都在 3 億美元以下,。從這組數(shù)據(jù)可以看出整個(gè)行業(yè)的壟斷性之高。前六大廠的銷(xiāo)售份額達(dá)到92%,。
相較而言,,我國(guó)硅晶圓產(chǎn)業(yè)的差距仍然非常巨大。根據(jù)中國(guó)電子材料行業(yè)協(xié)會(huì)常務(wù)副秘書(shū)長(zhǎng)袁桐的介紹,,2016年國(guó)內(nèi)企業(yè)在4~6英寸硅片(含拋光片,、外延片)上的產(chǎn)量約為5200萬(wàn)片,基本可以滿足國(guó)內(nèi)4~6英寸的晶圓需求,。具備8英寸硅片和外延片生產(chǎn)能力的有浙江金瑞泓,、昆山中辰(臺(tái)灣環(huán)球晶圓子公司)、北京有研總院,、河北普興,、南京國(guó)盛、中國(guó)電科46所以及上海新傲,,合計(jì)月產(chǎn)能為23.3萬(wàn)片/月,。2016年國(guó)內(nèi)8英寸硅片產(chǎn)量(含拋光片和外延片)總計(jì)為120萬(wàn)片。目前國(guó)內(nèi)對(duì)8英寸硅片月需求量約80萬(wàn)片,,2020年開(kāi)始月需求約750萬(wàn)~800萬(wàn)片,。供需缺口極大。
至于12英寸硅晶圓片則一直依賴進(jìn)口,,目前國(guó)內(nèi)的總需求約為50萬(wàn)片/月,,預(yù)計(jì)到2018年后總需求為110萬(wàn)~130萬(wàn)片/月。而目前我國(guó)還不具備12英寸硅片的生產(chǎn)能力,。對(duì)此,,袁桐進(jìn)一步指出:“2016年集成電路主要材料行業(yè)中低端產(chǎn)品嚴(yán)重過(guò)剩的局面得到改善,中,、高端產(chǎn)品開(kāi)始涌現(xiàn),。然而,如何促進(jìn)高端產(chǎn)品的量產(chǎn),,提升產(chǎn)品的質(zhì)量穩(wěn)定性和批次的一致性是行業(yè)共同面臨的問(wèn)題,。集中行業(yè)力量攻克12英寸硅片技術(shù)難題,,實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化迫在眉睫?!?/p>
推進(jìn)產(chǎn)業(yè)鏈的整體協(xié)同發(fā)展
“我國(guó)12英寸硅晶圓一直依賴進(jìn)口的主要原因在于目前國(guó)內(nèi)還沒(méi)有掌握大規(guī)模量產(chǎn)IC集成電路用的高純大硅片技術(shù),。而制造高純大硅片的技術(shù)障礙主要是硅的純度和大尺寸硅片的良率問(wèn)題。對(duì)于先進(jìn)工藝的半導(dǎo)體單晶硅片,,純度需要達(dá)到11個(gè)9以上(即99.999999999%),,目前國(guó)內(nèi)還無(wú)法實(shí)現(xiàn) ,同時(shí)大尺寸硅片對(duì)倒角,、精密磨削等加工工藝要求很高,,國(guó)內(nèi)還沒(méi)有掌握高良率的技術(shù)能力?!痹└嬖V記者,。
因此,發(fā)展硅晶產(chǎn)業(yè)應(yīng)從上游抓起,,從電子級(jí)多晶硅材料著手,,實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的高純度,然后依次推動(dòng)硅晶材料,、拉晶,、切片、清洗,、拋光等產(chǎn)業(yè)鏈的協(xié)同發(fā)展,。資料顯示,目前國(guó)內(nèi)從事電子級(jí)多晶硅材料研發(fā)生產(chǎn)的企業(yè)有4~5家,,主要有青海黃河上游電子級(jí)多晶水電開(kāi)發(fā)有限公司新能源公司,、云南冶金云芯硅材股份有限公司、江蘇鑫華半導(dǎo)體材料科技有限公司,、洛陽(yáng)中硅高新科技有限公司等,。黃河水電和云芯硅材分別有2200噸的產(chǎn)量和200多噸的產(chǎn)量。目前進(jìn)入硅材料認(rèn)證和試用的僅黃河水電和云芯硅材兩家企業(yè),,但電子級(jí)產(chǎn)品品質(zhì)還未完全達(dá)到國(guó)際高端產(chǎn)品水平,,產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定性還需進(jìn)一步提升,電子級(jí)多晶硅成本還有待于進(jìn)一步下降,。
不過(guò),,根據(jù)云南冶金云芯硅材股份有限公司董事長(zhǎng)白榮林的介紹,目前電子級(jí)多晶硅國(guó)產(chǎn)化正面臨難得的發(fā)展機(jī)遇,。“目前,,我國(guó)集成電路用硅材料需求不斷擴(kuò)大,,國(guó)內(nèi)在建或計(jì)劃開(kāi)工的6英寸~12英寸的晶圓生產(chǎn)線達(dá)44條,,全部投產(chǎn)后國(guó)內(nèi)電子級(jí)多晶硅年需求量將增至6000噸左右。這為產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供了市場(chǎng)基礎(chǔ),。近十余年來(lái),,通過(guò)對(duì)國(guó)外技術(shù)的引進(jìn)、消化,、吸收,、集成再創(chuàng)新,我國(guó)企業(yè)也形成了成熟的氫化,、精餾,、還原、尾氣回收等自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的技術(shù),,培養(yǎng)了大批專業(yè)人才,,還原爐、氫化爐,、直拉爐等多晶硅生產(chǎn)關(guān)鍵設(shè)備已實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化,。這些都為提升電子級(jí)多晶硅的質(zhì)量和降低制造成本打下了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。目前,,云芯硅材產(chǎn)品滿足3英寸至6英寸硅片的要求,,性能達(dá)到國(guó)外進(jìn)口原料水平,已實(shí)現(xiàn)連續(xù)穩(wěn)定供貨,,8英寸至12英寸硅片正在試用中,。”白榮林表示,。
而隨著電子級(jí)多晶硅的國(guó)產(chǎn)化逐步取得突破,,我國(guó)在大硅片領(lǐng)域也在取得進(jìn)步。有消息稱,,上海新昇半導(dǎo)體預(yù)計(jì)2017年年底將完成第一期產(chǎn)品投產(chǎn),,計(jì)劃月產(chǎn)12英寸硅片15萬(wàn)片,到2020年第二期產(chǎn)品投產(chǎn),,計(jì)劃月產(chǎn)30萬(wàn)片,。
我國(guó)硅晶圓產(chǎn)業(yè)正在整體推進(jìn)當(dāng)中,要想取得突破性的進(jìn)展,,需要產(chǎn)業(yè)鏈的整體協(xié)同推進(jìn),。