2017年半導(dǎo)體行業(yè)成長了20%,，而半導(dǎo)體設(shè)備成長了27%，比業(yè)界成長的還要高,。這主要有兩方面原因：一方面主要由物聯(lián)網(wǎng),、人工智能、自動(dòng)駕駛,、5G,、VR/AR等新應(yīng)用推動(dòng);另一方面，中國正在大力發(fā)展投資半導(dǎo)體晶圓廠,。2018年,，芯片制造商將從16nm / 14nm向10nm / 7nm的邏輯節(jié)點(diǎn)進(jìn)行遷移，半導(dǎo)體市場形勢一片大好，半導(dǎo)體設(shè)備廠商們正摩拳擦掌準(zhǔn)備,。
在本次SEMICON China展上,，KLA-Tencor客戶成功資深副總裁暨市場營銷長 Oreste Donzella為我們分享了半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展趨勢, 以及KLA-Tencor如何通過工藝制程控制提升良率，幫助中國在半導(dǎo)體行業(yè)獲得成功,。
KLA-Tencor客戶成功資深副總裁暨市場營銷長Oreste Donzella
“我第一次來中國是2000年,，那個(gè)時(shí)候中國剛開始建設(shè)中芯國際，當(dāng)初的中芯國際,，華虹,、華力，沒有什么大的半導(dǎo)體代工廠,。到2008年,，已經(jīng)可以看到在沿海，一直到成都,、武漢,、北京，有個(gè)別的半導(dǎo)體廠開始上量規(guī)模了,。到了2018年,，從東北到深圳，從上海到重慶,、成都,，中國新的半導(dǎo)體計(jì)劃、項(xiàng)目,，真的是遍地開花,。”KLA-Tencor市場營銷長暨資深副總裁Oreste Donzella說道,。
事實(shí)上,，先進(jìn)的制程是不斷演進(jìn)而來，從G-line到I-line,，從干式到浸潤式,，到最近的EUV。對于邏輯器件,、存儲(chǔ)器件等主流IC行業(yè),，可以利用不同技術(shù)實(shí)現(xiàn)10nm以下工藝的光刻機(jī)企業(yè)有三家：荷蘭ASML–EUV(極紫外光)光刻;日本尼康–浸沒式DUV(深紫外光)光刻;日本佳能–納米壓印光刻(NIL)。臺(tái)積電目前正在臺(tái)南科技園進(jìn)行5nm晶圓廠的建設(shè),，三星計(jì)劃建造一個(gè)EUV生產(chǎn)線2019年運(yùn)行,。而在中國，中芯國際的28nm準(zhǔn)備大量生產(chǎn)中,，另外, 14納米的邏輯研發(fā)也正在如火如荼的進(jìn)行 ,。
"一個(gè)最新300MM的Fab工廠建造要花一百億美金，按照正常的折舊,，一天就要耗費(fèi)四百萬美金,，這個(gè)折價(jià)的壓力非常非常大，怎么樣能夠把新的產(chǎn)品盡快推向市場?市場流行的趨勢也非?？?，晚一天進(jìn)入市場，實(shí)際上等于能夠賣的價(jià)錢就會(huì)一直下降,。這就是為什么在大量生產(chǎn)之前,，良率非常重要。"Oreste Donzella表示,。
制程控制到底有什么用?
在采訪上,，Oreste Donzella為我們簡單的分享一下。其實(shí)制程控制可以分成兩大部分,，一個(gè)是檢測,，一個(gè)是量測。檢測就是把在制程上發(fā)生地任何缺陷找出來;量測,，就是確定在量測上面,，所有的步驟可以符合設(shè)計(jì)的標(biāo)準(zhǔn)?！發(fā)ight is life”,，在檢測上面，有沒有足夠的光子到晶圓表面,，并且能夠被傳感器收到,，這就決定了檢測、量測的精度和準(zhǔn)度是不是正確的,。
制程控制可以分為3個(gè)步驟：在研發(fā)期,，芯片的光刻幾乎一千步當(dāng)中，三五百步都需要做檢測,、量測;到產(chǎn)品ramp量產(chǎn)期,，我們知道產(chǎn)品的問題基本出在哪里了，主要在這些地方檢測,、量測;最后到大量生產(chǎn)期,，我們已經(jīng)把問題在研發(fā)和ramp量產(chǎn)階段解決調(diào)后，就可以稍微調(diào)整制程控制的策略,。
“在任何一個(gè)時(shí)間點(diǎn),，比如說這個(gè)新產(chǎn)品研發(fā)6個(gè)月以后，原本客戶只計(jì)劃他可以達(dá)到30%的良率,，但是如果借助制程控制,，借助KLA—Tencor的幫助,，可以大幅提升其良率。1%的良率提升,，可以帶來千萬美金的營收,，KLA—Tencor可以幫助客戶要么在良率上提高很多，要么在制程進(jìn)步上面,，時(shí)間能夠提早很多,，更早進(jìn)入市場?！監(jiān)reste Donzella解釋道,。
寫在最后
作為制程控制的專家，KLA-Tencor對中國區(qū)的成長,，投注了大量的精力跟資源,。事實(shí)上，除了先進(jìn)制程,，目前市場上,，對200MM晶圓的需求，比300MM還渴求,。尤其對于中國市場來說,，很多200MM制程控制的設(shè)備，都是十年,、十五年前生產(chǎn)的,。今天，KLA-Tencor重新花了很多研發(fā)的投資,，能夠讓這些200MM的設(shè)備,，能夠符合今天