《電子技術(shù)應(yīng)用》
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由第三代半導(dǎo)體電力電子技術(shù)路線圖引發(fā)的思考

2018-08-10

7月31日,,國內(nèi)首個《第三代半導(dǎo)體電力電子技術(shù)路線圖》正式發(fā)布,。該路線圖是由第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟組織國內(nèi)外眾多大學(xué),、科研院所,、優(yōu)勢企業(yè)的知名院士,、學(xué)者和專家,,歷時1年多共同編寫而成,。


據(jù)悉,,《第三代半導(dǎo)體電力電子技術(shù)路線圖》圍繞電力電子方向,,主要從襯底/外延/器件,、封裝/模塊,、SiC應(yīng)用、GaN應(yīng)用等四個方面展開論述,,提出了中國發(fā)展第三代半導(dǎo)體電力電子技術(shù)的路徑建議和對未來產(chǎn)業(yè)發(fā)展的預(yù)測,。


半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)進(jìn)入第三個階段


半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展至今經(jīng)歷了三個階段,第一代半導(dǎo)體材料以硅(Si)為代表,,以砷化鎵(GaAs)為代表的第二代半導(dǎo)體材料和以氮化鎵(GaN),、碳化硅(SiC)、氧化鋅(ZnO)等寬禁帶為代表的第三代半導(dǎo)體材料,。相較前兩代產(chǎn)品,,第三代半導(dǎo)體的性能優(yōu)勢非常顯著且受到業(yè)內(nèi)廣泛好評。


以GaN,、SiC為代表的第三代半導(dǎo)體材料最大的優(yōu)點在于能夠適應(yīng)高壓,,高頻和高溫的極端環(huán)境,性能大幅提升,。由于SiC和GaN的禁帶寬度遠(yuǎn)大于Si和GaAs,,相應(yīng)的本征載流子濃度小于Si和GaAs,寬禁帶半導(dǎo)體的最高工作溫度要高于第一,、第二代半導(dǎo)體材料,。擊穿場強(qiáng)和飽和熱導(dǎo)率也遠(yuǎn)大于Si和GaAs。因此,,它們是5G時代基站建設(shè)的理想材料,。


電力電子應(yīng)用


當(dāng)今,許多公司都在研發(fā)SiC MOSFET,,領(lǐng)先企業(yè)包括美國科銳(Cree)旗下的Wolfspeed,、德國的SiCrystal、日本的羅姆(ROHM),、新日鐵等,。而進(jìn)入GaN市場中的玩家較少,起步也較晚,。


SiC的電力電子器件市場在2016年正式形成,,市場規(guī)模約在2.1億~2.4億美金之間,。而據(jù)Yole最新預(yù)測,SiC市場規(guī)模在2021年將上漲到5.5億美金,,這期間的復(fù)合年均增長率預(yù)計將達(dá)19%,。


全球已有超過30家公司在電力電子領(lǐng)域擁有SiC、GaN相關(guān)產(chǎn)品的生產(chǎn),、設(shè)計,、制造和銷售能力。2016年SiC無論在襯底材料,、器件還是在應(yīng)用方面,,均有很大進(jìn)展,已經(jīng)開發(fā)出耐壓水平超過20KV的IGBT樣片,。


各國的發(fā)展策略


美,、日、歐等國都在積極進(jìn)行第三代半導(dǎo)體材料的戰(zhàn)略部署,,其中的重點是SiC,。作為電力電子器件,SiC在低壓領(lǐng)域如高端的白色家電,、電動汽車等由于成本因素,,逐漸失去了競爭力。但在高壓領(lǐng)域,,如高速列車,、風(fēng)力發(fā)電以及智能電網(wǎng)等,SiC具有不可替代性的優(yōu)勢,。


美國等發(fā)達(dá)國家為了搶占第三代半導(dǎo)體技術(shù)的戰(zhàn)略制高點,,通過國家級創(chuàng)新中心、協(xié)同創(chuàng)新中心,、聯(lián)合研發(fā)等形式,,將企業(yè)、高校,、研究機(jī)構(gòu)及相關(guān)政府部門等有機(jī)地聯(lián)合在一起,實現(xiàn)第三代半導(dǎo)體技術(shù)的加速進(jìn)步,,引領(lǐng),、加速并搶占全球第三代半導(dǎo)體市場。


例如,,美國國家宇航局(NASA),、國防部先進(jìn)研究計劃署(DARPA)等機(jī)構(gòu)通過研發(fā)資助、購買訂單等方式,,開展SiC,、GaN研發(fā),、生產(chǎn)與器件研制;韓國方面,,在政府相關(guān)機(jī)構(gòu)主導(dǎo)下,,重點圍繞高純SiC粉末制備、高純SiC多晶陶瓷,、高質(zhì)量SiC單晶生長,、高質(zhì)量SiC外延材料生長這4個方面,開展研發(fā)項目,。在功率器件方面,,韓國還啟動了功率電子的國家項目,重點圍繞Si基GaN和SiC,。


發(fā)達(dá)國家第三代半導(dǎo)體材料政策如下圖所示:

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資料來源:CASA整理


可見,,全球SiC產(chǎn)業(yè)格局呈現(xiàn)美國、歐洲,、日本三足鼎立態(tài)勢,。其中美國全球獨大,居于領(lǐng)導(dǎo)地位,,占有全球SiC產(chǎn)量的70%~80%,;歐洲擁有完整的SiC襯底、外延,、器件以及應(yīng)用產(chǎn)業(yè)鏈,,在全球電力電子市場擁有強(qiáng)大的話語權(quán);日本則是設(shè)備和模塊開發(fā)方面的絕對領(lǐng)先者,。


中國由于在LED方面已經(jīng)接近國際先進(jìn)水平,,為第三代半導(dǎo)體在其它方面的技術(shù)研發(fā)和產(chǎn)業(yè)應(yīng)用打下了一定的基礎(chǔ)。


中國發(fā)展?fàn)顩r


中國開展SiC,、GaN材料和器件方面的研究工作比較晚,,與國外相比水平較低,阻礙國內(nèi)第三代半導(dǎo)體研究進(jìn)展的重要因素是原始創(chuàng)新問題,。國內(nèi)新材料領(lǐng)域的科研院所和相關(guān)生產(chǎn)企業(yè)大都急功近利,,難以容忍長期“只投入,不產(chǎn)出”的現(xiàn)狀,。因此,,以第三代半導(dǎo)體材料為代表的新材料原始創(chuàng)新舉步維艱。


雖然落后,,我國也在積極推進(jìn),,國家和各地方政府陸續(xù)推出政策和產(chǎn)業(yè)扶持基金發(fā)展第三代半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)業(yè):地方政策在2016年大量出臺,福建,、廣東,、江蘇,、北京、青海等27個地區(qū)出臺第三代半導(dǎo)體相關(guān)政策(不包括LED)近30條,。一方面,,多地均將第三代半導(dǎo)體寫入“十三五”相關(guān)規(guī)劃,另一方面,,不少地方政府有針對性對當(dāng)?shù)鼐哂幸欢▋?yōu)勢的SiC和GaN材料企業(yè)進(jìn)行扶持,。


據(jù)CASA統(tǒng)計,2017年我國第三代半導(dǎo)體整體產(chǎn)值約為6578 億(包括照明),,同比增長 25.83%,。其中電力電子產(chǎn)值規(guī)模接近 10 億元,較上年增長10倍以上,。


此次發(fā)布的國內(nèi)首個《第三代半導(dǎo)體電力電子技術(shù)路線圖》的機(jī)構(gòu)是第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟,,該聯(lián)盟雖然是由相關(guān)科研機(jī)構(gòu)、大專院校,,龍頭企業(yè)自愿發(fā)起的民間產(chǎn)業(yè)機(jī)構(gòu),,但是,其實背后是國家科技部,,工信部以及北京市科委鼎力支持下成立的,,其發(fā)布的路線圖在一定程度上代表了國家對于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展方向的指引。


從聯(lián)盟的成員來看,,也對國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展起著舉足輕重的作用,,理事會提名中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、北京大學(xué),、南京大學(xué),、西安電子科技大學(xué)、三安光電股份有限公司,、國網(wǎng)智能電網(wǎng)研究院,、中興通訊股份有限公司、蘇州能訊高能半導(dǎo)體有限公司,、山東天岳先進(jìn)材料科技有限公司等創(chuàng)新鏈條上的重要機(jī)構(gòu)作為副理事長單位,。


國內(nèi)企業(yè)方面,在LED芯片領(lǐng)域已有深厚積累的三安光電,,在第三代半導(dǎo)體材料的研發(fā)投入達(dá)到了330億元,。


除三安光電外,揚杰科技,、國民技術(shù)、海特高新等多家上市公司均開始布局第三代半導(dǎo)體業(yè)務(wù),。


揚杰科技曾向投資者透露,,其SiC芯片技術(shù)已達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先水平,。海特高新通過其子公司海威華芯開始建設(shè)6英寸的第二代/第三代集成電路芯片生產(chǎn)線。中車時代電氣(中國中車子公司)在高功率SiC器件方面處于國內(nèi)領(lǐng)先,。國民技術(shù)也開始布局這個領(lǐng)域,,其全資子公司深圳前海國民公司與成都邛崍市人民政府簽訂了《化合物半導(dǎo)體生態(tài)產(chǎn)業(yè)園項目投資協(xié)議書》,研發(fā)第三代半導(dǎo)體外延片,。


此外,,華潤華晶微電子和華虹宏力也是發(fā)展第三代半導(dǎo)體材料的代表企業(yè)。


大家知道,,仙童半導(dǎo)體已經(jīng)被安森美收購,。而其在2016年1月5日宣布,將考慮華潤微電子與華創(chuàng)投資的修訂方案,。在新方案中,,中國資本愿以每股21.70美元的現(xiàn)金收購仙童,這一價格遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于安森美提出的每股20美元,。


遺憾的是,,由于美國政府對中國企業(yè)并購的限制,中國人的高價橄欖枝并沒有獲得通行證,,仙童還是選擇了同在美國的安森美,,讓后者躍居全球功率半導(dǎo)體二當(dāng)家。


曾經(jīng)距離收購仙童半導(dǎo)體那么近,,從中可以看出華潤微電子在布局先進(jìn)功率器件方面的決心和力度,。華潤華晶微電子是華潤微電子旗下從事半導(dǎo)體分立器件的高新技術(shù)企業(yè),在國內(nèi),,其功率器件的規(guī)模和品牌具有一定優(yōu)勢,。該公司實現(xiàn)了先進(jìn)的FS工藝,在該基礎(chǔ)上開發(fā)了平面和溝槽產(chǎn)品,,具有低損耗,,低成本的優(yōu)勢。


結(jié)語


全球都在加碼第三代半導(dǎo)體技術(shù)和材料的研發(fā)工作,,中國自然也不甘落后,。此次,《第三代半導(dǎo)體電力電子技術(shù)路線圖》的發(fā)布,,可以幫助行業(yè)和企業(yè)把握技術(shù)研發(fā)和新產(chǎn)品推出的最佳時間,,幫助政府更好明確技術(shù)研發(fā)戰(zhàn)略、重點任務(wù),、發(fā)展方向和未來市場,,集中有限優(yōu)勢資源為產(chǎn)學(xué)研的結(jié)合構(gòu)建平臺,能使利益相關(guān)方在技術(shù)活動中步調(diào)一致,,減少科研盲目性和重復(fù)性,,將市場,、技術(shù)和產(chǎn)品有機(jī)結(jié)合。


據(jù)悉,,繼電力電子路線圖之后,,第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新戰(zhàn)略聯(lián)盟還將陸續(xù)組織光電、微波射頻等其他應(yīng)用領(lǐng)域的技術(shù)路線圖,。


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