近日,，中科院研制的“超分辨光刻裝備”通過驗收,。消息傳著傳著，就成了謠言——《國產光刻機偉大突破,，國產芯片白菜化在即》《突破荷蘭技術封鎖,，彎道超車》《厲害了我的國，新式光刻機將打破“芯片荒”》……筆者幫您們捋一捋,！

關于光刻機,，這些知識您得知道

光刻機不光是制造芯片用。一張平面（不論硅片還是什么材料）想刻出繁復的圖案,，都可以用光刻——就像照相,，圖像投在感光底片上，蝕掉一部分,。半個多世紀前,，美國人用這個原理“印刷”電路，從而有了大規(guī)模集成電路——芯片,。為了節(jié)能和省硅料,，芯片越做越小，逼得光刻機越做越極端,。線條細到一定程度,，投影就模糊了。要清晰投影,，線條粗細不能低于光波長的一半。頂尖光刻機用波長13.5納米的極紫外光源,，好刻10納米以下的線條,。但穩(wěn)定的、大功率的極紫外光源很難造,，一個得3000萬元人民幣,。要求工作環(huán)境嚴苛，配合的光學和機械部件又極端精密,，所以荷蘭的ASML公司獨家壟斷極紫外光刻機,，創(chuàng)造了“一臺賣一億美金”的神話。

一般的光刻工藝要經歷硅片表面清洗烘干,、涂底,、旋涂光刻膠、軟烘,、對準曝光,、后烘,、顯影、硬烘,、刻蝕等工序,。光刻機，可以說是我國目前還需要進行大力研發(fā)的核心科技之一,。由于光刻機涉及到的工藝過于復雜和高端,，雖然我國一直在做出努力，但依然是很難與世界上的一流企業(yè)相比肩,。光刻機可以說得上是世界上最難以掌握的現(xiàn)代工業(yè)之一了,，所以光刻機也被稱為現(xiàn)代光學工業(yè)之花。

光刻機到底是什么首先我們來看看什么是光刻機,。光刻機主要用于芯片的生產,，芯片在現(xiàn)代人生活中的作用恐怕沒有人不會不知道的。手機,、電腦等等的電子設備,，離開了芯片就是一堆破銅爛鐵，所以沒有了光刻機,，就制造不出芯片,，沒有芯片，也就沒有手機和電腦,。

光刻機的制造難度高

在全世界范圍內,，能夠做出光刻機的公司只有少數(shù)幾家。而且,，目前來說,，全世界能生產出最先進的光刻機的企業(yè)只有一家——ASML。光刻機所屬的半導體加工業(yè),，目前基本屬于荷蘭和日本所壟斷,。荷蘭有ASML，日本則有尼康,，這兩家都是生產光刻機的公司,。但是。ASML在光刻機的市場份額上占據(jù)了八成之多,，這是日本尼康公司所不能比擬的,。

那么，為什么說ASML是世界上最賺錢的公司呢,？首先,，ASML公司總市值達到了將近900億美元，在全球的半導體設備商中排名第一。ASML公司一共擁有員工一萬六千多人,，其中有研發(fā)人員六千人以上,，也就是這一萬六千多人，研發(fā)出了世界上生產性能最穩(wěn)定的最高精度的光刻機,。

這種最頂尖的光刻機,，只屬于ASML，其它企業(yè)根本沒有辦法做出來?，F(xiàn)在世界上最頂尖的光刻機是EUV光刻機,，也就是極紫外線光刻機。這種光刻機,，屬于ASML公司獨家壟斷,，所以這一家荷蘭公司將每一臺光刻機都賣到了一億美元以上。但就算ASML公司將每一臺光刻機都打出了天價,，但其產能還是會在生產之前就被預定一空,。其中，向ASML購買光刻機的公司包括英特爾,、三星和臺積電等等的國際芯片大廠,。

國產光刻機品牌

位于我國上海的SMEE已研制出具有自主知識產權的投影式中端光刻機，形成產品系列初步實現(xiàn)海內外銷售,。正在進行其他各系列產品的研發(fā)制作工作,。生產線和研發(fā)用的低端光刻機為接近、接觸式光刻機,，分辨率通常在數(shù)微米以上,。主要有德國SUSS、美國MYCRO NXQ4006,、以及中國品牌,。

在2018年的第一季度，ASML的營業(yè)額大幅上漲,，雖然說這都是通過出售DUV光刻機的結果,，最新的EUV光刻機還沒有生產制造完成，目前只制造完成了三臺,。但是，ASML還是計劃在2018年生產二十臺EUV,，2019年則生產三十臺EUV,。在今年，中國的芯片加工企業(yè)——中芯國際也向ASML首次訂購了最先進的EUV光刻機,，這臺光刻機的售價就高達1.2億美元,，換算之后相當于七億人民幣。雖然我國在光刻機的研發(fā)方面與國際水平存在不小的差距，但相信這一次對于EUV光刻機的購買,，有助于推動中國半導體方面的研發(fā)進程,，中國在芯片行業(yè)也會扮演一個越來越重要的角色。