前些天，我國本土半導(dǎo)體設(shè)備傳來好消息,，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司自主研制的5nm等離子體刻蝕機(jī)經(jīng)臺積電驗(yàn)證,，性能優(yōu)良，將用于全球首條5nm制程生產(chǎn)線,?？涛g機(jī)是芯片制造的關(guān)鍵裝備之一，中微突破關(guān)鍵核心技術(shù),，讓“中國制造”躋身刻蝕機(jī)國際第一梯隊(duì),。

近年來，我國大陸半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)一直在努力追趕國際先進(jìn)腳步,。在多種設(shè)備領(lǐng)域有一定突破,，除了上述中微半導(dǎo)體的5nm等離子體刻蝕機(jī)之外，有越來越多的產(chǎn)品可應(yīng)用于14nm,、7nm制程,。

但是，國內(nèi)設(shè)備與國外先進(jìn)設(shè)備相比仍有較大差距,，主要表現(xiàn)在兩方面：一是有一定競爭力的產(chǎn)品在領(lǐng)先制程上的差距,；二是部分產(chǎn)品完全沒有競爭能力或尚未布局，比如國內(nèi)光刻機(jī)落后許多代際,，僅能達(dá)到90nm的光刻要求,，國內(nèi)探針臺也處于研發(fā)階段，尚未實(shí)現(xiàn)銷售收入,。

那么,，在國家的扶持下，經(jīng)過這么多年的發(fā)展,，我國本土半導(dǎo)體設(shè)備各個(gè)細(xì)分領(lǐng)域的發(fā)展情況如何呢,？相關(guān)企業(yè)都有哪些？發(fā)展到了什么程度呢,？下面就來梳理一下,。

北方華創(chuàng)

北方華創(chuàng)由七星電子和北方微電子戰(zhàn)略重組而成。七星甴子主營清洗機(jī),、氧化爐,、 氣體質(zhì)量控制器(MFC)等半導(dǎo)體裝備及精密甴子元器件等業(yè)務(wù)，此外七星甴子還是國內(nèi)真空設(shè)備,、 新能源鋰甴裝備重要供應(yīng)商,。北方微甴子主營刻蝕設(shè)備(Etch),、物理氣相沉積設(shè)備(PVD)、化學(xué)氣相沉積設(shè)備(CVD)三類設(shè)備,。

2010 年 3 月,，七星甴子在深交所上市。 2016 年 8 月,，七星甴子與北方微甴子實(shí)現(xiàn)戰(zhàn)略重組,，成為中國規(guī)模最大、產(chǎn)品體系最豐富,、涉及領(lǐng)域最廣的高端半導(dǎo)體工藝設(shè)備供應(yīng)商，幵成功引迚國家集成甴路產(chǎn)業(yè)基金(大基金)等戰(zhàn)略投資者,，實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)與資本的融合,。 公司實(shí)際控制人是北京甴控，隸屬于國資委,。

2017 年 2 月,，七星甴子正式更名為北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股仹有限公司，完成了內(nèi)部整合,，推出全新品牉“北方華創(chuàng)”,，幵形成了半導(dǎo)體裝備、真空裝備,、新能源鋰甴裝備和高精密甴子元器件四大業(yè)務(wù)板塊加集團(tuán)總部的“4+1”經(jīng)營管理模式,。

北方華創(chuàng)的半導(dǎo)體裝備亊業(yè)群主要包括刻蝕機(jī)、 PVD,、 CVD,、氧化爐、擴(kuò)散爐,、清洗機(jī)及質(zhì)量流量控制器(MFC)等 7 大類半導(dǎo)體設(shè)備及零部件,，面向集成甴路、先進(jìn)封裝等 8 個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域,，涵蓋了半導(dǎo)體生產(chǎn)前段工藝制程中的除光刻機(jī)外的大部分兲鍵裝備,。 客戶包括中芯國際、華力微甴子,、長江存儲(chǔ)等國內(nèi)一線半導(dǎo)體制造企業(yè),，以及長甴科技、 晶斱科技,、華天科技等半導(dǎo)體封裝廠商,。

重組之后，北方華創(chuàng)業(yè)績快速增長,。2017 年實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入 22.23 億元,，同比增長37.01%,，歸母凈利潤 1.26 億元，同比增長 35.21%,。 根據(jù)公司 2018 年半年報(bào)業(yè)績快報(bào),，2018 年上半年公司實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入13.95 億元，同比增長 33.44%,， 歸母凈利潤 1.19 億元,，同比增長 125.44%。 隨著下游晶圓廠投資加速,， 公司半導(dǎo)體設(shè)備等觃模持續(xù)擴(kuò)張,。

長川科技

長川科技是國內(nèi)集成電路封裝測試、晶圓制造及芯片設(shè)計(jì)環(huán)節(jié)測試設(shè)備主要供應(yīng)商,。 半導(dǎo)體測試設(shè)備主要包括分選機(jī),、 測試機(jī)和探針臺三大類。自2008年4月成立以來,，該公司率先實(shí)現(xiàn)了半導(dǎo)體測試設(shè)備（分選機(jī)和測試機(jī)） 的國產(chǎn)化,， 并獲得國內(nèi)外眾多一流集成電路企業(yè)的使用和認(rèn)可。

該公司于 2012 年 2 月承擔(dān)并完成國家“十二五”規(guī)劃重大專項(xiàng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”中的高端封裝設(shè)備與材料應(yīng)用工程項(xiàng)目,，并于 2015 年 3 月獲得國家集成電路產(chǎn)業(yè)基金投資,。

該公司的測試機(jī)和分選機(jī)在核心性能指標(biāo)上已達(dá)到國內(nèi)領(lǐng)先、接近國外先進(jìn)水平,，同時(shí)售價(jià)低于國外同類型號產(chǎn)品,，具備較高的性價(jià)比優(yōu)勢。 公司產(chǎn)品已進(jìn)入國內(nèi)主流封測企業(yè),， 如天水華天,、 長電科技、 杭州士蘭微,、 通富微電等,。 2017 年，該公司對外積極開拓市場,， 設(shè)立臺灣辦事處,，拓展臺灣市場。

2013~2017年,，長川科技營收實(shí)現(xiàn)了由 4,341 萬元到 1.80 億元的跨越,，復(fù)合增速達(dá)39.75%。 2017 年,，歸屬母公司凈利潤由992萬元增長至 5,025 萬元,， 復(fù)合增速達(dá)31.48%。

中微半導(dǎo)體

中微半導(dǎo)體成立于 2004 年,，是一家微加工高端設(shè)備公司,， 經(jīng)營范圍包括研發(fā)薄膜制造設(shè)備和等離子體刻蝕設(shè)備,、大面積顯示屏設(shè)備等。該公司管理層技術(shù)底蘊(yùn)深厚,，大多有任職于應(yīng)用材料,、LAM和英特爾等全球半導(dǎo)體一流企業(yè)的經(jīng)驗(yàn)。

中微半導(dǎo)體先后承擔(dān)并圓滿完成 65-45 納米,、 32-22 納米,、22-14 納米等三項(xiàng)等離子介質(zhì)刻蝕設(shè)備產(chǎn)品研制和產(chǎn)業(yè)化。 公司自主研發(fā)的等離子體刻蝕設(shè)備 Primo D-RIE 可用于加工 64/45/28 納米氧化硅,、氮化硅等電介質(zhì)材料,，介質(zhì)刻蝕設(shè)備 Primo AD-RIE 可用于 22nm 及以下芯片加工，均已進(jìn)入國內(nèi)先進(jìn)產(chǎn)線,。中微半導(dǎo)體的介質(zhì)刻蝕機(jī)已經(jīng)完成了5nm 的生產(chǎn),。

晶盛機(jī)電

晶盛機(jī)電是一家專業(yè)從事半導(dǎo)體、光伏設(shè)備研發(fā)及制造的高新技術(shù)企業(yè),，是國內(nèi)技術(shù)領(lǐng)先的晶體硅生長設(shè)備供應(yīng)商。該公司專注于擁有自主品牌的晶體硅生長設(shè)備及其控制系統(tǒng)的研發(fā),、制造和銷售,，先后開發(fā)出擁有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的直拉式全自動(dòng)晶體生長爐、鑄錠多晶爐產(chǎn)品,。

該公司立足于“提高光電轉(zhuǎn)化效率,、降低發(fā)電成本”的光伏技術(shù)路線，實(shí)現(xiàn)了硅晶體生長“全自動(dòng),、高性能,、高效率、低能耗”國內(nèi)領(lǐng)先,、國際先進(jìn)的技術(shù)優(yōu)勢,。全自動(dòng)單晶爐系列產(chǎn)品和 JSH800 型氣致冷多晶爐產(chǎn)品分別被四部委評為國家重點(diǎn)新產(chǎn)品。同時(shí)公司積極向光伏產(chǎn)業(yè)鏈裝備進(jìn)行延伸,，2015 年成功開發(fā)并銷售了新一代單晶棒切磨復(fù)合一體機(jī),、單晶硅棒截?cái)鄼C(jī)、多晶硅塊研磨一體機(jī),、多晶硅塊截?cái)鄼C(jī)等多種智能化裝備,，并布局高效光伏電池裝備和組件裝備的研發(fā)。

該公司的晶體生長設(shè)備特別是單晶硅生長爐銷售形勢較好,，主要是單晶光伏的技術(shù)路線獲得認(rèn)可,，隨著下游廠商的擴(kuò)產(chǎn)，單晶的滲透率也逐步提升,，帶來對單晶硅生長爐的需求增加,，該類產(chǎn)品收入已經(jīng)占營業(yè)收入的 81%,。

該公司主營業(yè)務(wù)伴隨國內(nèi)光伏產(chǎn)業(yè)的上升發(fā)展，給主營業(yè)務(wù)收入和利潤帶來顯著增長,，近兩年的增長率均在 80%以上,，另外，其毛利率水平和凈利率水平也基本維持穩(wěn)定,。

上海微電子

上海微電子裝備有限公司成立于2002年,，主要致力于大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)的投影光刻機(jī)研發(fā)、生產(chǎn),、銷售與服務(wù),，該公司產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于IC制造與先進(jìn)封裝、MEMS,、TSV/3D,、TFT-OLED等制造領(lǐng)域。

該公司主要產(chǎn)品包括：

600掃描光刻機(jī)系列—前道IC制造

基于先進(jìn)的掃描光刻機(jī)平臺技術(shù),，提供覆蓋前道IC制造90nm節(jié)點(diǎn)以上大規(guī)模生產(chǎn)所需,，包含90nm、130nm和280nm等不同分辨率節(jié)點(diǎn)要求的ArF,、KrF及i-line步進(jìn)掃描投影光刻機(jī),。該系列光刻機(jī)可兼容200mm和300mm硅片。

500步進(jìn)光刻機(jī)系列—后道IC,、MEMS制造

基于先進(jìn)的步進(jìn)光刻機(jī)平臺技術(shù),，提供覆蓋后道IC封裝、MEMS/NEMS制造的步進(jìn)投影光刻機(jī),。該系列光刻機(jī)采用高功率汞燈的ghi線作為曝光光源,，其先進(jìn)的逐場調(diào)焦調(diào)平技術(shù)對薄膠和厚膠工藝，以及TSV-3D結(jié)構(gòu)等具有良好的自動(dòng)適應(yīng)性,，并通過采用具有專利的圖像智能識別技術(shù),，無需專門設(shè)計(jì)特殊對準(zhǔn)標(biāo)記。該系列設(shè)備具有高分辨率,、高套刻精度和高生產(chǎn)率等一系列優(yōu)點(diǎn),，可滿足用戶對設(shè)備高性能、高可靠性,、低使用成本(COO)的生產(chǎn)需求,。

200光刻機(jī)系列—AM-OLED顯示屏制造

200系列投影光刻機(jī)綜合采用先進(jìn)的步進(jìn)光刻機(jī)平臺技術(shù)和掃描光刻機(jī)平臺技術(shù)，專用于新一代AM-OLED顯示屏的TFT電路制造,。該系列光刻機(jī)不僅可用于基板尺寸為200mm × 200mm的工藝研發(fā)線,，也可用于基板尺寸為G2.5(370mm × 470mm)和G4.5(730mm × 920mm)的AM-OLED顯示屏量產(chǎn)線。

硅片邊緣曝光機(jī)系列——芯片級封裝工藝應(yīng)用

SMEE開發(fā)的硅片邊緣曝光機(jī)提供了滿足芯片級封裝工藝中對硅片邊緣進(jìn)行去膠處理的能力，設(shè)備可按照客戶要求配置邊緣曝光寬度,、硅片物料接口形式,、曝光工位等不同形式。設(shè)備同時(shí)兼容150mm,、200mm和300mm等三種不同規(guī)格的硅片,，邊緣曝光精度可到達(dá)0.1mm。設(shè)備配置了高功率光源,，具有較高的硅片面照度,，提高了設(shè)備產(chǎn)率。

至純科技

至純科技成立于 2000 年,， 主要為電子,、生物醫(yī)藥及食品飲料等行業(yè)的先進(jìn)制造業(yè)企業(yè)提供高純工藝系統(tǒng)的整體解決方案， 產(chǎn)品為高純工藝設(shè)備和以設(shè)備組成的高純工藝系統(tǒng),，覆蓋設(shè)計(jì),、加工制造、安裝以及配套工程,、檢測,、廠務(wù)托管、標(biāo)定和維護(hù)保養(yǎng)等增值服務(wù),。

該公司在 2016年前產(chǎn)品約一半收入來自醫(yī)藥類行業(yè),，光伏、 LED 行業(yè)及半導(dǎo)體行業(yè)收入占比較小,。 2016年以來,，公司抓住半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展機(jī)遇,，逐步擴(kuò)大其產(chǎn)品在半導(dǎo)體領(lǐng)域的銷售占比,， 2016和 2017 年來自半導(dǎo)體領(lǐng)域收入占公司營業(yè)收入比重分別為 50%和 57%，占據(jù)公司營業(yè)收入半壁江山,。主攻半導(dǎo)體清洗設(shè)備,。

該公司于 2015 年開始啟動(dòng)濕法工藝裝備研發(fā)， 2016 年成立院士工作站,， 2017 年成立獨(dú)立的半導(dǎo)體濕法事業(yè)部至微半導(dǎo)體,，目前已經(jīng)形成了 UltronB200 和 Ultron B300 的槽式濕法清洗設(shè)備和 Ultron S200 和 Ultron S300 的單片式濕法清洗設(shè)備產(chǎn)品系列， 并取得 6 臺的批量訂單,。

精測電子 

武漢精測電子技術(shù)股份有限公司創(chuàng)立于 2006 年 4 月,，并于 2016 年 11 月在創(chuàng)業(yè)板上市。公司主要從事平板顯示檢測系統(tǒng)的研發(fā),、生產(chǎn)與銷售,，在國內(nèi)平板顯示測試領(lǐng)域處于絕對領(lǐng)先地位， 主營產(chǎn)品包括：模組檢測系統(tǒng)、面板檢測系統(tǒng),、OLED 檢測系統(tǒng),、AOI光學(xué)檢測系統(tǒng)和平板顯示自動(dòng)化設(shè)備。近幾年來,，該公司積極對外投資,，設(shè)立多家子公司，業(yè)務(wù)規(guī)模迅速擴(kuò)張,，進(jìn)一步完善了產(chǎn)業(yè)布局,。

該公司成立初期主要專注于基于電訊技術(shù)的信號檢測，是國內(nèi)較早開發(fā)出適用于液晶模組生產(chǎn)線的 3D 檢測,、基于 DP 接口的液晶模組生產(chǎn)線的檢測和液晶模組生產(chǎn)線的 Wi-Fi 全無線檢測產(chǎn)品的企業(yè),，目前該公司的 Module 制程檢測系統(tǒng)的產(chǎn)品技術(shù)已處于行業(yè)領(lǐng)先水平。

2014 年,，精測電子積極研發(fā) AOI 光學(xué)檢測系統(tǒng)和平板顯示自動(dòng)化設(shè)備,，引進(jìn)了宏瀨光電和臺灣光達(dá)關(guān)于 AOI 光學(xué)檢測系統(tǒng)和平板顯示自動(dòng)化設(shè)備相關(guān)的專利等知識產(chǎn)權(quán)，使其在 Array制程和 Cell 制程的檢測形成自有技術(shù),，初步形成了“光,、機(jī)、電”技術(shù)一體化的優(yōu)勢,。 

精測電子2018年上半年財(cái)務(wù)報(bào)告顯示,，該公司收入主要來自 AOI 光學(xué)檢測系統(tǒng)業(yè)務(wù)，占比 45.49%,，毛利占比 41.94%,；其次是模組檢測系統(tǒng)業(yè)務(wù)，收入占比 23.33%,，毛利占比 27.68%,； OLED 檢測系統(tǒng)和平面顯示自動(dòng)化設(shè)備收入占比分別為 14.29%和12.30%，毛利占比為 14.26%和 10.28%,。

電子科技集團(tuán)45所

中國電子科技集團(tuán)公司第45研究所創(chuàng)立于1958年,，2010年9月，中央機(jī)構(gòu)編制委員會(huì)辦公室批準(zhǔn)45所第一名稱更改為“北京半導(dǎo)體專用設(shè)備研究所”,，第二名稱仍保持“中國電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所”不變,。

45所是國內(nèi)專門從事軍工電子元器件關(guān)鍵工藝設(shè)備技術(shù)、設(shè)備整機(jī)系統(tǒng)以及設(shè)備應(yīng)用工藝研究開發(fā)和生產(chǎn)制造的國家重點(diǎn)軍工科研生產(chǎn)單位,。

45所以光學(xué)細(xì)微加工和精密機(jī)械與系統(tǒng)自動(dòng)化為專業(yè)方向,，以機(jī)器視覺技術(shù)、運(yùn)動(dòng)控制技術(shù),、精密運(yùn)動(dòng)工作臺與物料傳輸系統(tǒng)技術(shù),、精密零部件設(shè)計(jì)優(yōu)化與高效制造技術(shù),、設(shè)備應(yīng)用工藝研究與物化技術(shù)、整機(jī)系統(tǒng)集成技術(shù)等六大共性關(guān)鍵技術(shù)為支撐,，圍繞集成電路制造設(shè)備,、半導(dǎo)體照明器件制造設(shè)備、光伏電池制造設(shè)備,、光電組件制造和系統(tǒng)集成與服務(wù)等五個(gè)重點(diǎn)技術(shù)領(lǐng)域,，開發(fā)出了電子材料加工設(shè)備、芯片制造設(shè)備,、光/聲/電檢測設(shè)備,、化學(xué)處理設(shè)備、先進(jìn)封裝設(shè)備,、電子圖形印刷設(shè)備,、晶體元器件和光伏電池等八大類工藝設(shè)備和產(chǎn)品，服務(wù)于集成電路,、光電元器件與組件,、半導(dǎo)體照明和太陽能光伏電池四大行業(yè).

上海睿勵(lì)

睿勵(lì)科學(xué)儀器（上海）有限公司是于2005年創(chuàng)建的合資公司，致力于研發(fā),、生產(chǎn)和銷售具有自主知識產(chǎn)權(quán)的集成電路生產(chǎn)制造工藝裝備產(chǎn)業(yè)中的工藝檢測設(shè)備,。主要生產(chǎn)用于65/28/14nm制程工藝控制的膜厚測量設(shè)備。

沈陽芯源

沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司成立于2002年,，由中科院沈陽自動(dòng)化研究所引進(jìn)國外先進(jìn)技術(shù)投資創(chuàng)建,。

芯源公司自主開發(fā)的單片勻膠機(jī)、顯影機(jī),、噴膠機(jī),、去膠機(jī)、清洗機(jī),、濕法刻蝕機(jī)等設(shè)備廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,、先進(jìn)封裝、MEMS,、LED等領(lǐng)域,。

1.LED領(lǐng)域勻膠顯影機(jī)：應(yīng)用于LED芯片制造,、PSS（圖形化襯底）,、MEMS、HCPV（高聚光型太陽能電池）,、Waveguide（光波導(dǎo)）工藝的勻膠顯影等工藝制程,。

2.高端封裝全自動(dòng)涂膠顯影機(jī):廣泛應(yīng)用于先進(jìn)封裝BGA、Flip-Chip,、WSP,、CSP制程的高黏度PR、PI、Epoxy的涂敷,、顯影工藝制程,。

3.高端封裝全自動(dòng)噴霧式涂膠機(jī): 廣泛應(yīng)用于TSV、MEMS,、WLP等工藝制程,。

4.單片濕法刻蝕機(jī)/去膠機(jī)/清洗機(jī):廣泛應(yīng)用于先進(jìn)封裝BGA、Flip-Chip,、WSP,、CSP制程的刻蝕、去膠,、清洗工藝制程,。

5.前道堆疊式全自動(dòng)涂膠顯影機(jī)：應(yīng)用于90nm光刻工藝、BARC涂覆,、SOC,、SOD、SOG等工藝制程,。

盛美半導(dǎo)體

盛美半導(dǎo)體（ACM Research）是國內(nèi)半導(dǎo)體清洗設(shè)備主要供應(yīng)商,，于1998年在美國硅谷成立，主要研發(fā)電拋光技術(shù),，2006 年成立上海子公司,，專注于半導(dǎo)體清洗設(shè)備。2017年11月4日公司在美國納斯達(dá)克上市,。2017年公司營業(yè)收入3650萬美元,，同比增長33.2%，其中90%以上的營業(yè)收入來自于半導(dǎo)體清洗設(shè)備,。2017 年研發(fā)投入占營業(yè)收入比例為14.1%,。

由于聲波清洗可能會(huì)造成晶片損傷，行業(yè)公司大多轉(zhuǎn)向研發(fā)其他技術(shù),，盛美半導(dǎo)體另辟蹊徑研發(fā)出空間交變相移兆聲波清洗（SAPS）和時(shí)序能激氣泡震蕩兆聲波清洗（TEBO）兩項(xiàng)專利技術(shù),，可以實(shí)現(xiàn)無傷清洗。公司的清洗設(shè)備目前已經(jīng)進(jìn)入 SK 海力士,、長江存儲(chǔ)和上海華力等先進(jìn)產(chǎn)線,。

天津華海清科

天津華海清科機(jī)電科技有限公司成立于2013年，是天津市政府與清華大學(xué)踐行“京津冀一體化”國家戰(zhàn)略,，為推動(dòng)我國化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）技術(shù)和設(shè)備產(chǎn)業(yè)化成立的高科技企業(yè),。

華海清科主要從事CMP設(shè)備和工藝及配套耗材的研發(fā)、生產(chǎn),、銷售與服務(wù),，核心團(tuán)隊(duì)成員來自清華大學(xué)摩擦學(xué)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室及業(yè)內(nèi)專業(yè)人才,，產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于極大規(guī)模集成電路制造、封裝,、微機(jī)電系統(tǒng)制造,、晶圓平坦化、基片制造等領(lǐng)域,。

中電科裝備

中電科電子裝備集團(tuán)有限公司成立于2013年,，是在中國電子科技集團(tuán)公司2所、45所,、48所基礎(chǔ)上組建成立的二級成員單位,，屬中國電子科技集團(tuán)公司獨(dú)資公司，注冊資金21億元,，

該公司是我國以集成電路制造裝備,、新型平板顯示裝備、光伏新能源裝備以及太陽能光伏產(chǎn)業(yè)為主的科研生產(chǎn)骨干單位,，具備集成電路局部成套和系統(tǒng)集成能力以及光伏太陽能產(chǎn)業(yè)鏈整線交鑰匙能力,。

多年來，利用自身雄厚的科研技術(shù)和人才優(yōu)勢,，形成了以光刻機(jī),、平坦化裝備（CMP）、離子注入機(jī),、電化學(xué)沉積設(shè)備（ECD）等為代表的微電子工藝設(shè)備研究開發(fā)與生產(chǎn)制造體系,，涵蓋材料加工、芯片制造,、先進(jìn)封裝和測試檢測等多個(gè)領(lǐng)域,；通過了ISO9001、GJB9001A,、UL,、CE、TüV,、NRE等質(zhì)量管理體系與國際認(rèn)證,。

沈陽拓荊

沈陽拓荊科技有限公司成立于2010年4月，是由海外專家團(tuán)隊(duì)和中科院所屬企業(yè)共同發(fā)起成立的國家高新技術(shù)企業(yè),。拓荊公司致力于研究和生產(chǎn)薄膜設(shè)備,，兩次承擔(dān)國家科技重大專項(xiàng)。2016年,、2017年連續(xù)兩年獲評“中國半導(dǎo)體設(shè)備五強(qiáng)企業(yè)”,。 

該公司擁有12英寸PECVD（等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備）,、ALD（原子層薄膜沉積設(shè)備）,、3D NAND PECVD（三維結(jié)構(gòu)閃存專用PECVD設(shè)備）三個(gè)完整系列產(chǎn)品,，技術(shù)指標(biāo)達(dá)到國際先進(jìn)水平。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路前道和后道,、TSV封裝,、光波導(dǎo)、LED,、3D-NAND閃存,、OLED顯示等高端技術(shù)領(lǐng)域。 

華海清科

天津華海清科機(jī)電科技有限公司成立于2013年,，是天津市政府與清華大學(xué)踐行“京津冀一體化”國家戰(zhàn)略,，為推動(dòng)我國化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）技術(shù)和設(shè)備產(chǎn)業(yè)化成立的高科技企業(yè)。

華海清科主要從事CMP設(shè)備和工藝及配套耗材的研發(fā),、生產(chǎn),、銷售與服務(wù)，核心團(tuán)隊(duì)成員來自清華大學(xué)摩擦學(xué)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室及業(yè)內(nèi)專業(yè)人才,，產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于極大規(guī)模集成電路制造,、封裝、微機(jī)電系統(tǒng)制造,、晶圓平坦化,、基片制造等領(lǐng)域。

以上就是我國大陸地區(qū)的主要半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)企業(yè),。

隨著我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,，對半導(dǎo)體設(shè)備的需求量越來越大，而本土半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)面臨著供給與需求錯(cuò)配的情況,。一方面,，國內(nèi)的半導(dǎo)體設(shè)備需求隨著下游產(chǎn)線的擴(kuò)張而迅速增加，大陸的半導(dǎo)體設(shè)備需求占全球半導(dǎo)體設(shè)備需求的比重較高,；但另一方面,，本土的設(shè)備供給存在著水平較為落后，國產(chǎn)化率不高的情況,。

針對這一情形,，在國家的大力支持下，國內(nèi)設(shè)備企業(yè)需要積極布局,，以在各細(xì)分設(shè)備領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)突破,。