目前蘋果A12/A12X,、華為麒麟980、AMD Radeon VII等7nm芯片均由臺積電代工，不過,，目前臺積電量產的7nm制程仍是基于DUV（深紫外）工藝。相比之下,，雖然三星的7nm目前仍未量產,，但是三星則是直接采用了更為先進的EUV（極紫外）工藝，有望領先臺積電的7nm EUV制程,。消息稱,，三星去年就小規(guī)模投產了7nm EUV。

所以,，臺積電要想保持優(yōu)勢,，就必須要加快7nm EUV的進程。而7nm EUV工藝的關鍵在于EUV光刻機,，今年ASML（荷蘭阿斯麥）也計劃提高EUV光刻機的產能,，以及將年出貨量由之前的18臺提升到今年的30臺。

而來自產業(yè)鏈的最新消息稱,，臺積電將包攬ASML今年的30臺EUV光刻機中的18臺,，加上之前采購的幾臺，臺積電有望在今年3月份啟動7nm EUV的量產,，推動7nm在其2019年晶圓銷售中的占比從去年的9%提升到25%,。

目前，ASML現款EUV光刻機Twinscan NXE: 3400B（今年會有新型號3400C）報價約1.2億美元（約合8億人民幣）,，也就是說臺積電訂購的這18臺EUV光刻機總價接近150億元,。

此外，臺積電還計劃在今年第二季度啟動5nm工藝的風險試產,，值得注意的是,，5nm必須采用EUV工藝才能夠實現。

此前臺積電聯(lián)合CEO魏哲家在投資者會議上也曾，2019年上半年晚些時候將會流片5nm,，量產時間將會再2020年上半年,。