MEMS傳感器是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域,。經(jīng)過四十多年的發(fā)展,，已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一,。它涉及電子,、機械,、材料,、物理學(xué),、化學(xué),、生物學(xué),、醫(yī)學(xué)等多種學(xué)科與技術(shù),，具有廣闊的應(yīng)用前景。
醫(yī)療
MEMS傳感器應(yīng)用于無創(chuàng)胎心檢測,，檢測胎兒心率是一項技術(shù)性很強的工作,，由于胎兒心率很快，在每分鐘l20～160次之間,，用傳統(tǒng)的聽診器甚至只有放大作用的超聲多普勒儀,，用人工計數(shù)很難測量準確,。而具有數(shù)字顯示功能的超聲多普勒胎心監(jiān)護儀，價格昂貴,，僅為少數(shù)大醫(yī)院使用,，在中、小型醫(yī)院及廣大的農(nóng)村地區(qū)無法普及,。此外,，超聲振動波作用于胎兒，會對胎兒產(chǎn)生很大的不利作用,。盡管檢測劑量很低,，也屬于有損探測范疇，不適于經(jīng)常性,、重復(fù)性的檢查及家庭使用,。
基于VTI公司的MEMS加速度傳感器，提出一種無創(chuàng)胎心檢測方法,，研制出一種簡單易學(xué)、直觀準確的介于胎心聽診器和多普勒胎兒監(jiān)護儀之間的臨床診斷和孕婦自檢的醫(yī)療輔助儀器,。通過加速度傳感器將胎兒心率轉(zhuǎn)換成模擬電壓信號,，經(jīng)前置放大用的儀器放大器實現(xiàn)差值放大。然后進行濾波等一系列中間信號處理,，用A/D轉(zhuǎn)換器將模擬電壓信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號,。通過光隔離器件輸入到單片機進行分析處理，最后輸出處理結(jié)果,。
基于MEMS加速度傳感器設(shè)計的胎兒心率檢測儀在適當改進后能夠以此為終端,，做一個遠程胎心監(jiān)護系統(tǒng)。醫(yī)院端的中央信號采集分析監(jiān)護主機給出自動分析結(jié)果,，醫(yī)生對該結(jié)果進行診斷,，如果有問題及時通知孕婦到醫(yī)院來。該技術(shù)有利于孕婦隨時檢查胎兒的狀況,，有利于胎兒和孕婦的健康,。
汽車電子
MEMS壓力傳感器主要應(yīng)用在測量氣囊壓力、燃油壓力,、發(fā)動機機油壓力,、進氣管道壓力及輪胎壓力。這種傳感器用單晶硅作材料,，以采用MEMS技術(shù)在材料中間制作成力敏膜片,，然后在膜片上擴散雜質(zhì)形成四只應(yīng)變電阻，再以惠斯頓電橋方式將應(yīng)變電阻連接成電路,，來獲得高靈敏度,。車用MEMS壓力傳感器有電容式,、壓阻式、差動變壓器式,、聲表面波式等幾種常見的形式,。而MEMS加速度計的原理是基于牛頓的經(jīng)典力學(xué)定律，通常由懸掛系統(tǒng)和檢測質(zhì)量組成,，通過微硅質(zhì)量塊的偏移實現(xiàn)對加速度的檢測,，主要用于汽車安全氣囊系統(tǒng)、防滑系統(tǒng),、汽車導(dǎo)航系統(tǒng)和防盜系統(tǒng)等,，除了有電容式、壓阻式以外,，MEMS加速度計還有壓電式,、隧道電流型、諧振式和熱電偶式等形式,。其中,，電容式MEMS加速度計具有靈敏度高、受溫度影響極小等特點,，是MEMS微加速度計中的主流產(chǎn)品,。
微陀螺儀是一種角速率傳感器，主要用于汽車導(dǎo)航的GPS信號補償和汽車底盤控制系統(tǒng),，主要有振動式,、轉(zhuǎn)子式等幾種。應(yīng)用最多的屬于振動陀螺儀,，它利用單晶硅或多晶硅的振動質(zhì)量塊在被基座帶動旋轉(zhuǎn)時產(chǎn)生的哥氏效應(yīng)來感測角速度,。例如汽車在轉(zhuǎn)彎時，系統(tǒng)通過陀螺儀測量角速度來指示方向盤的轉(zhuǎn)動是否到位,，主動在內(nèi)側(cè)或者外側(cè)車輪上加上適當?shù)闹苿右苑乐蛊嚸撾x車道,，通常，它與低加速度計一起構(gòu)成主動控制系統(tǒng),。
運動追蹤系統(tǒng)
在運動員的日常訓(xùn)練中,，MEMS傳感器可以用來進行3D人體運動測量，對每一個動作進行記錄,，教練們對結(jié)果分析,，反復(fù)比較，以便提高運動員的成績,。隨著MEMS技術(shù)的進一步發(fā)展,，MEMS傳感器的價格也會隨著降低，這在大眾健身房中也可以廣泛應(yīng)用,。在滑雪方面,，3D運動追蹤中的壓力傳感器,、加速度傳感器、陀螺儀以及GPS可以讓使用者獲得極精確的觀察能力,，除了可提供滑雪板的移動數(shù)據(jù)外,，還可以記錄使用者的位置和距離。在沖浪方面也是如此,，安裝在沖浪板上的3D運動追蹤,，可以記錄海浪高度、速度,、沖浪時間,、漿板距離、水溫以及消耗的熱量等信息,。
手機拍照領(lǐng)域
在MEMS Drive出現(xiàn)之前,，手機攝像頭主要由音圈馬達移動鏡頭組的方式實現(xiàn)防抖(簡稱鏡頭防抖技術(shù))，受到很大的局限,。而另一個在市場上較高端的防抖技術(shù)：多軸防抖,，則是利用移動圖像傳感器(Image Sensor)補償抖動，但由于這個技術(shù)體積龐大,、耗電量超出手機載荷,，一直無法在手機上應(yīng)用。
憑著微機電在體積和功耗上的突破,，最新技術(shù)MEMS Drive類似一張貼在圖像傳感器背面的平面馬達，帶動圖像傳感器在三個旋轉(zhuǎn)軸移動,。MEMS Drive 的防抖技術(shù)是透過陀螺儀感知拍照過程中的瞬間抖動,，依靠精密算法，計算出馬達應(yīng)做的移動幅度并做出快速補償,。這一系列動作都要在百分之一秒內(nèi)做完,，你得到的圖像才不會因為抖動模糊掉。
目前,，全世界有大約600余家單位從事MEMS的研制和生產(chǎn)工作,，已研制出包括微型壓力傳感器、加速度傳感器,、微噴墨打印頭,、數(shù)字微鏡顯示器在內(nèi)的幾百種產(chǎn)品，其中MEMS傳感器占相當大的比例,。MEMS傳感器是采用微電子和微機械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器,。與傳統(tǒng)的傳感器相比，它具有體積小,、重量輕,、成本低,、功耗低、可靠性高,、適于批量化生產(chǎn),、易于集成和實現(xiàn)智能化的特點。同時,，在微米量級的特征尺寸使得它可以完成某些傳統(tǒng)機械傳感器所不能實現(xiàn)的功能,。