與傳統(tǒng)的 2D 掃描振鏡相比,，它具有更大的視野,，讓大部件的加工更加簡單

　　全視野中最少的光斑畸變可實現(xiàn)最小的加工處理,，獲得最高質(zhì)量的激光加工零件

　　氣冷和水冷選項可提供溫度穩(wěn)定性并提高長期精度

　　多樣的鏡面處理選擇支持各種激光波長

　　Aerotech 的 AGV-SPO 單軸點(diǎn)掃描振鏡可為激光微加工關(guān)鍵應(yīng)用提供更大的視野并減少光斑畸變。獨(dú)特的光學(xué)設(shè)計可有效控制光束入射,，與掃描振鏡 X 軸和 Y 軸方向運(yùn)動一致，增加了掃描系統(tǒng)的有效數(shù)值孔徑,。這種設(shè)計直接為設(shè)定焦距提供了更大的視野,，并減少了整個工作區(qū)域的光斑畸變,。這些優(yōu)勢使 AGV-SPO 能夠更快地加工大部件并具有更高的一致性。

　　AGV-SPO 提供多種光學(xué)涂層和聚焦光學(xué)元件,，支持各種常用的激光波長和焦距,。可根據(jù)要求提供定制光學(xué)元件和光學(xué)裝校功能,。AGV-SPO 可配置主動冷卻功能,，例如氣冷反射鏡、水冷電機(jī)或兩者兼?zhèn)?，以在激光和激烈運(yùn)動曲線引起的熱干擾下保持工作面精度,。

　　AGV-SPO 采用 Aerotech 先進(jìn)的運(yùn)動和位置同步輸出（PSO）功能。諸如加速度限制之類的輪廓繪制功能可用于自動降低彎角或小半徑處的速度,，以最大限度地減少過沖,。可基于 PSO 反射鏡的位置反饋來觸發(fā)激光,，在掃描振鏡改變速度時可確保一致的重疊率,。Aerotech 的無限視野（IFOV）功能可無縫結(jié)合伺服系統(tǒng)和掃描儀運(yùn)動，從而在各伺服系統(tǒng)階段的整個行程范圍內(nèi)擴(kuò)展掃描振鏡的標(biāo)記能力,。這消除了在更傳統(tǒng)的“移動-曝光-重復(fù)”工序中可能發(fā)生的拼接誤差,。