美國最大的MEMS 技術(shù)和平臺方案獨(dú)立提供商IMT公司（Innovative Micro Technology）日前宣布：公司為北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院的三名（個(gè)）優(yōu)秀學(xué)生（團(tuán)隊(duì)）頒發(fā)了2018年度MEMS專項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金,，以鼓勵(lì)他們在MEMS工藝技術(shù)研究與開發(fā)領(lǐng)域所做的貢獻(xiàn),，并激勵(lì)更多未來之才持續(xù)投身MEMS制造工藝技術(shù)的創(chuàng)新研究。這是IMT為北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院頒發(fā)的第四屆MEMS專項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金,，也標(biāo)志著雙方開展戰(zhàn)略合作已有四年,。本年度最終獲頒獎(jiǎng)學(xué)金的是黃東、李君實(shí)（團(tuán)隊(duì)）,，朱佳（個(gè)人）,，李婷宇、徐涵,、周文博（團(tuán)隊(duì)）,。
IMT公司積極參與中國半導(dǎo)體生態(tài)發(fā)展,，與眾多伙伴開展了廣泛而深入的合作。除了為中國領(lǐng)先的器件設(shè)計(jì)公司代工生產(chǎn)先進(jìn)的MEMS產(chǎn)品,，IMT還與諸多研究機(jī)構(gòu)攜手,，致力于MEMS制造工藝技術(shù)的研發(fā)。IMT和北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院的戰(zhàn)略合作始于2015年,，作為該合作的一部分,，IMT在MEMS研究和開發(fā)領(lǐng)域設(shè)立了專項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金，每年向北京大學(xué)的三名（個(gè)）學(xué)生（團(tuán)隊(duì)）提供獎(jiǎng)學(xué)金,。該獎(jiǎng)學(xué)金計(jì)劃是首項(xiàng)在中國專門針對MEMS制造工藝技術(shù)開發(fā)而設(shè)立的獎(jiǎng)學(xué)金,。
隨著IMT和北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院的戰(zhàn)略合作持續(xù)深化，越來越多的學(xué)生開始在MEMS工藝技術(shù)研究方面投入精力,，并參與到MEMS專項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金的角逐中來,。在對所有申請獎(jiǎng)學(xué)金的候選人進(jìn)行大量評估和答辯后，北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院最終將2018年度獎(jiǎng)學(xué)金授予了黃東,、李君實(shí)（團(tuán)隊(duì)）,，朱佳（個(gè)人），李婷宇,、徐涵,、周文博（團(tuán)隊(duì)）。這三組IMT獎(jiǎng)學(xué)金獲得者的研究方向分別為用于生物MEMS應(yīng)用的先進(jìn)微針陣列電極制造,，用于生物傳感的三維空腔光學(xué)納米天線的制造,，用于液體活檢應(yīng)用的聚一氯對二甲苯（Parylene C）微孔過濾膜的制造和功能化。他們的研究成果在MEMS工藝技術(shù)方面取得了突破,，并且在MEMS器件制造及應(yīng)用中具有發(fā)展?jié)摿颓熬啊?/p>
MEMS已經(jīng)作為一種整合技術(shù)出現(xiàn)在諸多不同的應(yīng)用中,，例如物聯(lián)網(wǎng)、無人機(jī),、智能手機(jī),、可穿戴電子產(chǎn)品、生物領(lǐng)域和機(jī)器人等應(yīng)用,，新型的MEMS器件正在被快速地開發(fā)并推出,。為了不斷推動MEMS技術(shù)的創(chuàng)新，IMT 和北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院等領(lǐng)先的研究機(jī)構(gòu)結(jié)為合作伙伴并積極開發(fā)先進(jìn)制造工藝技術(shù),，以應(yīng)對眾多領(lǐng)域快速發(fā)展的需求,。
“很高興又一次代表IMT為北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院的優(yōu)秀學(xué)生頒發(fā)MEMS專項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金。雙方合作四年以來,，我們看到學(xué)生們開展的研究越來越深入,，創(chuàng)新性也越來越強(qiáng)。這讓我們對MEMS產(chǎn)業(yè)的前景抱有極大的信心?！盜MT 首席執(zhí)行官Craig Ensley先生表示,。“中國是全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)最重要的市場之一,，IMT始終對中國的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展保持高度關(guān)注,，同時(shí)我們也期待利用自己全球領(lǐng)先的 MEMS 器件加工技術(shù)和產(chǎn)業(yè)經(jīng)驗(yàn)助力中國的MEMS技術(shù)創(chuàng)新、產(chǎn)品開發(fā),、國際合作邁上一個(gè)新的臺階,。”
“通過與IMT這樣全球領(lǐng)先的MEMS制造服務(wù)公司合作,，尤其是借助MEMS 專項(xiàng)獎(jiǎng)學(xué)金計(jì)劃,，我們?yōu)榍嗄瓴趴冮_啟了一扇大門，有助于擴(kuò)展他們的視野,，并為他們開展新一代MEMS技術(shù)的創(chuàng)新研究提供了很好的平臺,。”北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院王瑋教授表示,?！岸嗄陙恚本┐髮W(xué)微納電子學(xué)研究院一直致力于MEMS新技術(shù),、新工藝的研發(fā),，以及為行業(yè)培養(yǎng)更多的優(yōu)秀工藝研發(fā)人才。希望通過我們與IMT甚至更多機(jī)構(gòu)的共同努力,，能夠推動MEMS技術(shù)在中國乃至全球快速發(fā)展并實(shí)現(xiàn)在業(yè)內(nèi)的更廣泛應(yīng)用,?！?/p>
關(guān)于IMT（Innovative Micro Technology）
IMT是全球領(lǐng)先的MEMS技術(shù)和平臺方案提供商,，擁有多樣化的工藝和客戶。IMT成立于2000年,，專門生產(chǎn)微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）器件,。IMT擁有占地130,000平方英尺的生產(chǎn)廠，其中有一間30,000平方英尺,、等級為100的無塵室/晶圓廠,，是世界上最大、配置最精良的MEMS晶圓廠之一,。IMT提供MEMS量產(chǎn),，以及從設(shè)計(jì)到生產(chǎn)過程的制造服務(wù)。IMT服務(wù)的企業(yè)分布在各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域,，包括繼電器,、醫(yī)療診斷、給藥、生物醫(yī)學(xué),、微流體,、顯示屏、慣性導(dǎo)航,、光學(xué)通信,、印刷、夜視儀,、紅外發(fā)射器,、電話/DSL切換、射頻器件,、電源管理,、各類傳感器及相關(guān)領(lǐng)域。IMT將始終與各公司密切合作,，共同研發(fā)和制造基于MEMS技術(shù)的新型產(chǎn)品,。更多信息，請?jiān)L問www.imtmems.com,。
關(guān)于北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院
北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院（IME/Peking University）是中國頂級的微電子/納米電子科技研究和教育基地,。其特點(diǎn)是擁有一套完整的教學(xué)、培訓(xùn)和研究體系,，并配有各種先進(jìn)設(shè)施,。該研究院的雄厚實(shí)力反映在其水平優(yōu)異、數(shù)量充足的教職員工隊(duì)伍上： 30 位教授,、4 位教授級高級工程師,、22 位副教授、10 位高級工程師,、10 位講師和工程師,。他們中有很多人是公認(rèn)的微電子學(xué)專家，包括舉世聞名的科學(xué)家王陽元院士和黃如院士,。該院還有三個(gè)配有先進(jìn)研究條件的國家級或省部級重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,，研究條件與世界上其他著名大學(xué)不相上下。該院每年招收本科生約 40 人,，碩士生和博士生 50 余人,。
北京大學(xué)微納電子學(xué)研究院集成微納系統(tǒng)（MEMS）研究所成立于 1996 年，是微米/納米加工技術(shù)國家級重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的重要組成部分,。其包含對硅基微納加工技術(shù),、微納傳感器與執(zhí)行器和微納系統(tǒng)集成技術(shù)的基礎(chǔ)研究和應(yīng)用研究。近五年來,，在頂級會議和期刊（如 IEEE MEMS,、Transducers,、MicroTAS、Small,、Lab Chip,、JMEMS和JMM）上發(fā)表了 160 余篇高質(zhì)量研究論文。有關(guān)更多詳細(xì)信息,，請?jiān)L問www.ime.pku.edu.cn,。