2019年8月28日,,微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS),、納米技術(shù)和半導(dǎo)體市場晶圓鍵合與光刻設(shè)備領(lǐng)先供應(yīng)商EV集團(tuán)(EVG)今日宣布,,與特種玻璃和微晶玻璃領(lǐng)域的世界領(lǐng)先技術(shù)集團(tuán)肖特攜手合作,,證明300-mm(12英寸)光刻/納米壓印(NIL)技術(shù)在下一代增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)/混合現(xiàn)實(shí)(AR/MR)頭戴顯示設(shè)備的波導(dǎo)/光導(dǎo)制造中使用的高折射率(HRI)玻璃晶圓的大體積圖案成形已就緒,。
此次合作涉及EVG的專有SmartNIL?工藝和SCHOTT RealView?高折射率玻璃晶圓,,將在EVG位于奧地利總部的NILPhotonics?能力中心進(jìn)行。肖特將于9月4日至7日在深圳會展中心舉行的中國國際光電博覽會上展示一款采用EVG SmartNIL技術(shù)進(jìn)行圖案成形的300-mm SCHOTT RealView?玻璃晶圓,。
300-mm和200-mm SCHOTT RealView?玻璃基板,裝配在應(yīng)用SmartNIL? UV-NIL技術(shù)的EVG? HERCULES? NIL系統(tǒng)
肖特增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)負(fù)責(zé)人Ruediger Sprengard博士表示:“將高折射率玻璃晶圓的制造擴(kuò)展到300-mm,,對于實(shí)現(xiàn)我們客戶滿足當(dāng)今和未來領(lǐng)先AR/MR設(shè)備不斷增長的市場需求所需的規(guī)模經(jīng)濟(jì)產(chǎn)量來說至關(guān)重要,。通過攜手合作,EVG和肖特彰顯了當(dāng)今300-mm高折射率玻璃制造的設(shè)備和供應(yīng)鏈的就緒性,?!?/p>
在此之前,使用光刻/納米壓印技術(shù)對具有光子學(xué)應(yīng)用結(jié)構(gòu)的玻璃基板進(jìn)行圖案成形僅限于200-mm基板,。向300-mm晶圓加工的遷移是將AR/MR頭戴顯示設(shè)備推向大眾消費(fèi)和工業(yè)市場邁出的重要一步,。不過,在這些較大的基板上保持高基板質(zhì)量和工藝均勻性是很難控制的,,需要先進(jìn)的自動化和工藝控制能力,。EVG的SmartNIL技術(shù)得益于多年的研究、開發(fā)和實(shí)驗(yàn),,旨在滿足納米圖案成形的需求,,經(jīng)過了現(xiàn)場驗(yàn)證,能夠輕松從晶圓級樣品尺寸擴(kuò)展到大面積基板。去年六月,,EVG推出了HERCULES? NIL 300 mm,,將SmartNIL引入300-mm制造,滿足各種設(shè)備和應(yīng)用的生產(chǎn)需求,,其中包括AR,、MR和虛擬現(xiàn)實(shí)(VR)頭戴顯示設(shè)備的光學(xué)器件以及3D傳感器、生物醫(yī)療設(shè)備,、納米光子學(xué)和等離子電子學(xué),。
集成到 SmartNIL? UV-NIL系統(tǒng)的全模塊化EVG HERCULES NIL 300 mm
EV集團(tuán)企業(yè)技術(shù)開發(fā)和知識產(chǎn)權(quán)總監(jiān)Markus Wimplinger表示:“EVG的NILPhotonics能力中心成立于2014年,為光刻/納米壓印技術(shù)供應(yīng)鏈中的各個合作伙伴和公司與EVG合作提供了一個開放式的創(chuàng)新孵化器,,從而縮短創(chuàng)新光子器件和應(yīng)用的開發(fā)周期和上市時間,。我們很高興與肖特公司合作,證明EVG光刻/納米壓印技術(shù)解決方案的價值,,不僅有助于新技術(shù)和新工藝的開發(fā),,還能夠加速新技術(shù)和新工藝在大眾市場中的采用。我們正在攜手肖特開展的工作,,彰顯了光刻/納米壓印技術(shù)設(shè)備和工藝的成熟性,,為各種令人興奮的基于光子學(xué)的新產(chǎn)品和新應(yīng)用的300-mm制造奠定了基礎(chǔ)?!?/p>
SCHOTT RealView?高折射率玻璃晶圓是領(lǐng)先AR/MR設(shè)備的關(guān)鍵組件,,已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了批量生產(chǎn)。產(chǎn)品組合提供了高達(dá)1.9的折射率,,支持深度沉浸的AR/MR應(yīng)用,,視野更廣,高達(dá)65度,。在與增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)硬件制造商進(jìn)行多年研發(fā)之后,,肖特在2018年推出了第一代SCHOTT RealView?。這款高端產(chǎn)品在上市一年后便榮獲了享有盛譽(yù)的2019年SID顯示行業(yè)獎(SID Display Industry Award 2019),。