昨日,德州市協(xié)同發(fā)展督查評議到德州經濟技術開發(fā)區(qū),,察看了山東有研集成電路用大尺寸硅材料規(guī)?;a項目。
該項目被山東省政府列為 2019 年省級重點“頭號”項目,。
總投資約 80 億元,,分兩期建設,項目一期占地 326 畝,,建設直拉車間廠房,、硅片廠房、動力中心等,,搬遷北京現(xiàn)有的 6 英寸,、8 英寸硅晶圓、8 英寸單晶硅生產線并擴大產能,,形成年產 8 英寸硅片 276 萬片,、6 英寸硅片 180 萬片、12—18 英寸大直徑硅單晶 300 噸的生產能力,。二期項目建設 12 英寸硅晶圓中試線科研成果產業(yè)化基地,,年產 360 萬片 12 英寸硅片。
據一期項目土建負責人介紹,,項目一期 3 個主要車間正在進行二層主體施工和機電預留預埋,,目前三個主廠房都有 30%到 40%的二層已經封頂。此外,,專用變電站、尚德八路等工程均按計劃推進,。項目計劃 2019 年底主體封頂,,2020 年 3 月底完成機電安裝和動力設施調試,2020 年 6 月底完成工藝設備調試并試產,。
本次項目是由有研科技集團,、日本 RST 株式會社控股的有研半導體材料有限公司出資,山東有研半導體材料有限公司建設,。有研科技集團是國資委管理的 96 家央企之一和國內有色金屬行業(yè)規(guī)模最大的綜合性研究開發(fā)機構,,在國內唯一掌握 18 英寸硅單晶技術、12 英寸硅片技術,,率先實現(xiàn) 8 英寸硅片商業(yè)化,,12—18 英寸硅單晶產品可滿足全球最先進的半導體設備應用要求。
據報道,,該項目屬于德州東部城區(qū)創(chuàng)新組團的龍頭項目,,更重要的是,,目前這個項目規(guī)模也是北方最大的半導體材料基地。
此外,,專用變電站,、尚德八路等工程均按計劃推進。項目計劃 2019 年底主體封頂,,2020 年 3 月底完成機電安裝和動力設施調試,,2020 年 6 月底完成工藝設備調試并試產。