提到荷蘭ASML公司,，大家都知道他們是全球唯一的EUV光刻機供應商，7nm及以下的工藝生產(chǎn)都要靠他們的設備,。不過ASML不只是光刻機厲害,，今天他們宣布了另外一個新產(chǎn)品——第一代HMI多光束檢測機HMI eScan1000，適用于5nm及更先進工藝,，使得產(chǎn)能大漲600％,。

    隨著制程工藝不斷提升，晶圓的制造也越來越復雜,，這也會導致晶圓中的錯誤更多,，HMI eScan1000就是一套基于HMI多光束技術的檢測系統(tǒng)，內部也有復雜的光電子系統(tǒng),，能夠產(chǎn)生,、控制多個電子束，然后根據(jù)反射回來的電子束成像來分析晶圓質量,，并有高速運行的平臺以控制測試的晶圓數(shù)量,，還要有計算系統(tǒng)處理電子束的數(shù)據(jù)。

    簡單來說,，ASML研發(fā)的這個HMI eScan1000機器就是一臺驗證先進工藝生產(chǎn)出來的晶圓質量的系統(tǒng),，工藝越先進，檢測系統(tǒng)就越重要,，它的檢測精度,、吞吐量決定了生產(chǎn)的效率。

    ASML的HMI eScan1000的突破之處在于能夠同時產(chǎn)生,、控制九道電子束,，所以產(chǎn)能提升了600％，可以大大減少晶圓質量分析所用的時間,。

    目前HMI eScan1000可以用于5nm及以下先進工藝的晶圓測試,，已經(jīng)交付給客戶進行測試驗證，未來ASML還會推出光束更多的測試設備以滿足客戶對先進工藝的要求,。