在本周召開(kāi)的臺(tái)積電技術(shù)研討會(huì)上,,最重要的中心信息之一是,,該公司在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域處于世界領(lǐng)先地位,特別是在領(lǐng)先的工藝技術(shù)領(lǐng)域,。
為進(jìn)一步傳達(dá)信息,,臺(tái)積電展示了一張幻燈片,指出了它與其他產(chǎn)品的相對(duì)位置:通過(guò)結(jié)合ASML的聲明和自己的內(nèi)部采購(gòu)單,,臺(tái)積電預(yù)測(cè)他們已安裝了全世界約約50%的激活EUV機(jī)器,。除此之外,該公司還擁有約60%的EUV晶圓累計(jì)生產(chǎn)量,。
大型晶圓廠目前已知的公開(kāi)EUV工藝包括TSMC的7+和N5,,以及三星的7LPP(及以下任何產(chǎn)品),英特爾的EUV努力僅在明年進(jìn)入其自己的7nm產(chǎn)品組合,。這些流程之外的任何前沿技術(shù)都將繼續(xù)擴(kuò)大EUV的使用范圍,。
與常規(guī)DUV機(jī)器相比,EUV機(jī)器的吞吐率通常較低,,每小時(shí)約為120-175片晶圓,,最新版本可以達(dá)到275 wph,但是由于1層EUV通??梢源?-4層DUV,,因此吞吐率更高。但是,,對(duì)于這些代工廠來(lái)說(shuō),,渴望擴(kuò)展到多個(gè)EUV機(jī)器以增加晶圓的物理數(shù)量是一個(gè)迫切的目標(biāo)。
唯一制造EUV機(jī)器的公司是ASML,,并且該公司公開(kāi)宣布其每年銷售多少臺(tái)機(jī)器,。詳情如下:
請(qǐng)注意,到目前為止,,ASML仍未完全達(dá)到其目標(biāo),,但是已經(jīng)足夠接近實(shí)現(xiàn)目標(biāo),這表明到2020年第二季度末,,ASML僅出貨了13臺(tái),,但他們預(yù)期是35個(gè)系統(tǒng)。這些數(shù)字包括ASML已制造的所有不同類型的Twinscan NXE機(jī)器,,而更新的機(jī)器具有更高的吞吐量(有時(shí)會(huì)翻新一些舊的機(jī)器),。截止到2020年Q2,,我們預(yù)測(cè)ASML已經(jīng)發(fā)貨的EUV機(jī)接近71臺(tái),到2020年年底,,這個(gè)數(shù)字將有可能達(dá)到90臺(tái),,然而ASML可能有多達(dá)積壓49 EUV掃描曝光機(jī)訂單,即使具有這些發(fā)貨目標(biāo),。
如果ASML已經(jīng)出貨了71臺(tái)機(jī)器,,那么根據(jù)臺(tái)積電的數(shù)字,,這意味著該公司大約有30-35臺(tái),。請(qǐng)注意,TSMC的數(shù)字是針對(duì)“已安裝的EUV”機(jī)器的,。我們獲悉,,從獲取零件到校準(zhǔn)機(jī)器使用最多需要6個(gè)月的時(shí)間。因此,,目前,,這些晶圓廠中有一些正在等待安裝EUV機(jī)器,或者在Intel的情況下,,可能僅用于早期測(cè)試或風(fēng)險(xiǎn)前試驗(yàn),。我們知道,GlobalFoundries擁有兩臺(tái)早期的EUV機(jī)器,,安裝了一臺(tái),,但是當(dāng)它決定不追求領(lǐng)先的7nm時(shí)最終出售了這兩臺(tái)機(jī)器,其中國(guó)內(nèi)企業(yè)訂購(gòu)了一臺(tái),,但據(jù)我們所知,,由于美國(guó)施加的限制,它沒(méi)有安裝……
隨著臺(tái)積電為其N5生產(chǎn)增加其Fab 18的產(chǎn)能,,并提高其EUV集成度,,看看臺(tái)積電是否受制于其所擁有的機(jī)器數(shù)量是否受到限制將很有趣。在某個(gè)時(shí)候,,英特爾在部署7納米工藝時(shí)也會(huì)想購(gòu)買一個(gè)數(shù)量(我已經(jīng)看到英特爾已經(jīng)至少有10臺(tái)機(jī)器,,但我無(wú)法確認(rèn)),所以可能會(huì)有一個(gè)誰(shuí)先獲得訂單的爭(zhēng)吵,。
但是可以肯定的是,,ASML正處于中間位置,壟斷著一切,。