近日舉行的2020中國國際石墨烯創(chuàng)新大會上,，8英寸石墨烯單晶晶圓的亮相,，吸引了筆者的目光。

有媒體報道稱,，它「展示了我國在高質(zhì)量石墨烯材料領(lǐng)域的創(chuàng)新成果」,。報道表示「在上海市石墨烯產(chǎn)業(yè)技術(shù)功能型平臺的推動下，科研團隊實現(xiàn)了這些成果的小批量生產(chǎn),，產(chǎn)品尺寸和質(zhì)量處于國際『領(lǐng)跑』地位」,。

據(jù)悉，中科院上海微系統(tǒng)所科研團隊自2009年起瞄準石墨烯單晶制備及其電子器件應(yīng)用的課題開始了攻關(guān)研究,。

中科院上海微系統(tǒng)所副研究員吳天如表示：「就像制造硅芯片的材料是一片片硅單晶晶圓,，想用石墨烯等碳基二維材料實現(xiàn)電子器件集成，開啟微電子技術(shù)變革,，就必須制備出大尺寸,、高質(zhì)量的石墨烯單晶晶圓,。」

科研團隊在國家科技重大專項,、上海市科技創(chuàng)新行動計劃項目支持下,，從生長出單層到單晶，再到原子級平整的大面積晶圓,，讓石墨烯從用膠帶剝離出幾微米的樣品,，升級為可以規(guī)模化生產(chǎn)的8英寸晶圓,。

為早日實現(xiàn)石墨烯晶圓量產(chǎn),，中科院上海微系統(tǒng)所2019年9月與上海市石墨烯功能型平臺簽訂了協(xié)議，提供有成本競爭力的產(chǎn)業(yè)應(yīng)用,。

石墨烯晶圓的小批量生產(chǎn),，被認為是為新一代國產(chǎn)電子器件的研發(fā)奠定了基礎(chǔ)。